Nuacht

Is iad criadóireacht alúmana an "hoibre workhorse" le haghaidh comhpháirteanna ceirmeacha a mhonarú. Taispeánann siad airíonna meicniúla den scoth, pointí leá ard-ard agus cruas, friotaíocht creimthe, cobhsaíocht cheimiceach láidir, friotachas ard, agus insliú leictreach níos fearr. Is iondúil go n -úsáidtear iad chun plátaí snasaithe, cucks folúis, airm cheirmeacha, agus codanna comhchosúla a dhéanamh.

Is féidir ábhair leathsheoltóra a rangú i dtrí ghlúin in ord croineolaíoch. Is éard atá sa chéad ghlúin ná ábhair choitianta eiliminteacha amhail gearmáiniam agus sileacain, a bhfuil athrú áisiúil orthu agus a úsáidtear go ginearálta i gciorcaid chomhtháite. Úsáidtear na leathsheoltóirí cumaisc dara glúin ar nós gallium arsenide agus fosfáit Indium go príomha in ábhair luminescent agus cumarsáide.

Tá ról ríthábhachtach ag feistí Grianchloch i ndéantúsaíocht cille gréine, ag tairiscint friotaíocht theirmeach eisceachtúil, íonacht cheimiceach, agus cobhsaíocht struchtúrach a theastaíonn i bpróisis ardteochta. Ó fheadáin idirleata Grianchloch agus ó bhásanna go báid Grianchloch agus comhpháirteanna foirnéise, tá na hábhair ard-íonachta seo riachtanach chun an éifeachtúlacht is fearr a bhaint amach i gcéimeanna idirleata, CVD, agus eitseáil fliuch.

Cuireann an sciath TAC deireadh go hiomlán leis an bhfeiniméan cuimsithe carbóin tríd an teagmháil dhíreach idir an breogán graifíte agus an leá SIC a leithlisiú, rud a laghdaíonn dlús fabht na microtubes go mór

Is ábhar ceirmeach é ceirmeach sic a tháirgtear trí imoibriú sileacain (Si) agus carbón (c), ina bhfuil cruas an -ard, friotaíocht teasa agus cobhsaíocht cheimiceach

I ndomhan ardleibhéil na monaraithe leathsheoltóra, tá gach rud i gceist le gach ceann acu-agus is é sin an áit a dtéann an Chuck Leictreastatach (ESC) isteach i bhfad níos mó ná uirlis ghabháltais amháin, úsáideann an ESC fórsaí leictreastatach chun sliseoga a chlampáil go daingean le linn próisis chriticiúla mar eitseáil, sil-leagan, agus ionchlannú ian. Ach conas a oibríonn sé i ndáiríre? Cén fáth a bhfuil sé níos fearr ná clampáil mheicniúil thraidisiúnta? Agus cén ról atá aige maidir le cruinneas nanascála agus éifeachtúlacht tréchuir a bhaint amach? Fáilte le léamh.

Is cuid lárnach dá shreabhadh oibre é prionsabal DeChuck an Chuck Leictreastatach a bhaineann le díothú fórsa leictreastatach agus meicníochtaí scaoilte sliseog.

Is carbón neamh-ghrafaíochta é carbón gloine a chomhcheanglaíonn airíonna gloine agus criadóireachta. Tá go leor airíonna ann amhail friotaíocht ardteochta, friotaíocht creimthe, seoltacht mhaith leictreach, srl. Déanann an blag seo anailís ar stair an taighde agus ar an treocht forbartha sa todhchaí de charbón gloine, ar fiú é a léamh.

I ndéantúsaíocht leathsheoltóra, tá gá le cineálacha éagsúla táirgí comhpháirteanna ceirmeacha leathsheoltóra. Úsáidtear na táirgí seo i gcásanna táirgthe éagsúla mar gheall ar a saintréithe éagsúla, chun a bhfeidhmeanna comhfhreagracha a imirt. Is táirgí fíor -riachtanach iad sa tionscal próiseála leathsheoltóra.

