Táirgí

Cairbíd sileacain sholadach

Vetek Semiconductor Is comhpháirt ceirmeach tábhachtach é cairbíd sileacain soladach i dtrealamh eitseáil plasma, cairbíd sileacain sholadach (Cairbíd sileacain CVD) tá codanna sa trealamh eitseáil san áireamhFáinní a Dhíriú, ceann cithfholctha gáis, tráidire, fáinní imeall, etc. Mar gheall ar imoibríocht íseal agus seoltacht cairbíd sileacain sholadach (cairbíd sileacain CVD) le clóirín - agus le gáis eitseáilte ina bhfuil fluairín, is ábhar idéalach é do threalamh eitseáil plasma ag díriú fáinní agus comhpháirteanna eile.


Mar shampla, is cuid thábhachtach é an fáinne fócais a chuirtear taobh amuigh den sliseog agus i dteagmháil dhíreach leis an sliseog, trí voltas a chur i bhfeidhm ar an bhfáinne chun an plasma a dhíríonn tríd an bhfáinne a dhíriú, rud a dhíríonn an plasma ar an sliseog chun aonfhoirmeacht na próiseála a fheabhsú. Tá an fáinne fócais traidisiúnta déanta as sileacain nógrianchloch, Silicon seoltaí mar ábhar fáinne fócais coitianta, tá sé beagnach gar do sheoltacht sliseoga sileacain, ach is é an ganntanas friotaíocht eitseáil i bplasma ina bhfuil fluairín, ábhair pháirteanna eitseáilte a úsáidtear go minic ar feadh tréimhse ama, beidh feiniméan creimthe tromchúiseach ann, ag laghdú a éifeachtúlachta táirgthe go dáiríre.


Sfáinne fócais olid sicPrionsabal oibre

Working Principle of Solid SiC Focus Ring


Comparáid idir fáinne dírithe bunaithe ar Si agus fáinne dírithe CVD SIC :

Comparáid idir fáinne dírithe bunaithe ar Si agus fáinne dírithe CVD SIC
Mír Is Cvd sic
Dlús (g/cm3) 2.33 3.21
Bearna Band (EV) 1.12 2.3
Seoltacht theirmeach (w/cm ℃) 1.5 5
CTE (x10-6/℃) 2.6 4
Modulus leaisteach (GPA) 150 440
Cruas (GPA) 11.4 24.5
Friotaíocht le caitheamh agus creimeadh Droch- Thar cionn


Tairgeann Vetek Semiconductor codanna cairbíde sileacain soladach (CVD Silicon Carbide) ar nós fáinní dírithe ar threalamh leathsheoltóra. Tá ár bhfáinní cairbíde sileacain sholadaigh ag díriú níos fearr ná sileacain thraidisiúnta i dtéarmaí neart meicniúil, friotaíocht cheimiceach, seoltacht theirmeach, marthanacht ardteochta, agus friotaíocht eitseáil ian.


I measc na bpríomhghnéithe dár bhfáinní dírithe SIC tá:

Dlús ard do rátaí eitseáil laghdaithe.

Insliú den scoth le bandgap ard.

Seoltacht ard teirmeach agus comhéifeacht íseal leathnú teirmeach.

Friotaíocht agus leaisteachas tionchair mheicniúil níos fearr.

Cruas ard, friotaíocht a chaitheamh, agus friotaíocht creimthe.

Monaraithe ag úsáidIsl-leagan gaile ceimiceach feabhsaithe plasma (PECVD)Comhlíonann teicnící, ár bhfáinní dírithe SIC na héilimh mhéadaitheacha a bhaineann le próisis eitseáil i ndéantúsaíocht leathsheoltóra. Tá siad deartha chun cumhacht agus fuinneamh plasma níos airde a sheasamh, go háirithe iPlasma (CCP) atá cúpláilte go toilleas (CCP)Córais.

Soláthraíonn fáinní fócasaithe Vetek Semiconductor feidhmíocht agus iontaofacht eisceachtúil i ndéantúsaíocht feiste leathsheoltóra. Roghnaigh ár gcomhpháirteanna SIC le haghaidh cáilíochta agus éifeachtúlachta níos fearr.


