Táirgí

Is próiseas lárnach é fás criostail chomhdhúile sileacain i ndéantúsaíocht feistí leathsheoltóra ardfheidhmíochta. Cinneann cobhsaíocht, cruinneas, agus comhoiriúnacht trealaimh fáis criostail go díreach cáilíocht agus toradh tinní chomhdhúile sileacain. Bunaithe ar shaintréithe na teicneolaíochta Iompar Glais Fhisiciúil (PVT), tá foirnéis téimh friotaíochta forbartha ag Veteksemi le haghaidh fás criostail chomhdhúile sileacain, rud a chuireann ar chumas fás cobhsaí de chriostail chomhdhúile sileacain 6-orlach, 8-orlach, agus 12-orlach le comhoiriúnacht iomlán le córais seoltacha, leath-inslithe agus ábhar N-cineál. Trí rialú beacht ar theocht, brú agus cumhacht, laghdaítear go héifeachtach lochtanna criostail mar EPD (Etch Pit Density) agus BPD (Basal Plane Dislocation), agus léiríonn sé tomhaltas ísealfhuinnimh agus dearadh dlúth chun freastal ar na caighdeáin arda de tháirgeadh tionsclaíoch ar scála mór.

Tá teicneolaíocht nascáil síolta SiC ar cheann de na príomhphróisis a théann i bhfeidhm ar fhás criostail. D'fhorbair VETEK foirnéis speisialaithe i bhfolús te-bhrú le haghaidh nascáil síolta bunaithe ar shaintréithe an phróisis seo. Is féidir leis an bhfoirnéis lochtanna éagsúla a ghintear le linn an phróisis nascáil síolta a laghdú go héifeachtach, rud a fheabhsóidh toradh agus cáilíocht deiridh an tinne criostail.

Is comhpháirt lárnach é seomra Imoibreora Eipiteaiseach Brataithe Veteksemicon SiC atá deartha le haghaidh próisis fáis epitaxial leathsheoltóra éilitheach. Agus leas á bhaint as ard-slógadh gaile ceimiceach (CVD), cruthaíonn an táirge seo sciath dlúth, ard-íonachta SiC ar fhoshraith graifíte ard-neart, rud a fhágann cobhsaíocht ardteochta agus friotaíocht creimeadh níos fearr. Seasann sé go héifeachtach le héifeachtaí creimneach gás imoibreáin i dtimpeallachtaí próisis ardteochta, cuireann sé faoi chois éilliú cáithníneach go suntasach, cinntíonn sé cáilíocht ábhar epitaxial comhsheasmhach agus táirgeacht ard, agus leathnaíonn sé go mór timthriall cothabhála agus saolré an tseomra imoibrithe. Is príomh-rogha é chun éifeachtúlacht déantúsaíochta agus iontaofacht leathsheoltóirí leathanbhanda cosúil le SiC agus GaN a fheabhsú.

Is iompróir wafer cruinneas-innealtóireacht é an Bád Caiséad Sileacain ó Veteksemicon a forbraíodh go sonrach le haghaidh feidhmeanna foirnéise leathsheoltóra ardteochta, lena n-áirítear ocsaídiú, idirleathadh, tiomáint isteach agus annealing. Déanta as sileacain ultra-ard-íonachta agus críochnaithe go hardchaighdeáin rialaithe éillithe, soláthraíonn sé ardán atá cobhsaí go teirmeach agus támh go ceimiceach a mheaitseálann go dlúth le hairíonna na sliseog sileacain iad féin. Laghdaíonn an t-ailíniú seo strus teirmeach, laghdaítear foirmiú duillín agus lochtanna, agus cinntíonn sé dáileadh teasa atá aonfhoirmeach go heisceachtúil ar fud an bhaisc.

I bpróiseas lárnach fáis epitaxial chomhdhúile sileacain, tuigeann Veteksemicon go gcinnfidh feidhmíocht susceptor go díreach cáilíocht agus éifeachtúlacht táirgthe na ciseal epitaxial. Úsáideann ár n-ionadaí EPI ard-íonachta, atá deartha go sonrach don réimse SiC, foshraith speisialta graifíte agus sciath dlúth CVD SiC. De bharr a gcobhsaíocht theirmeach níos fearr, friotaíocht creimeadh den scoth, agus ráta giniúna na gcáithníní thar a bheith íseal, cinntíonn siad aonfhoirmeacht tiús agus dópála gan sárú do chustaiméirí fiú i dtimpeallachtaí crua próisis ardteochta. Is éard atá i gceist le roghnú Veteksemicon ná bunchloch iontaofachta agus feidhmíochta a roghnú do do phróisis déantúsaíochta leathsheoltóra chun cinn.

Is croí-chomhpháirt iompróra i bpróisis epitaxial leathsheoltóra é an t-ionadaí grafite brataithe Veteksemicon SiC do ASM. Úsáideann an táirge seo ár dteicneolaíocht sciath chomhdhúile sileacain pirealaíoch dílsithe agus próisis mheaisínithe beachta chun feidhmíocht níos fearr agus saolré ultra-fhada a chinntiú i dtimpeallachtaí próisis ardteochta agus creimneach. Tuigimid go mór na ceanglais dhian a bhaineann le próisis epitaxial ar íonacht an tsubstráit, cobhsaíocht theirmeach, agus comhsheasmhacht, agus táimid tiomanta do réitigh chobhsaí, iontaofa a sholáthar do chustaiméirí a fheabhsaíonn feidhmíocht trealaimh iomlán.