Is ábhar ceirmeach ardfheidhmíochta é Tantalum Carbide (TAC) a bhfuil cáil air as a chruas an-ard, a leáphointe ard agus a chobhsaíocht cheimiceach den scoth. Úsáidtear é go forleathan i leathsheoltóra, aeraspáis agus tionscail eile a éilíonn teas, caitheamh agus friotaíocht creimthe an -mhór. Déanfaidh an t -alt seo anailís mhionsonraithe ar struchtúr, airíonna fisiceacha, agus úsáidí sonracha an táirge críochnaithe i ndéantúsaíocht leathsheoltóra.

Tá pláta ceirmeach scagach Sic ar cheann de na bunábhair i réimse na déantúsaíochta leathsheoltóra. Leis an struchtúr uathúil agus a n -airíonna fisiceacha den scoth, tá diosca ceirmeach scagach Sic ina chomhpháirt lárnach nach féidir a athsholáthar i dtimpeallachtaí ardteochta agus creimneach. San Airteagal seo, déanfaimid anailís dhomhain ar a chuid airíonna fisiceacha, ar na cásanna iarratais agus ar a gcuid buntáistí roghnóireachta.

Is príomh-chomhpháirt ualach ualach é Bád Grianchloch a úsáidtear sa phróiseas monaraithe leathsheoltóra. Úsáidtear é go príomha le haghaidh próiseáil ardteochta sliseoga, amhail idirleathadh, ocsaídiú agus anáil. Mar gheall ar a chobhsaíocht theirmeach den scoth, a thréithe truaillithe íseal agus a fhriotaíocht creimthe, is ábhar fíor -riachtanach é sa tionscal leathsheoltóra. Déanfaidh an t -alt seo cur síos ar an ábhar, ar airíonna fisiceacha, ar aicmiú, ar chásanna feidhmithe bád Grianchloch agus a dhifríochtaí ó PECVD Graphite Boat.

Is é an croí-ábhar de bhád graifíte Pecvd ná ábhar graifít iseatópach ard-íonachta (is iondúil go mbíonn íonacht ≥99.999%), a bhfuil seoltacht leictreach den scoth, seoltacht theirmeach agus dlús aige. I gcomparáid le gnáthbháid graifíte, tá go leor buntáistí maoine fisiceacha agus ceimiceacha ag báid graifíte PECVD agus úsáidtear iad go príomha sna tionscail leathsheoltóra agus fótavoltacha, go háirithe i bpróisis PECVD agus CVD.

Tá ról tábhachtach ag tráidirí graifíte MOCVD sa phróiseas eipiciúil. Déanann an t -alt seo anailís mhionsonraithe ar roghnú tráidirí graifít MOCVD ó pheirspictíochtaí na n -airíonna ábhartha agus na gcásanna feidhmithe.

Tá raon leathan cásanna iarratais ag ábhair ghraifítí. Ina measc, is iad graifít iseatópach agus graifít sileacainithe an dá phríomhchineál éagsúla ábhar graifíte, agus tá a gcuid saintréithe, cásanna feidhmithe agus buntáistí an -éagsúil. Déanfaidh an blag seo anailís chomparáideach ó thrí ghné: saintréithe struchtúracha, cásanna iarratais agus buntáistí táirgí.

Is ábhar ildánach iad criadóireacht cairbíde sileacain, ar a dtugtar criadóireacht SIC de ghnáth, le hairíonna uathúla agus le raon leathan feidhmchlár i dtionscail éagsúla. Seo a leanas plé mionsonraithe ar a chomhdhéanamh ábhartha, ar airíonna fisiceacha, ar iarratais shonracha agus ar bhuntáistí i bpróisis sciath leathsheoltóra, agus ar fhadhbanna coitianta a bhíonn le linn próiseála.