Déanann VeTek Semiconductor speisialtóireacht i dtáirgeadh táirgí Cumhdach Carbide Sileacain ultra íon, tá na bratuithe seo deartha le cur i bhfeidhm ar graifít íonaithe, criadóireacht agus comhpháirteanna miotail teasfhulangacha.
Tá ár bratuithe ardíonachta dírithe go príomha le húsáid sna tionscail leathsheoltóra agus leictreonaic. Feidhmíonn siad mar chiseal cosanta d'iompróirí sliseog, susceptors, agus d'eilimintí téimh, á gcosaint ó thimpeallachtaí creimneach agus imoibríocha a bhíonn i bpróisis ar nós MOCVD agus EPI. Tá na próisis seo lárnach do phróiseáil sliseog agus déantúsaíocht gléasanna. Ina theannta sin, tá ár gcuid bratuithe feiliúnach go maith le haghaidh feidhmeanna i bhfoirnéisí bhfolús agus téimh samplach, áit a bhfuil ardfholús,
imoibríoch, agus aimsítear timpeallachtaí ocsaigine.
Ag VeTek Semiconductor, cuirimid réiteach cuimsitheach ar fáil lenár gcumas chun cinn siopa meaisín. Cuireann sé seo ar ár gcumas na bun-chomhpháirteanna a mhonarú ag baint úsáide as graifít, criadóireacht, nó miotail teasfhulangacha agus na bratuithe ceirmeacha SiC nó TaC a chur i bhfeidhm go hinmheánach. Soláthraímid seirbhísí brataithe freisin do chodanna a sholáthraíonn custaiméirí, ag cinntiú solúbthacht chun freastal ar riachtanais éagsúla.
Úsáidtear ár gcuid táirgí Cumhdach Carbide Sileacain go forleathan i Si epitaxy, SiC epitaxy, córas MOCVD, próiseas RTP/RTA, próiseas eitseála, próiseas eitseála ICP/PSS, próiseas de chineálacha éagsúla LED, lena n-áirítear LED gorm agus glas, UV LED agus domhain-UV LED srl., atá oiriúnaithe do threalamh ó LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TSI agus Soilse.
Páirteanna imoibreora is féidir linn a dhéanamh:
Príomhghnéithe
● íonacht ultra-ard (99.99995%) le struchtúr dlúth β-chéim polycrystalline le haghaidh giniúna íosta cáithníní.
● Friotaíocht cheimiceach den scoth le HCl, NH₃, H₂, SiH₄ agus gáis phróisis chreimneach eile.
● Seoltacht teirmeach ard (~300 W·m⁻¹·K⁻¹) agus cobhsaíocht theirmeach suas go dtí teocht sublimation de 2700°C.
● Cruas Superior (2500 Vickers) agus greamaitheacht láidir le graifít, criadóireacht agus miotail teasfhulangacha.
● Clúdach brataithe comhréireach atá oiriúnach do chéimseata casta lena n-áirítear susceptors, iompróirí, cinn cithfholcadh agus eilimintí teasa.
● Ag luí le hardáin trealaimh mhóra: LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annalsys, TSI agus níos mó.
