Plátaí ceirmeacha Silicon Silicon (SIC): Ábhair ardfheidhmíochta i ndéantúsaíocht leathsheoltóra

Ⅰ. Cad is pláta ceirmeach scagach sic ann?

Is éard atá i gceist le pláta ceirmeach cairige sileacain scagach ná ábhar ceirmeach struchtúr scagach déanta as cairbíd sileacain (SIC) trí phróisis speisialta (mar shampla cúradh, priontáil 3D nó gníomhairí pore-fhoirmithe). I measc na bpríomhghnéithe atá aige tá:

● Póirseacht inrialaithe: 30% -70% inchoigeartaithe chun riachtanais na gcásanna iarratais éagsúla a chomhlíonadh.

● Dáileadh aonfhoirmeach ar mhéid pore: Cobhsaíocht tarchurtha gáis/leachtach a chinntiú.

● Dearadh éadrom: Tomhaltas fuinnimh trealaimh a laghdú agus éifeachtúlacht oibriúcháin a fheabhsú.

Ⅱ.

1. Friotaíocht ardteochta agus bainistíocht theirmeach (go príomha chun fadhb an trealaimh a theip teirmeach a réiteach)

● Friotaíocht teochta an -mhór: sroicheann teocht oibre leanúnach 1600 ° C (30% níos airde ná criadóireacht alúmana).

● Seoltacht theirmeach ardéifeachtúlachta: Is é comhéifeacht seoltachta teirmeach ná 120 w/(m · k), cosnaíonn diomailt teasa tapa comhpháirteanna íogaire.

● Leathnú teirmeach ultra-íseal: Níl ach comhéifeacht leathnaithe teirmeach 4.0 × 10⁻⁶/° C, atá oiriúnach le haghaidh oibriú faoi theocht ard, ag seachaint dífhoirmiú ardteochta go héifeachtach.

2. Cobhsaíocht cheimiceach (costais chothabhála a laghdú i dtimpeallachtaí creimneach)

● Frithsheasmhach in aghaidh aigéid láidre agus alcaileacha: is féidir leis na meáin chreimneacha ar nós HF agus H₂so₄ a sheasamh

● Frithsheasmhach in aghaidh creimeadh plasma: méadaítear an saol i dtrealamh eitseáil tirim níos mó ná 3 huaire

3. Neart meicniúil (saol trealaimh a leathnú)

● Cruas ard: Tá cruas mohs chomh hard le 9.2, agus is fearr friotaíocht a chaitheamh ná cruach dhosmálta

● Neart lúbthachta: 300-400 MPa, ag tacú le sliseoga gan warping

4. Feidhmiú struchtúir phóiriúla (toradh an phróisis a fheabhsú)

● Dáileadh gáis aonfhoirmeach: Méadaítear aonfhoirmeacht scannán próisis CVD go 98%.

● Rialú asaithe beacht: Is é cruinneas suiteála an Chuck Leictreastatach (ESC) ná ± 0.01mm.

5. Ráthaíocht Glaineachta (i gcomhréir le caighdeáin ghrád leathsheoltóra)

● Éilliú miotail nialas: íonacht> 99.99%, éilliú sliseog a sheachaint

● Saintréithe féin-ghlanadh: Laghdaíonn struchtúr microporous sil -leagan na gcáithníní

Iii. Ceithre phríomhfheidhmiú ar phlátaí scagach SIC i ndéantúsaíocht leathsheoltóra

Cás 1: Trealamh próisis ardteochta (Foirnéis Idirleata/Foirnéis Annála)

● Pointe pian úsáideora: Is furasta ábhair thraidisiúnta a dhífhoirmiú, agus mar thoradh air sin scriosadh sliseog

● Réiteach: Mar phláta iompróra, oibríonn sé go cobhsaí faoi thimpeallacht 1200 ° C

● Comparáid sonraí: Tá an dífhoirmiúchán teirmeach 80% níos ísle ná an dífhoirmiúchán alúmana

Cás 2: Sil -leagan gaile ceimiceach (CVD)

● Pointe pian úsáideora: Bíonn tionchar ag dáileadh gáis míchothrom ar cháilíocht na scannán

● Réiteach: Déanann an struchtúr scagach aonfhoirmeacht idirleathadh gáis an imoibriúcháin a shroicheann 95%

● Cás an tionscail: Curtha i bhfeidhm ar sil -leagan tanaí scannán 3D NAND NAND

Cás 3: Trealamh Eitseáil Tirim

● Pointe pian úsáideora: Creimeadh plasmaSaol Comhpháirt RTENS

● Réiteach: Leathnaíonn feidhmíocht frith-phlasma an timthriall cothabhála go 12 mhí

● Éifeachtúlacht costais: Laghdaítear aga neamhfhónaimh trealaimh 40%

Cás 4: Córas glantacháin sliseog

● Pointe pian úsáideora: codanna a athsholáthar go minic mar gheall ar chreimeadh aigéad agus alcaile

● Réiteach: Fágann friotaíocht aigéad HF go sroicheann saol na seirbhíse níos mó ná 5 bliana

● Sonraí fíoraithe: ráta coinneála neart> 90% tar éis 1000 timthriall glantacháin

Iv. 3 bhuntáistí móra roghnaithe i gcomparáid le hábhair thraidisiúnta

V. Ceisteanna Coitianta d'úsáideoirí Tionscail

C1: An bhfuil pláta ceirmeach scagach Sic oiriúnach do tháirgeadh feiste gallium nítríd (Gan)?

Freagra a thabhairt ar: Tá, tá a fhriotaíocht ardteochta agus a seoltacht ard teirmeach oiriúnach go háirithe do phróiseas fáis epitaxial GAN ​​agus tá siad curtha i bhfeidhm ar dhéantúsaíocht sliseanna stáisiúin 5G.

C2: Conas an paraiméadar póirseachta a roghnú?

Freagra a thabhairt ar: Roghnaigh de réir an cháis iarratais:

● Gás dáileacháinciatán: Moltar 40% -50% porosity oscailte

● Asú i bhfolús: Moltar 60% -70% ard porosity ard

C3: Cad é an difríocht le criadóireacht cairbíde sileacain eile?

Freagra a thabhairt ar: I gcomparáid le dlúthSic Criadóireachta, tá na buntáistí seo a leanas ag struchtúir phóiriúla:

● laghdú meáchain 50%

● méadú 20 uair ar an achar dromchla sonrach

● laghdú 30% ar strus teirmeach