Fáinní Solad Fócas SiC

1. Gnéithe Táirge

● Íonacht (Fíoraithe GDMS): > 99.99995% (Suas le 6N-7N) | Coinníonn sé an seomra saor ó rioscaí rianmhiotail.

● Solidness Struchtúrtha: ≥3.21  g/cm3 | Sroicheann sé dlús teoiriciúil; ní fhágann aon fholús le haghaidh outgassing nó micrea-cháithníní a chur i bhfolach.

● Rialachán Teirmeach: 200 - 300W/m·K | Scaipeann an teas go tapa chun teocht imeall sliseog a choinneáil go foirfe fiú.

● Raon Leictreach: 0.01 - 10 Ωcm | Friotaíocht inoiriúnaithe chun an truaill plasma a seasta agus chun an nasc RF a bheachtú.Rochtaineacht an Dromchla: ≥2500 HV | Cuireann sé in aghaidh caitheamh scríobach le linn timthriallta leanúnacha eitseála tirime.

2. Feidhmchláirl 

● Eitseáil plasma ardphróisis

● Próisis sil-leagan tanaí scannáin (PECVD/ALD)

● Is príomhábhair inchaite iad fáinní eitseála soladach SiC i ndéantúsaíocht sliseanna chun cinn, a úsáidtear chun aonfhoirmeacht na bpróiseas imeall sliseog a chinntiú, feabhas a chur ar tháirgeacht agus síneadh a chur le saolré comhpháirteanna i bpróisis eitseála agus sil-leagan plasma.

3. Leochaileachtaí Fab a Réiteach

● Eisiúint: Am Costas Díomhaoin ó Chreimeadh Cuid Mhear

An Deisigh:  Taispeánann struchtúr CVD Vetek luas creimthe 10 go 20 huaire níos moille ná an Grianchloch agus 3 go 5 huaire níos moille ná an bulc-sileacain. Faigheann fabraicí táirgíochta níos faide agus i bhfad níos lú gaothairí seomra éigeandála.

● Eisiúint: Edge Yield Collapse ("The Edge Effect")

An Deisiúchán: Cuireann caitheamh mall intuartha trasna aghaidh an fháinne stop leis an truaill plasma ó chlaonadh le himeacht ama. Coinníonn sé seo teorainneacha daingean Toise Criticiúil (CD) díreach ag imlíne na sliseog.

● Saincheist: Spící Lochtacha ó Shedding Sintered-Part

An Deisigh: Fágann ár sintéis chéim gáis taobh thiar de cheangail náid-theorann gránach nó líontóirí miotalacha. Gan na spotaí laga seo, ní bheidh an fáinne ag scealpadh ná ina chúis le lochtanna micrea-chumhdaigh ar an dromchla sliseog.

4. Tacaíocht Innealtóireachta Saincheaptha

● Comhtháthú Uirlis Buail Isteach: Saincheaptha chun na sonraí spásála dochta de bhrandaí domhanda eitse mar Lam, AMAT, agus TEL a mheaitseáil.

● Meaitseáil Friotaíochta: Déanaimid próifíl leictreach gach baisce a tiúnáil chun teacht go foirfe le do pharaiméadair oidis ar leith.

● Bailchríocha Casta: Fostaítear Pleanáil Mheicniúil Cheimiceach (CMP) ultra-ghlan chun dromchlaí garbh a mhaolú, ag laghdú líon na gcáithníní le linn an luath-séasúir uirlisí.

● Fachtóirí Foirmeacha Intricate: Coinnímid lamháltais daingean (±0.01mm) ar fháinní imeall casta ilchéime agus ar shocrúcháin fáinne comhghlasála.

Stóras Leathsheoltóra Vetek: