Is é VeTek Semiconductor do chomhpháirtí nuálaíoch i réimse na próiseála leathsheoltóra. Le ár bpunann fairsing de chomhcheangail ábhar leathsheoltóra de ghrád Silicon Carbide Ceramics, cumais déantúsaíochta comhpháirteanna, agus seirbhísí innealtóireachta iarratais, is féidir linn cabhrú leat dúshláin shuntasacha a shárú. Innealtóireacht theicniúil Cuirtear criadóireacht Silicon Carbide i bhfeidhm go forleathan sa tionscal leathsheoltóra mar gheall ar a bhfeidhmíocht ábhair eisceachtúil. Is minic a úsáidtear Criadóireacht Carbide Sileacain ultra-íon VeTek Semiconductor ar feadh an timthrialla iomlán de mhonarú agus próiseáil leathsheoltóra.
Próiseáil Idirleata & LPCVD
Soláthraíonn VeTek Semiconductor comhpháirteanna criadóireachta a ndearnadh innealtóireacht orthu atá deartha go sonrach le haghaidh riachtanais idirleata baisc agus LPCVD lena n-áirítear:
● Sciatháin & sealbhóirí
● Insteallairí
● Líneálacha & feadáin phróiseála
● Paddles Cantilever Silicon Carbide
● Báid sliseog agus coisbhearta
COMHPHÁIRTÍ PRÓISIS ETCH
Éilliú agus cothabháil neamhsceidealta a íoslaghdú le comhpháirteanna ardíonachta a ndearnadh innealtóireacht orthu le haghaidh déine na próiseála plasma eitse, lena n-áirítear:
● Fáinní fócais
● Soic
● Sciathanna
● Cinn cith
● Windows / Lids
● Comhpháirteanna saincheaptha eile
Próiseáil Teirmeach Mear & COMHPHÁIRTITHE PRÓISIS EPITAXIALTA
Soláthraíonn VeTek Semiconductor comhpháirteanna ábhair chun cinn atá oiriúnaithe d'fheidhmchláir próiseála teirmeach ardteochta sa tionscal leathsheoltóra. Cuimsíonn na feidhmchláir seo RTP, próisis Epi, idirleathadh, ocsaídiú agus anáil. Tá ár gcuid criadóireacht theicniúil deartha chun suaití teirmeacha a sheasamh, ag seachadadh feidhmíocht iontaofa agus comhsheasmhach. Le comhpháirteanna VeTek Semiconductor, is féidir le monaróirí leathsheoltóra próiseáil theirmeach éifeachtach agus ardcháilíochta a bhaint amach, ag cur le rathúlacht iomlán táirgeadh leathsheoltóra.
● Idirleata
● Inslitheoirí
● Suiméirí
● Comhpháirteanna teirmeacha saincheaptha eile
Príomhghnéithe
● Ultra-ard íonachta: ábhar SiC > 99.96%, sileacain saor <0.1%, éilliú miotail a íoslaghdú.
● Feidhmíocht ardteochta den scoth: teocht oibre suas le 1600 ° C (ocsaídeach) / 1700 ° C (laghdú).
● Friotaíocht turraing teirmeach níos fearr agus leathnú teirmeach íseal le haghaidh feidhmíochta iontaofa faoi thimthriallta teirmeacha tapa.
● Ard-neart meicniúil (comhbhrú >600 MPa) agus táimhe ceimiceach in aghaidh gás próisis agus plasmas.
● Réimse táirgí cuimsitheach do phróisis idirleata/LPCVD, etch, RTP agus epi – ó bháid sliseog go fáinní fócais agus páirteanna saincheaptha.
● Saol seirbhíse fada agus giniúint cáithníní laghdaithe, ag cabhrú le minicíocht cothabhála níos ísle agus toradh a fheabhsú.
Sonraíochtaí Táirge
Airíonna fisiceacha Carbide Sileacain Athchriostalaithe
| Maoin |
Luach Tipiciúil |
| Teocht oibre (°C) |
1600 ° C (le ocsaigin), 1700 ° C (timpeallacht laghdaithe) |
| Ábhar SiC / SiC |
> 99.96% |
| Ábhar Si / Saor in Aisce Si |
< 0.1% |
| Dlús mórchóir |
2.60-2.70 g / cm³ |
| porosity dealraitheach |
< 16% |
| Neart comhbhrúite |
> 600 MPa |
| Neart lúbthachta fuar |
80-90 MPa (20°C) |
| Neart lúbthachta te |
90-100 MPa (1400°C) |
| Leathnú teirmeach @ 1500°C |
4.70 × 10⁻⁶/°C |
| Seoltacht theirmeach @ 1200°C |
23 W/m·K |
| Modal leaisteacha |
240 GPa |
| Friotaíocht turraing teirmeach |
Thar a bheith go maith |
Feidhmchláir
Chun freastal ar riachtanais éagsúla na bpróiseas leathsheoltóra, cuireann VeTek táirgí spriocdhírithe Silicon Carbide Ceramics ar fáil. Déanann an tábla seo a leanas iad a rangú de réir mór-réimsí iarratais:
| Réimse Feidhmchláir |
Táirgí tipiciúla |
Cur síos ar an Iarratas |
| Idirleathadh & LPCVD |
Báid wafer SiC, paddles cantilever, feadáin próisis, líneálacha, instealltaí,sciatháin & sealbhóirí
|
Comhpháirteanna SiC ard-íonachta le haghaidh idirleathadh baisc agus foirnéisí LPCVD; cobhsaíocht theirmeach den scoth agus friotaíocht ceimiceach suas go dtí 1600-1700 ° C, éilliú íseal. |
| Próiseas Plasma Etch |
Fáinní fócais, soic, sciatha, cinn cith, fuinneoga/clúidíní, comhpháirteanna eitse saincheaptha |
Páirteanna SiC ard-íonachta a ndearnadh innealtóireacht orthu le haghaidh timpeallachtaí plasma eitse; giniúint cáithníní agus cothabháil neamhsceidealta a íoslaghdú, friotaíocht plasma níos fearr. |
| RTP / Epitaxial / Próiseáil Theirmeach |
susceptors, diffusers, inslitheoirí, comhpháirteanna teirmeacha saincheaptha |
Comhpháirteanna do RTP, epi, idirleathadh, ocsaídiú agus annealing; deartha chun suaití teirmeacha a sheasamh agus feidhmíocht chomhsheasmhach ardteochta a sheachadadh. |
| Fás Criostail SiC (PVT) |
Púdar SiC ard-íonachta,7N CVD SiC amhábhar, páirteanna a bhaineann le nascáil síolta |
Bunábhair SiC ultra-íon agus comhpháirteanna tacaíochta le haghaidh fás criostail aonair PVT SiC, ag feabhsú toradh agus cáilíocht criostail. |
| Láimhseáil Wafer & Iompróirí |
Báid sliseog SIC ingearach/cothrománach, báid caiséad sileacain, pedestals, fáinní róin
|
Iompróirí beachtais agus comhpháirteanna séalaithe a sholáthraíonn aonfhoirmeacht theirmeach, cobhsaíocht mheicniúil agus éilliú íosta le linn próiseála ardteochta. |
Le haghaidh réitigh meaitseála próisis níos mionsonraithe, féach le do thoil ar anFoirnéise Ocsaídiú agus Idirleataleathanaigh ghaolmhara.
Mar mhonaróir agus soláthraí gairmiúil Ceirmeacht Silicon Carbide sa tSín, tá ár monarcha féin againn. Cibé an bhfuil seirbhísí saincheaptha uait chun freastal ar riachtanais shonracha do réigiún nó ag iarraidh Ceirmeacht Silicon Carbide atá chun cinn agus marthanach a dhéantar sa tSín a cheannach, is féidir leatfág teachtaireacht dúinn.
