Fáinní Graifít Brataithe Carbóin Pyrolytic (PyC): Iontaofacht a Fheabhsú i Déantúsaíocht Leathsheoltóra Ardteochta

Tá éileamh gan fasach ar na hábhair a úsáidtear taobh istigh de threalamh monaraithe leathsheoltóra mar gheall ar an mbrú le haghaidh sliseog níos mó, dlús cumhachta níos airde de shíor, agus seichimh phróisis níos casta. Caithfidh comhpháirteanna a shuíonn laistigh d'imoibreoirí agus córais teirmeacha teochtaí foircneacha, atmaisféir cheimiceacha ionsaitheach, agus timthriall teirmeach arís agus arís eile a sheasamh - agus ag an am céanna ag cothabháil lamháltais dhian-thoiseacha agus ag scaoileadh beagnach aon ábhar salaithe.

I measc na réitigh ábhar chun cinn atá tagtha chun cinn chun aghaidh a thabhairt ar na dúshláin seo, tá fáinní graifíte brataithe le Carbón Pirolaitiúil (PyC) tar éis dul i bhfeidhm go mór ar a chéile. Tá siad sonraithe go forleathan anois maidir le fás criostail chomhdhúile sileacain, sil-leagan epitaxial, próisis CVD, agus cóireálacha teirmeacha ardteochta eile. Ag Vetek Semiconductor, dhíríomar ár n-iarrachtaí T&F ar theicneolaíochtaí brataithe Carbóin Pyrolytic a chabhraíonn le fabs próisis níos cobhsaí a bhaint amach, saolré codanna níos faide, agus costais oibriúcháin iomlána a ísliú.

Cén fáth nach mbíonn graifít gan chosaint in easnamh i bpróisis an lae inniu?

Tá graifít ina ábhar capall oibre le fada do chórais theirmeacha leathsheoltóra, a bhuíochas dá seoltacht theirmeach maith, a meáchan íseal, agus a chumas teochtaí an-ard a láimhseáil. Ach ní ghearrann graifít lom, leis féin, é a thuilleadh do go leor de na próisis chun cinn sa lá atá inniu ann.

Tóg, mar shampla, fás criostail SiC PVT, epitaxy MOCVD, sil-leagan CVD, céimeanna idirleata agus ocsaídiúcháin, nó annealing ardteochta. I ngach ceann díobh seo, nochtar comhpháirteanna graifíte go rialta do choinníollacha lena n-áirítear teocht os cionn 1500 ° C, hidrigin, amóinia, gáis chlóirín-iompartha, agus timthriallta teirmeacha suas-agus-síos go minic. Le himeacht ama, tosaíonn graifít neamhchóireáilte ag léiriú creimeadh dromchla, caitheamh cáithníní, ionsaí ceimiceacha, aonfhoirmeacht theirmeach díghrádaithe, agus saol seirbhíse níos giorra. Is féidir le cáithníní bídeacha fiú a ghintear le linn próiseála tuirlingt ar sliseog agus toradh a ghortú.

Is é sin go beacht an fáth go bhfuil cosaint dromchla chun cinn tagtha chun bheith ina chuid neamh-shainaitheanta de mhonarú leathsheoltóra nua-aimseartha.

Cad é an sciath Carbóin Pirolaíoch i ndáiríre?

Táirgtear bratú Carbóin Pirealaíoch trí úsáid a bhaint as bealach speisialaithe um Sheilsiú Gaile Ceimiceach (CVD), ina ndéantar ciseal dlúth carbóin ard-ordaithe a thaisceadh ar fhoshraith graifíte ardíonachta. Is é an rud a fhágann PyC seachas bratuithe carbóin traidisiúnta ná a mhicreasstruchtúr dea-ordaithe, a aistríonn go feidhmíocht theirmeach, meicniúil agus ceimiceach eisceachtúil.

