Cumhdach Carbide Sileacain

Déanann VeTek Semiconductor speisialtóireacht i dtáirgeadh táirgí Cumhdach Carbide Sileacain ultra íon, tá na bratuithe seo deartha chun a chur i bhfeidhm ar graifít íonaithe, criadóireacht, agus comhpháirteanna miotail teasfhulangacha.

Tá ár bratuithe ardíonachta dírithe go príomha le húsáid sna tionscail leathsheoltóra agus leictreonaic. Feidhmíonn siad mar chiseal cosanta d'iompróirí sliseog, susceptors, agus eilimintí téimh, á gcosaint ó thimpeallachtaí creimneach agus imoibríocha a bhíonn i bpróisis mar MOCVD agus EPI. Tá na próisis seo lárnach do phróiseáil sliseog agus déantúsaíocht gléasanna. Ina theannta sin, tá ár gcuid bratuithe feiliúnach go maith le haghaidh feidhmchláir i bhfolúsfhoirnéisí agus i dtéamh samplach, áit a ndéantar timpeallachtaí ardfholúsacha, imoibríocha agus ocsaigine.

Ag VeTek Semiconductor, cuirimid réiteach cuimsitheach ar fáil lenár gcumas chun cinn siopa meaisín. Cuireann sé seo ar ár gcumas na bun-chomhpháirteanna a mhonarú ag baint úsáide as graifít, criadóireacht, nó miotail teasfhulangacha agus na bratuithe ceirmeacha SiC nó TaC a chur i bhfeidhm go hinmheánach. Soláthraímid seirbhísí brataithe freisin do chodanna a sholáthraíonn custaiméirí, ag cinntiú solúbthacht chun freastal ar riachtanais éagsúla.

Úsáidtear ár gcuid táirgí Cumhdach Sileacain Carbide go forleathan i Si epitaxy, SiC epitaxy, córas MOCVD, próiseas RTP / RTA, próiseas eitseála, próiseas eitseála ICP / PSS, próiseas de chineálacha éagsúla LED, lena n-áirítear LED gorm agus glas, UV LED agus UV domhain. LED srl., atá oiriúnaithe do threalamh ó LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI agus mar sin de.

Páirteanna imoibreora is féidir linn a dhéanamh:

Tá roinnt buntáistí uathúla ag Cumhdach Carbide Sileacain:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

Paraiméadar Cumhdach Carbide Sileacain Leathsheoltóra VeTek

Airíonna fisiceacha bunúsacha sciath CVD SiC
Maoin	Luach Tipiciúil
Struchtúr Criostail	FCC β chéim polycrystalline, go príomha (111) atá dírithe
Dlús sciath SiC	3.21 g / cm³
SiC sciath Cruas	Cruas 2500 Vickers (ualach 500g)
Grán SiZe	2~10μm
Íonacht Cheimiceach	99.99995%
Cumas Teasa	640 J·kg^-1·K^-1
Teocht sublimation	2700 ℃
Neart Flexural	415 MPa RT 4-phointe
Modal Óg	Bend 430 Gpa 4pt, 1300 ℃
Seoltacht Theirmeach	300W·m^-1·K^-1
Leathnú Teirmeach (CTE)	4.5×10-6K^-1

CVD STRUCHTÚR CRYSTAL SCANNÁN

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

Soilitheoir Epi brataithe le Silicon Carbide Iompróir Wafer Cumhdach SiC Clúdach Satailíte brataithe SiC do MOCVD Cumhdaitheoir Epi Wafer Cumhdach CVD SiC Eilimint Téimh sciath CVD SiC Iompróir wafer satailíte Aixtron Glacadóir SiC Coating Epi Páirteanna graifíte leathmhóin sciath SiC

CVD Carbide Sileacain (SiC) Graifít Brataithe RTP Iompróir RTA

Tá Iompróir RTA Grafite Brataithe RTP VETEK CVD Silicon Carbide (SiC) deartha le haghaidh próiseála teirmeach tapa (RTP) agus córais annealaithe teirmeach tapa (RTA) a úsáidtear i ndéantúsaíocht leathsheoltóra. Déanta as graifít isostatach ard-íonachta le sciath dlúth CVD SiC, soláthraíonn sé cobhsaíocht theirmeach den scoth, aonfhoirmeacht teochta den scoth, friotaíocht ceimiceach níos fearr, agus giniúint cáithníní ultra-íseal. Déantar é a innealtóireacht chun timthriallta tapa téimh agus fuaraithe arís agus arís eile a sheasamh, agus cinntíonn an t-iompróir tacaíocht iontaofa wafer agus feidhmíocht chobhsaí próisis d'annealú sliseog sileacain agus feidhmchláir leathsheoltóra ardteochta eile.

Cumadóir RTP Brataithe le CVD Silicon Carbide(SiC).

Freastalaíonn an súdóir RTP brataithe CVD SiC ó VeTek Semiconductor ar phróiseáil theirmeach tapa (RTP) agus ar threalamh mear-anála teirmeach (RTA) a úsáidtear ar fud na déantúsaíochta leathsheoltóra. Déantar an tsubstráit a mheaisíniú as graifít iseastatach ardíonachta, a bhfuil ciseal dlúth de chomhdhúile sileacain CVD (SiC) á thaisceadh thairis air. Cruthaíonn an tógáil seo seoltacht teirmeach ard, táimhe láidir ceimiceach, agus cobhsaíocht marthanach tríthoiseach faoi thimthriall ardteochta arís agus arís eile.

Ceann Cith Graifíte Brataithe le CVD Silicon Carbide (SiC).

Má dhéileáil tú riamh le sreabhadh míchothrom gáis nó le héilliú cáithníní i seomra sil-leagan, tá Ceann Cith Grafite Brataithe VETEK CVD SiC deartha chun é sin a réiteach. Tosaíonn sé le graifít isostatach ard-íonachta le haghaidh cobhsaíochta teirmeach agus meaisínithe éasca, ansin faigheann sé sciath dlúth CVD Carbide Sileacain (SiC) a shéalaíonn an dromchla, a sheasann i gcoinne gáis chreimneach (cosúil le HCl nó NF₃), agus a chuireann cosc ar éirí as. Is é an toradh ná pláta dáileacháin gáis a sheachadann sreabhadh aonfhoirmeach ar fud an wafer, a láimhseálann epitaxy ardteochta, agus a mhaireann i bhfad níos faide ná graifít nó grianchloch lom - rud a fhágann gur comhpháirt iontaofa é do CVD, PECVD, MOCVD, epitaxy sileacain, agus próisis epitaxy SiC. Cuirimid patrúin agus méideanna poll saincheaptha ar fáil freisin, toisc nach bhfuil dhá imoibreoir díreach mar an gcéanna.

Fáinní Solad Fócas SiC

Deartha chun an crios rianaithe wafer a thimpeallú, cinntíonn an Fáinne Fócais Soladach SiC dáileadh líneach plasma agus próifílí eitse imeall-go-lár cruinn. Tógann Vetek Semiconductor (Wuyi Tianyao New Material Technology Co., TEO) comhpháirteanna β-SiC préimhe ag baint úsáide as teicneolaíocht Dílsithe Ceimiceach Gaile (CVD). Trí amhábhair a ghalú isteach i maitrís dlúth, gan ceanglóra, cuireann Vetek deireadh leis na micreabhearnaí póiriúla atá coitianta in ábhair níos sine. I gcomparáid le sciath caighdeánach grianchloch nó sileacain, seasann ár gcomhpháirteanna CVD SiC suas i bhfad níos fearr ná gáis chreimneach halaigine, ag sciathadh an wafer i loighic dhomhain fo-7nm agus déantúsaíocht sliseanna cuimhne dlúth. Ag tnúth le d'fhiosrúchán breise.

AMAT 0200-03201 Bioráin Ardaitheoir Wafer CVD SiC

Tosaíonn an Bioráin Ardaithe Wafer AMAT 0200-03201 seo ó VeTek le graifít ard-íonachta, ansin cuirimid sciath dlúth CVD SiC ar a bharr. Tá sé déanta do chórais epitaxy 300mm agus imoibreoirí EPI Ábhair Fheidhmeach. Cén fáth graifít agus SiC? Láimhseálann graifít teas go han-mhaith. Glacann an ciseal SiC gáis chreimneach agus ní chaitheann sí amach go tapa. An dearadh balla tanaí? Is é sin le haghaidh ardú agus suíomh sliseog níos glaine, níos lú cáithníní, agus saolré níos faide faoi theocht ard. Déanaimid páirteanna graifíte brataithe SiC den chineál céanna freisin do chórais ASM, Aixtron, agus LPE. Ag tnúth le d'fhiosrúchán.

Iompróir Wafer le haghaidh VEECO MOCVD (LED Epitaxy)

Déanann Vetek Semiconductor iompróirí wafer do chórais VEECO MOCVD, a tógadh go sonrach le haghaidh obair epitaxy LED cosúil le GaN LEDs, soilse gorm-uaine, agus fás domhain UV LED. Tosaíonn na hiompróirí seo le graifít ard-íonachta agus faigheann siad sciath dlúth chomhdhúile sileacain CVD (SiC). Coinníonn an meascán sin suas go maith faoi na teochtaí arda a fheiceann tú i MOCVD - cobhsaíocht theirmeach maith, friotaíocht creimeadh, agus maireann an sciath.

Cód QR

Maidir Linne

Táirgí

Glaoigh orainn

Fón
+86-18069220752
+86-15988690905
Facs
+86-579-87223657
R-phost
anny@veteksemi.com
Seoladh
Bóthar Wangda, Sráid Ziyang, Contae Wuyi, Cathair Jinhua, Cúige Zhejiang, an tSín

Roghchlár Gréasáin

Cuardach Táirge

Teanga

Roghchlár Scoir