View as  
 
Ceann cithfholcadh graifíte brataithe CVD SIC

Ceann cithfholcadh graifíte brataithe CVD SIC

Is comhpháirt ardfheidhmíochta é an ceann cithfholctha brataithe CVD SIC ó Veteksemimon atá deartha go sonrach do phróisis sil-leagan ceimiceach leathsheoltóra (CVD). Arna mhonarú ó ghraifít ard-íonachta agus atá cosanta le teistíocht cheimiceach gaile (CVD) sciath sileacain (SIC), seachadann an ceann cithfholctha seo marthanacht, cobhsaíocht theirmeach, agus friotaíocht le gáis phróisis creimneach. Ag súil le do chomhairliúchán breise.
Fáinne imeall sic

Fáinne imeall sic

Fáinní Edge Sic Sic Sic Sic SIC Veteksemimon, atá deartha go speisialta le haghaidh trealamh eitseáilte leathsheoltóra, friotaíocht creimthe gan íoc agus cobhsaíocht theirmeach
Íonacht ard cvd sic amhábhar

Íonacht ard cvd sic amhábhar

Is é an t -amhábhar ard -íonachta CVD SIC a ullmhaíonn CVD an t -ábhar foinse is fearr le haghaidh fás criostail cairbíde sileacain trí iompar gaile fisiciúil. Tá dlús na n-amhábhar ard íonachta CVD SIC a sholáthraíonn leathsheoltóra Vetek níos airde ná an t-ábhar beag de cháithníní beaga a chruthaítear trí dhó spontáineach de gháis Si agus C ina bhfuil C, agus ní éilíonn sé foirnéis shintéirithe tiomnaithe agus tá ráta galú beagnach leanúnach aige. Féadann sé criostail aonair SIC ardchaighdeáin a fhás. Ag súil go mór le d’fhiosrúchán.
Iompróir sliseog soladach sic

Iompróir sliseog soladach sic

Tá iompróir soladach Sic Sic Vetek Semiconductor deartha le haghaidh timpeallachtaí ardteochta agus creimthe atá frithsheasmhach i bpróisis leathsheoltóra agus tá sé oiriúnach do gach cineál próiseas monaraithe sliseog le riachtanais íonachta ard. Tá Vetek Semiconductor ina phríomhsholáthraí iompróra wafer sa tSín agus tá sé ag súil le bheith i do chomhpháirtí fadtéarmach sa tionscal leathsheoltóra.
Ceann cithfholctha soladach sic-chruthach diosca

Ceann cithfholctha soladach sic-chruthach diosca

Is déantúsóir trealaimh leathsheoltóra ceannródaíoch é Vetek Semiconductor sa tSín agus is déantóir gairmiúil agus soláthróir ceann cithfholctha soladach Diosca-chruthach é. Baintear úsáid fhorleathan as ár gceann cithfholctha cruth diosca i dtáirgeadh tanaí sil -leagan scannán mar phróiseas CVD chun dáileadh aonfhoirmeach an gháis imoibriúcháin a chinntiú agus tá sé ar cheann de na príomh -chomhpháirteanna de fhoirnéis CVD.
Cuid séalaithe sic

Cuid séalaithe sic

Mar mhonaróir agus monarcha agus monarcha de chuid SIC SIC sa tSín. Is cuid ardfheidhmíochta í an chuid is mó de shéalú semiconducto SIC a úsáidtear go forleathan i bpróiseáil leathsheoltóra agus i bpróisis ard-ardteochta agus ardbhrú eile. Cuir fáilte roimh do chomhairliúchán breise.

Veteksemicon solid silicon carbide is the ideal procurement material for high-temperature, high-strength, and corrosion-resistant components used in semiconductor and industrial applications. As a fully dense, monolithic ceramic, solid silicon carbide (SiC) offers unmatched mechanical rigidity, extreme thermal conductivity, and exceptional chemical durability in harsh processing environments. Veteksemicon’s solid SiC is specifically developed for critical structural applications such as SiC wafer carriers, cantilever paddles, susceptors, and showerheads in semiconductor equipment.


Manufactured through pressureless sintering or reaction bonding, our solid silicon carbide parts exhibit excellent wear resistance and thermal shock performance, even at temperatures above 1600°C. These properties make solid SiC the preferred material for CVD/PECVD systems, diffusion furnaces, and oxidation furnaces, where long-term thermal stability and purity are essential.


Veteksemicon also offers custom-machined SiC parts, enabling tight dimensional tolerances, high surface quality, and application-specific geometries. Additionally, solid SiC is non-reactive in both oxidizing and reducing atmospheres, enhancing its suitability for plasma, vacuum, and corrosive gas environments.


To explore our full range of solid silicon carbide components and discuss your project specifications, please visit the Veteksemicon product detail page or contact us for technical support and quotations.


Mar mhonaróir gairmiúil Cairbíd sileacain sholadach sa tSín, tá ár monarcha féin againn. Cibé an bhfuil seirbhísí saincheaptha de dhíth ort chun freastal ar riachtanais shonracha do réigiúin nó más mian leat dul chun cinn agus durable Cairbíd sileacain sholadach a dhéanamh sa tSín, is féidir leat teachtaireacht a fhágáil linn.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept