Táirgí

Is comhpháirt graifíte é an Halfmoon a úsáidtear taobh istigh d'imoibreoirí LPE SiC, atá suiteáilte go príomha timpeall crios te an tseomra. Cé nach ndéanann sé teagmháil dhíreach leis an wafer, tá ról fós aige i gcobhsaíocht sreabhadh gáis agus oibriú imoibreora le linn fáis epitaxial. Soláthraíonn VETEK insliú feilte graifíte agus páirteanna graifíte brataithe eile do chórais epitaxy SiC.

Is cuid crua-earraí é an fáinne barr epi SiC 8-orlach d'imoibreoirí leathsheoltóra. Oibríonn sé laistigh de chórais epitaxy Si/Sic agus MOCVD/CVD. Déanann an fáinne seo an teas laistigh den seomra a chobhsú. Rialaíonn sé freisin sreabhadh na ngás. Is é an t-ábhar CVD Silicon Carbide ard-íonachta. Níl na saincheisteanna outgassing de graifít aige. Laghdaíonn sé freisin éilliú cáithníní le linn production.We fáilte roimh do chuid fiosruithe.

D'fhorbair VETEK ár bhfeilt bog snáithín carbóin ag baint úsáide as meascán de chártaí beachta agus de theicneolaíocht scaird-aer. is féidir linn struchtúr snáithín an-aonfhoirmeach a ráthú ar fud an ábhair. Tá sé tógtha chun teas dian foirnéisí tionsclaíocha a sheasamh agus é fós thar a bheith éadrom. Le mais theirmeach chomh híseal sin agus uigeacht sholúbtha, tá sé éasca é a shuiteáil agus a luíonn go tapa i gcoirnéil na foirnéise, ag cuidiú leis an éifeachtúlacht fuinnimh a uasmhéadú i ngach timthriall.

Is é cáilíocht an bhunábhair tosaigh an príomhfhachtóir a chuireann srian ar tháirgeacht sliseog i dtáirgeadh criostail aonair SiC. Cuireann Bulc SiC CVD Ardíonachta 7N VETEK rogha ilchriostalach ard-dlúis ar fáil seachas púdair thraidisiúnta, a innealtóireacht go sonrach le haghaidh Iompar Gaile Fisiciúil (PVT). Trí úsáid a bhaint as foirm CVD mórchóir, cuirimid deireadh le lochtanna coitianta fáis agus feabhsaítear go suntasach tréchur foirnéise. Ag tnúth le d'fhiosrúchán.

I ndéantúsaíocht ardleibhéil mar Idirleathadh, Ocsaídiú, nó LPCVD, ní sealbhóir amháin atá sa bhád wafer - is cuid ríthábhachtach den timpeallacht theirmeach é. Ag teocht ag bualadh 1000 ° C go 1400 ° C, is minic a theipeann ar ábhair chaighdeánacha mar gheall ar warping nó outgassing. Tá réiteach SiC-on-SiC VETEK (substráit ard-íonachta le sciath dlúth CVD) deartha go sonrach chun na hathróga ardteasa seo a chobhsú.

Tá timpeallachtaí ardteochta agus imoibríocha ceimiceacha MOCVD, cosaint an tseomra imoibrithe agus cruinneas rialaithe próisis ríthábhachtach. Soláthraíonn VETEK comhpháirteanna Grianchloch Teimhneach (Bán na Bó Finne) préimhe, atá deartha go sonrach chun gníomhú mar an "seomra glan" agus "geata beachtais" laistigh de do threalamh leathsheoltóra. Tairgeann na comhpháirteanna seo réiteach cost-éifeachtach ach ardfheidhmíochta chun radaíocht theirmeach a bhainistiú agus chun éilliú a chosc.