Cad is bád Grianchloch ann?

Is príomh-chomhpháirt imthacaí é Bád Grianchloch a úsáidtear sa phróiseas monaraithe leathsheoltóra, a úsáidtear go príomha le haghaidh próiseáil ardteochta sliseoga, amhail idirleathadh, ocsaídiú agus anáil. Mar gheall ar a chobhsaíocht theirmeach den scoth, a thréithe truaillithe íseal agus a fhriotaíocht creimthe, is ábhar fíor -riachtanach é sa tionscal leathsheoltóra. Déanfaidh an t -alt seo cur síos ar an ábhar, ar airíonna fisiceacha, ar aicmiú, ar chásanna feidhmithe agus ar dhifríochtaí idir bád Grianchloch agus bád graifít PECVD.

Ⅰ. Ábhar bád Grianchloch

Is é an príomhchuid den iompróir Grianchloch ná dé-ocsaíd sileacain ard-íonachta (SIO₂), agus is iondúil go gcaithfidh an íonacht níos mó ná 99.99% a bhaint amach (grád leathsheoltóra). Cinntíonn an t-ábhar Grianchloch ard-íonachta seo nach dtabharfaidh an t-iompróir Grianchloch isteach eisíontais le linn an phróisis mhonaraithe leathsheoltóra chun éilliú eisíontas miotail ar an sliseog a laghdú.

De réir an phróisis ullmhúcháin, is féidir ábhair Grianchloch a roinnt ina dhá chatagóir:

● Grianchloch nádúrtha.

● Grianchloch sintéiseach.

Ina theannta sin, tá roinnt bád Grianchloch dópáilte le miotail amhail tíotáiniam (TI) nó alúmanam (AL) chun friotaíocht dífhoirmithe a fheabhsú, nó chun tarchur solais a choigeartú chun riachtanais na bpróiseas UV a chomhlíonadh.

Ⅱ. Cad iad na príomh -airíonna fisiceacha de bháid Grianchloch?

● Friotaíocht ardteochta: Tá an leáphointe de Grianchloch chomh hard le 1713 ° C, agus is féidir leis oibriú go cobhsaí ag 1200 ° C ar feadh i bhfad agus 1500 ° C a sheasamh ar feadh tamaill bhig.

● Comhéifeacht leathnaithe teirmeach íseal: Níl sa chomhéifeacht leathnaithe teirmeach ach 0.55 × 10⁻⁶/° C. Cinntíonn an fheidhmíocht den scoth seo cobhsaíocht tríthoiseach ag teochtaí arda agus seachnaítear scoilteadh mar gheall ar strus teirmeach.

● táimhe cheimiceach: Ach amháin i gcás aigéad hidreafluarach (HF) agus aigéad fosfarach te, is féidir le Grianchloch seasamh in aghaidh aigéid láidre, alcaileacha láidre agus an chuid is mó de gháis creimneach (mar shampla Cl₂, O₂).

● Insliú Leictreach: Tá an fhriotaíocht chomh hard le 10¹⁶ω · cm, ag seachaint cur isteach ar dháileadh réimse leictreach an phróisis plasma.

● Tarchur solais.

Iii. Aicmiú bád Grianchloch

De réir struchtúir dearaidh agus cásanna úsáide éagsúla, is féidir báid Grianchloch a roinnt sna catagóirí seo a leanas:

● Bád Grianchloch Cothrománach

Infheidhme maidir le foirnéisí feadáin chothrománacha (foirnéis idirleata chothrománach), a úsáidtear le haghaidh ocsaídiúcháin, idirleathadh, ionramháil agus próisis eile.

Gnéithe: Is féidir 100-200 sliseog a iompar, de ghnáth le dearadh oscailte nó leath-iata.

● Bád Grianchloch Ingearach

Infheidhme maidir le foirnéisí ingearacha (foirnéis ingearach), a úsáidtear le haghaidh próisis LPCVD, próisis ocsaídiúcháin agus ionsúcháin.

Gnéithe: Struchtúr níos dlúithe, is féidir leis an gcumas iompair sliseog a mhéadú, agus éilliú na gcáithníní a laghdú le linn an phróisis.

● Bád Grianchloch Saincheaptha

Deartha de réir riachtanais éagsúla an phróisis, is féidir tacaíocht shliocht aonair nó struchtúr clampála speisialta a úsáid chun éifeachtaí próiseála sliseog a bharrfheabhsú.

Mar mhonaróir agus soláthróir bád Grianchloch ceannródaíoch sa tSín,Is féidir le Veteksemimon táirgí iompróra Grianchloch saincheaptha a dhearadh agus a mhonarú de réir do riachtanais iarbhír. Le haghaidh tuilleadh sonraí táirge, féach le do thoil:

Iv. Cad iad na cásanna iarratais de bhád Grianchloch i ndéantúsaíocht leathsheoltóra?

Úsáidtear báid Grianchloch go forleathan i go leor príomh -naisc phróisis de dhéantúsaíocht leathsheoltóra, lena n -áirítear na cásanna iarratais seo a leanas go príomha:

4.1 Ocsaídiú Teirmeach

● Cur síos ar an bpróiseas: Déantar an sliseog a théamh i dtimpeallacht ocsaigine ardteochta nó gaile uisce chun scannán dé-ocsaíd sileacain (SIO₂) a dhéanamh.

● Gnéithe de bhád Grianchloch:

1) Is féidir le friotaíocht ard teasa, teochtaí arda 1000 ~ 1200 ° C a sheasamh.

2) Támh ceimiceach, tá báid Grianchloch frithsheasmhach in aghaidh aigéid láidre, alcaileacha láidre agus an chuid is mó de gháis creimneacha, ionas gur féidir leis a bheith ag cur isteach ar cháilíocht an scannáin ocsaíde.

4.2 Próiseas Idirleata

● Cur síos ar an bpróiseas: Déantar eisíontais (mar shampla fosfar agus bórón) a idirleathadh isteach sa sliseog sileacain faoi choinníollacha ardteochta chun ciseal dópála a dhéanamh.

● Gnéithe bád Grianchloch:

1) Éilliú íseal, a chuireann cosc ​​ar éilliú miotail dul i bhfeidhm ar an dáileadh tiúchana dópála.

2) Cobhsaíocht ard teirmeach, le comhéifeacht leathnaithe teirmeach de 0.55 × 10⁻⁶/° C amháin, ag cinntiú próiseas idirleata aonfhoirmeach.

4.3 Próiseas Annealing

● Cur síos ar an bpróiseas: Úsáidtear cóireáil ardteochta chun strus a bhaint, an struchtúr criostail ábhair a fheabhsú, nó an ciseal ionchlannaithe ian a ghníomhachtú.

● Gnéithe bád Grianchloch:

1) Le leáphointe chomh hard le 1713 ° C, is féidir leis téamh agus fuarú tapa a sheasamh chun scáineadh a sheachaint de bharr strus teirmeach.

2) Rialú méide beacht chun téamh aonfhoirmeach a chinntiú.

4.4 Sil -leagan gaile ceimiceach brú íseal (LPCVD)

● Cur síos ar an bpróiseas: I dtimpeallacht bhrú íseal, cruthaítear scannán tanaí aonfhoirmeach ar nós sileacain nítríd (Si₃n₄) trí imoibriú céim gáis.

● Gnéithe de bhád Grianchloch:

1) Oiriúnach do fheadáin foirnéise ingearacha, is féidir é a bharrfheabhsú aonfhoirmeacht sil -leagan scannán.

2) Éilliú íseal na gcáithníní, feabhas a chur ar chaighdeán an scannáin.

Ⅴ. Cad iad na difríochtaí idir bád Grianchloch agus bád graifít Pecvd?

Cásanna difríochta tipiciúla:

● Próiseas PECVD.

● Foirnéis ocsaídiúcháin ardteochta.