Ag Vetek Semiconductor, déantar ár gcuid bratuithe Pirolaíoch Carbóin a innealtóireacht chun roinnt buntáistí praiticiúla a bhaint amach:

• Ard-íonacht - coinnítear neamhíonachtaí iomlána faoi bhun 20ppm, le tightness gáis den scoth, rud a fhágann go bhfuil an sciath oiriúnach do thimpeallachtaí leathsheoltóra ultra-ghlan.
• Cobhsaíocht theirmeach den scoth - fanann an sciath cobhsaí ag teochtaí ultra-ard; go deimhin, méadaíonn a neart meicniúil iarbhír de réir mar a ardaíonn teocht, le buaicfheidhmíocht timpeall 2750°C agus pointe sublimation suas go 3600°C.
• Friotaíocht turrainge teirmeach den scoth - a bhuíochas le comhéifeacht leathnaithe teirmeach íseal, seoltacht ard teirmeach agus modulus leaisteacha íseal, seasann PyC go han-mhaith le hathruithe teochta tapa.
• Cobhsaíocht leathan cheimiceach – cuireann sé in aghaidh aigéid, alcailí, salainn, imoibrithe orgánacha, agus fiú miotail leáite.
• Sárú ultra-íseal – ag timpeall 1800°C, is féidir le PyC leibhéal folúis de thart ar 10⁻⁷mmHg a choinneáil gan scaoileadh suntasach gáis.

Déanann na tréithe seo go léir graifít atá brataithe le PyC mar rogha iontaofa do na feidhmchláir leathsheoltóra is géire.

Cén áit is mó a úsáidtear fáinní brataithe Carbóin Pyrolytic?

1. Fás criostail SiC ag PVT

D’fhéadfaí a mhaíomh go bhfuil Iompar Glais Fhisiciúil ar cheann de na próisis is déine sa domhan leathsheoltóra, le gnáth-theochtaí oibriúcháin sa raon 2300-2500°C. Úsáidtear fáinní graifíte atá brataithe le PyC go coitianta i gcórais réimse teirmeach, so-ghabhdóirí, breogáin, sciatha teasa, agus tacaí struchtúracha. Tuairiscíonn úsáideoirí riosca éillithe níos ísle, réimsí teirmeacha níos comhsheasmhaí, saolré comhpháirteanna níos faide, agus coinníollacha fáis criostail níos cobhsaí. I gcásanna áirithe, tá éifeachtacht fáis 15-20% níos airde feicthe ag monaróirí agus tá táirgeacht sliseog os cionn 90%.

2. Epitaxy leathsheoltóra (SiC agus GaN)

Maidir le fás epitaxial, tá aonfhoirmeacht teochta trasna an sliseog fíor-riachtanach do cháilíocht an scannáin. Cuidíonn páirteanna graifíte atá brataithe le PyC le timpeallacht fáis níos cobhsaí a chruthú trí dháileadh teasa aonfhoirmeach a sheachadadh agus giniúint cáithníní a laghdú. Is é an t-íocaíocht ná comhsheasmhacht próisis níos fearr, dlús lochtanna chomh híseal le 0.05 locht / cm², agus aonfhoirmeacht feabhsaithe wafer go wafer, a aistríonn go léir go díreach isteach i dtáirgeadh táirgeachta níos airde.

3. Idirleathadh agus ocsaídiú ardteochta

Úsáidtear na fáinní brataithe seo go forleathan freisin i bhfoirnéisí idirleata, i bhfoirnéisí ocsaídiúcháin, agus i gcórais annála. Ligeann a fhriotaíocht láidir i gcoinne turraing teirmeach dóibh maireachtáil i dtimthriallta téimh agus fuaraithe arís agus arís eile le díghrádú íosta. Go praiticiúil, is minic gur féidir tréimhsí cothabhála a shíneadh ó thrí mhí go sé mhí, rud a chuireann le hinfhaighteacht trealaimh agus a laghdaíonn aga neamhfhónaimh.

Carbón Pyrolytic i gcoinne teicneolaíochtaí brataithe leathsheoltóra eile

Éilíonn próisis éagsúla réitigh sciath éagsúla, agus is é sin an fáth go dtugann Vetek Semiconductor raon ardteicneolaíochtaí chun timpeallachtaí oibríochta sonracha a mheaitseáil.

Tairgeann sciath CVD SiC íonacht suas le 99.99999%, friotaíocht ceimiceach den scoth, giniúint íseal cáithníní, agus saol seirbhíse fada. Úsáidtear go coitianta é i gcórais epitaxy SiC agus GaN, imoibreoirí MOCVD, agus PECVD.

Soláthraíonn sciath CVD TaC friotaíocht ocsaídiúcháin níos fearr, cobhsaíocht ardteochta den scoth, agus friotaíocht caitheamh den scoth, rud a fhágann gurb é an rogha is fearr le haghaidh fás aonchriostail SiC agus déantúsaíocht leathsheoltóra tríú glúin.

Trí roghanna sciath iolracha a thairiscint, cuirimid ar chumas custaiméirí an t-ábhar is oiriúnaí a roghnú do gach céim ar leith ina sreabhadh próiseas.

Cad a thugann Vetek Semiconductor chun an tábla i dtéarmaí déantúsaíochta?

Ní bhaineann táirgeadh comhpháirteanna leathsheoltóra iontaofa amháin le hábhair ardleibhéil - braitheann sé freisin ar mheaisínithe beachtas agus ar rialú cáilíochta dian. Feidhmíonn Vetek Semiconductor ardán déantúsaíochta comhtháite a chlúdaíonn íonú ábhar, meaisínithe cruinneas CNC, sciath Carbóin Pyrolytic, sciath CVD SiC, sciath CVD TaC, agus iniúchadh cuimsitheach.

Coinníonn ár meaisínithe cruinneas lamháltais tríthoiseach síos go dtí ± 3μm, agus is féidir linn céimseataí casta a láimhseáil. Tá cumas próiseála mórmhéide againn freisin: tá comhpháirteanna suas le 2000mm ar trastomhas agus 2000mm ar airde laistigh dár gcumas. Déantar an táirgeadh ar fad faoi bhainistíocht dian éillithe, tar éis prótacail íonachta grád leathsheoltóra.

Tá ár gcomhpháirteanna deartha le bheith ina n-athsholáthairtí buail isteach do ardáin trealaimh mhóra, lena n-áirítear iad siúd ó Ábhair Fheidhmeach, Lam Research, Veeco, Aixtron, ASM, TEL, agus LPE, ionas gur féidir le custaiméirí uasghrádú a dhéanamh gan modhnuithe suntasacha trealaimh.

Luach fadtéarmach na bratuithe chun cinn

Is tosaíocht ar fud an tionscail é costas iomlán na húinéireachta a laghdú, agus seachadann ardteicneolaíochtaí brataithe torthaí intomhaiste. De ghnáth feiceann úsáideoirí suas le 40% costais inchaite níos ísle, éifeachtacht fáis criostail 15-20% níos airde, eatraimh chothabhála leathnaithe, aga neamhfhónaimh trealaimh laghdaithe, toradh sliseog feabhsaithe, agus saol seirbhíse na gcomhpháirteanna níos faide.

De réir mar a ghluaiseann déantúsaíocht leathsheoltóra i dtreo sliseog SiC níos mó, gléasanna ardchumhachta, agus timpeallachtaí teirmeacha atá ag éirí níos déine, ní bheidh ach méadú ar thábhacht innealtóireacht dromchla. Tá ról lárnach ag baint le fáinní graifíte atá brataithe le Carbóin Pyrolytic, mar aon le teicneolaíochtaí CVD SiC agus CVD TaC, maidir le córais táirgthe níos éifeachtaí, níos iontaofa agus níos inscálaithe a thógáil.

Maidir le Vetek Semiconductor

Déanann Vetek Semiconductor speisialtóireacht ar ardteicneolaíochtaí ábhair agus brataithe do mhonarú leathsheoltóra ardteochta. Cuimsíonn ár bpunann táirgí sciath Carbóin Pyrolytic (PyC), sciath CVD Silicon Carbide (SiC), sciath Carbide Tantalum CVD (TaC), comhpháirteanna grafite ard-íonachta, comhpháirteanna soladach CVD SiC, agus réitigh réimse teirmeach iomlán. Trí shaineolas eolaíocht ábhar, déantúsaíocht bheachtais, agus eolas domhainphróisis a chomhcheangal, soláthraímid réitigh iontaofa do tháirgeadh leathsheoltóra den chéad ghlúin eile.