Cumhdach Carbide Sileacain roinnt buntáistí uathúla
Sonraíochtaí Táirge
Paraiméadar Cumhdach Carbide Sileacain Leathsheoltóra VeTek
| Airíonna fisiceacha bunúsacha sciath CVD SiC |
| Maoin |
Luach Tipiciúil |
| Struchtúr Criostail |
FCC β chéim polycrystalline, go príomha (111) atá dírithe |
| Dlús sciath SiC |
3.21 g / cm³ |
| Cruas sciath SiC |
Cruas 2500 Vickers (ualach 500g) |
| Méid Grán |
2~10μm |
| Íonacht Cheimiceach |
99.99995% |
| Cumas Teasa |
640 J·kg⁻¹·K⁻¹ |
| Teocht sublimation |
2700 ℃ |
| Neart Flexural |
415 MPa RT 4-phointe |
| Modal Óg |
Bend 430 GPa 4pt, 1300 ℃ |
| Seoltacht Theirmeach |
300 W·m⁻¹·K⁻¹ |
| Leathnú Teirmeach (CTE) |
4.5×10⁻⁶ K⁻¹ |
CVD STRUCHTÚR CRYSTAL SCANNÁN
Feidhmchláir
Chun freastal ar riachtanais éagsúla na bpróiseas leathsheoltóra, cuireann VeTek táirgí spriocdhírithe Cumhdach Silicon Carbide. Déanann an tábla seo a leanas iad a rangú de réir mór-réimsí iarratais, ag liostú comhpháirteanna tipiciúla agus próisis infheidhme:
| Réimse Feidhmchláir |
Táirgí tipiciúla |
Cur síos ar an Iarratas |
| Si Epitaxy |
Cumhdóir Graifíte Brataithe CVD SiC, Iompróir Wafer Cumhdach SiC, Episuceptor
|
Oiriúnach do phróisis epitaxial sileacain, ag soláthar dáileadh teocht aonfhoirmeach, friotaíocht ceimiceach agus giniúint cáithníní íseal le haghaidh sraitheanna epi ard-chaighdeán. |
| SiC Epitaxy |
Susceptor Pláinéadach Brataithe CVD SiC, susceptor wafer brataithe SiC, fáinne treorach |
Le haghaidh fás epitaxial SiC ardteochta (LPE etc.), cobhsaíocht theirmeach agus comhéadan glan a sheachadadh chun aonfhoirmeacht scannáin agus toradh próisis a chinntiú. |
| Eiteacsaí GaN / LED (MOCVD) |
Clúdach Satailíte brataithe le SiC, Ceann Cith, diosca satailíte, fáinne chumhdaigh |
Ag luí le córais Aixtron, Veeco MOCVD; cuireann sé in aghaidh creimeadh H₂/NH₃, laghdaítear éilliú na gcáithníní agus feabhsaíonn sé táirgeacht eip LED (gorm, glas, UV, domhain-UV). |
| Próiseas RTP / RTA |
Cumhdóir RTP Brataithe CVD SiC, Iompróir RTP RTA, eilimintí teasa
|
Deartha le haghaidh próiseála teirmeach tapa agus annealing; seasann sé le rothaíocht ardteochta arís agus arís eile le seoltacht theirmeach den scoth agus cobhsaíocht tríthoiseach. |
| Eitseáil / ICP / PSS |
Fáinní Solad Fócas SiC, Comhpháirteanna brataithe SiC le haghaidh seomraí eitse
|
Cosnaíonn cruas ard agus friotaíocht plasma páirteanna seomra, cinntigh aonfhoirmeacht próifíle eitse agus leathnaíonn sé saol seirbhíse i dtimpeallachtaí saibhir halaigine. |
| Téamh agus Tacaíocht Ardteochta |
Eilimint Téimh sciath CVD SiC, iompróirí wafer, susceptors
|
Le haghaidh feidhmeanna ionduchtaithe / teasa frithsheasmhacha agus foirnéise bhfolús; cuireann cruas ard, friotaíocht turraing teirmeach agus saolré comhpháirteanna fada. |
Le haghaidh réitigh meaitseála próisis níos mionsonraithe, féach le do thoil ar anEpitaxy sileacainagusEpitaxy Carbide Sileacainleathanaigh iarratais ghaolmhara.
Mar mhonaróir gairmiúil Cumhdach Carbide Silicone agus soláthraí sa tSín, tá ár monarcha féin againn. Cibé an bhfuil seirbhísí saincheaptha ag teastáil uait chun freastal ar riachtanais shonracha do réigiún nó ag iarraidh Cumhdach Carbide Sileacain chun cinn agus durable a dhéantar sa tSín a cheannach, is féidir leatfág teachtaireacht dúinn.
