Seirbhísí & Acmhainní

Ábhair & Dearadh

Is é roghnú an tsubstráit chomhoiriúnaithe agus an teaglaim sciath an eochair chun teip an chomhpháirte roimh am a chosc, éilliú cáithníní a laghdú, agus an toradh wafer a uasmhéadú. Soláthraímid ábhar oiriúnaithe agus réitigh dearaidh struchtúracha thart ar fhuinneog próisis shonrach an chustaiméara (teocht oibriúcháin, ceimic gáis imoibríoch, rátaí rampaí).

Ár gCeannas Dearaidh:

  • Comhoiriúnú Strus CTE dian:Maidir le rothaíocht theirmeach tapa (> 100 ° C/nóim), meaitseálann muid go beacht na cuair teochta CTE d'fhoshraitheanna graifíte ard-íonachta agus bratuithe CVD, rud a laghdóidh go bunúsach an baol a bhaineann le dílamadh brataithe agus micreascáineadh.
  • Roghnú Cumhdaithe Próiseas Sonrach:Cumhdach CVD SiC do thimpeallachtaí eitseála Si/SiC (Epi), MOCVD, agus plasma eitseála; Cumhdach CVD TaC le haghaidh coinníollacha níos airde agus go láidir creimneach (m.sh., fás PVT aonchriostail SiC).
  • Friotaíocht Inrialaithe & Optamú Seolta Teirmeach:Rialú beacht ar fhriotaíocht mórchóir agus seoltacht theirmeach an tsubstráit agus an bhrataithe chun riachtanais shonracha réimse leictreach agus teirmeach RF, chucks leictreastatacha ESC, nó Criosanna Téimh a chomhlíonadh.
  • Rialú Foinse Éillithe & Laghdú CoO:Déanann sraitheanna sil-leagan CVD ard-íonachta graifít phóiriúil a shéaladh go dlúth, ag laghdú go suntasach doirteadh na gcáithníní, idirleathadh eisíontas miotail ultra-rian, agus riosca ardteochta eisghásaithe.

Comparáid Roghnaithe Cumhdaithe Ghnáthúla (Treoir Sracfhéachaint)

Cumhdach Treoracha tipiciúla Iarratais Buntáistí Croí
CVD SiC Epitaxy Si/Sic (Epi), MOCVD, eitseáil plasma páirteach Ard-íonacht, cobhsaíocht theirmeach maith, friotaíocht creimeadh ceimiceach, ardchostas iomlán
CVD TaC Fás aonchriostail SiC ardteochta (PVT), comhpháirteanna ualachiompartha ardteochta Rátáil teocht níos airde (> 1600 ° C), friotaíocht láidir creimeadh, friotaíocht ocsaídiúcháin den scoth

Fíor-Chás & Sochair Chustaiméara (Taithí):

Príomh-mhonaróir SiC epitaxy (Epi):Bhain an comhpháirt bhunaidh úsáid as sciath CVD TaC mímheaitsiúil, rud a d'eascair ró-strus idir-éadan agus micreascoilteanna go minic ag teocht ard. Rinneamar insamhaltaí teirmidinimiciúla a reáchtáil arís agus d'athraigh muid go dtí aFoshraith graifíte ardíonachta speisialtachta atá comhoiriúnaithe le CTE + ciseal maolánach + sciath CVD SiCréiteach. Toradh: meánshaolré comhpháirt méadaithe ó 200 uair go 850 uair; thit minicíocht athsholáthair bhliantúil in aghaidh an uirlis ó 40 go 9 huaire; trealamh cuimsitheach sháraigh coigilteas costais O&M RMB 650,000 in aghaidh na bliana.

GDMS purity analysis report for TaC coating GDMS purity analysis report for SiC coating

Tuarascáil anailíse íonachta GDMS maidir le bratuithe TaC agus SiC

CCanna

1. C: Conas ba cheart dom a roghnú idir sciath CVD SiC agus sciath CVD TaC?

▼

A:Breathnaigh ar do theocht próiseas agus ar dhéine creimeadh an gháis-chéim. Má tá teocht an phróisis faoi bhun 1000 °C agus go mbaineann sé go príomha le heitseáil bunaithe ar Cl₂/F₂ nó epitaxy traidisiúnta, roghnaighCVD SiCle haghaidh na feidhmíochta costais is fearr; má sháraíonn teocht an phróisis 1200 ° C agus má tá atmaisféir atá creimneach go láidir i gceist (m.sh. fás aonchriostail SiC PVT), molaimidCVD TaC, a thairgeann teocht níos fearr agus friotaíocht creimeadh. Is féidir linn tuarascáil molta roghnúcháin saor in aisce a sholáthar bunaithe ar do pharaiméadair phróisis shonracha.

2. C: An dtacaíonn tú le fréamhshamhlú aon-phíosa / bhaisc bheag? Cad é an t-am luaidhe?

▼

A:Sea! Le haghaidh fréamhshamhlacha innealtóireachta droim ar ais,Is é MOQ 1 phíosa. Maidir le páirteanna simplí traidisiúnta, ó fháil sampla go dtí seachadadh na coda mapáilte, is é an t-am luaidhe is tapúla thart10-15 lá oibre; i gcás páirteanna a bhaineann le próisis chasta brataithe tá sé thart20-25 lá oibre. Déan teagmháil lenár n-innealtóirí le haghaidh meastóireachta gasta.

3. C: Cad is cúis le delamination sciath CVD ar chodanna graifíte le linn úsáide? An féidir é a réiteach?

▼

A:Is é is cúis le 90% de chásanna dílamination ná neamhréir idir comhéifeacht leathnaithe teirmeach (CTE) an tsubstráit graifíte agus an bhrataithe, rud a fhágann go mbíonn tuirse ag feannadh faoi théamh/fuarú tapa. Ár réiteach: déan an cuar CTE de do chuid bunaidh a thomhas go beacht ar dtús, ansin déan dlús an tsubstráit agus grádán teocht an tsíleáil a choigeartú go speisialta ionas go mbeidh an dá CTE comhoiriúnaithe go mór. Is féidir neart bannaí a fheabhsú go dtí níos mó ná1.5 uairan leibhéal tionscail traidisiúnta.

4. C: An féidir leat CoA (Deimhniú Anailíse) a sholáthar do na táirgí? Cad iad na sonraí a chuimsíonn sé?

▼

A:Tagann gach táirge seolta caighdeánach le asraithuimhir uathúil + tuairisc iomlán CoA. Áirítear sa tuarascáil: sonraí iniúchta CMM gné chriticiúil, léarscáil dáileadh tiús sciath ilphointí, luachanna garbh an dromchla (Ra), agus tátail anailíse ar íonacht ábhar (GDMS).

Tosaigh do Sheirbhís Eisiach Anois

Fón: +86-18069220752(Tina);+86-15988690905(Séra)

Ríomhphost: anny@veteksemi.com

X
Úsáidimid fianáin chun eispéireas brabhsála níos fearr a thairiscint duit, chun anailís a dhéanamh ar thrácht an tsuímh agus chun inneachar a phearsantú. Trí úsáid a bhaint as an suíomh seo, aontaíonn tú lenár n-úsáid a bhaint as fianáin. Beartas Príobháideachta
DiúltaighGlac