Paddle ard -íonachta sic cantilever

Is príomh -chomhpháirt é paddle cantilever ard -íonachta a úsáidtear i dtrealamh próiseála leathsheoltóra. Tá an táirge déanta as ábhar cairbíde sileacain ard-íonachta (SIC).  Is féidir le custaiméirí ábhar SIC sintéirithe a roghnú go saorálach nó ábhar SIC a athdhéanamh. Le cabhair óna thréithe den scoth a bhaineann le híocaíocht ard, le cobhsaíocht theirmeach ard agus le friotaíocht creimthe, úsáidtear go forleathan é i bpróisis amhail aistriú sliseog, tacaíocht agus próiseáil ardteochta, ag soláthar ráthaíochta iontaofa chun cruinneas próisis agus cáilíocht táirgí a chinntiú.

Imríonn paddle cantilever ard -íonachta na róil shonracha seo a leanas sa phróiseas próiseála leathsheoltóra:

Aistriú sliseog: Is iondúil go n-úsáidtear paddle cantilever ard-íonachta mar fheiste aistrithe sliseog i idirleathadh ardteochta nó foirnéisí ocsaídiúcháin. Fágann a chruas ard go bhfuil sé frithsheasmhach in aghaidh agus nach bhfuil sé éasca é a dhífhoirmiú le linn úsáide fadtéarmacha, agus is féidir leis a chinntiú go bhfanann an sliseog suite go cruinn le linn an phróisis aistrithe. In éineacht lena fhriotaíocht ardteochta agus creimthe, is féidir leis sliseoga a aistriú go sábháilte isteach agus amach as an bhfeadán foirnéise i dtimpeallachtaí ardteochta gan aon éilliú nó damáiste a dhéanamh do na sliseoga.

Tacaíocht sliseog: Tá comhéifeacht íseal de leathnú teirmeach ag ábhar SIC, rud a chiallaíonn go n -athraíonn a mhéid níos lú nuair a athraíonn an teocht, rud a chabhraíonn le rialú beacht a choinneáil sa phróiseas. I bpróisis sil -leagan gaile ceimiceacha (CVD) nó i bpróisis sil -leagan gaile fisiciúil (PVD), úsáidtear paddle cantilever SIC chun tacú leis an sliseog agus chun a chinntiú go bhfanann an sliseog seasmhach agus cothrom le linn an phróisis sil -leagain, rud a fheabhsaíonn aonfhoirmeacht agus cáilíocht an scannáin.

Próisis ardteochta a chur i bhfeidhm: Tá cobhsaíocht theirmeach den scoth ag paddle cantilever SIC agus is féidir leis teochtaí suas le 1600 ° C a sheasamh. Dá bhrí sin, úsáidtear an táirge seo go forleathan i bpróisis ardteochta, ocsaídiúcháin, idirleathadh agus próisis eile.

Airíonna fisiceacha bunúsacha de paddle cantilever ard -íonachta sic:

Paddle ard -íonachta sic cantileversiopa:

Forbhreathnú ar Shlabhra Tionscail Epitaxy na Sliseanna Leathsheoltóra: