Táirgí
Fáinne fócais le haghaidh eitseáil
  • Fáinne fócais le haghaidh eitseáilFáinne fócais le haghaidh eitseáil
  • Fáinne fócais le haghaidh eitseáilFáinne fócais le haghaidh eitseáil

Fáinne fócais le haghaidh eitseáil

Is é an fáinne fócais le haghaidh eitseáil an phríomhghné chun cruinneas agus cobhsaíocht an phróisis a chinntiú. Déantar na comhpháirteanna seo a chur le chéile go beacht i seomra folúis chun meaisínithe aonfhoirmeach struchtúr nanascála a bhaint amach ar dhromchla an tsliocht trí rialú beacht a dhéanamh ar dháileadh plasma, ar theocht imeall agus ar aonfhoirmeacht réimse leictreach.

Is comhpháirteanna riachtanacha iad fáinní eitseáil sileacain monocrystalline i bpróisis eitseáil leathsheoltóra trí chobhsaíocht timpeallachta plasma a choinneáil, trealamh agus sliseoga a chosaint, úsáid acmhainní a bharrfheabhsú agus oiriúnú do riachtanais ardphróisis. Bíonn tionchar díreach ag a fheidhmíocht ar thoradh agus ar chostas déantúsaíochta sliseanna.


Is iad an fáinne fócais eitseáilte, an leictreoid agus an srl Déantar na comhpháirteanna seo a chur le chéile go beacht i seomra folúis an CVD, an trealamh eitseáil agus scannán agus socraíonn siad go díreach cruinneas agus toradh an eitseáil ó imeall go lár an sliseog.


Mar fhreagra ar an éileamh déine ar airíonna ábhartha i bpróisis mhonaraithe ardleibhéil, déanann Veteksemi nuálaíocht trí sileacain monocrystalline ard-íonachta a úsáid le friotachas 10-20Ω · cm chun fáinní dírithe a mhonarú agus tacú le tomhaltáin. Trí leas iomlán a bhaint as an eolaíocht ábhartha, dearadh leictreach agus teirmidinimic, is féidir le Veteksemi fáinní dírithe a mhonarú agus tacú le tomhaltáin. Sáraíonn sé go cuimsitheach réitigh thraidisiúnta Grianchloch chun feabhsuithe cinn a bhaint amach i fad saoil, cruinneas agus éifeachtúlacht costais.


Focus ring for etching diagram


Croí -chomparáid ábhair agus optamú friotachais

Silicon monocrystalline vs. Grianchloch


Tionscadal
Silicon monocrystalline Fáinne ag díriú (10-20 ω · cm)
Fáinne dírithe Grianchloch
Friotaíocht in aghaidh creimthe plasma
Saol 5000-8000 sliseog (próiseas bunaithe ar fhluairín/clóirín)
Réise saoil 1500-2000 sliseog
Seoltacht theirmeach
149 w/m · k (diomailt teasa thapa, ΔT luaineacht ± 2 ℃)
1.4W /M · K (ΔT luaineacht ± 10 ℃)
Comhéifeacht leathnú teirmeach
2.6 × 10⁻⁶/k (meaitseáil sliseog, dífhoirmiúchán nialas)
0.55 × 10⁻⁶/k (díláithriú éasca)
Caillteanas tréleictreach
tanΔ <0.001 (Rialú cruinn allamuigh ar réimse leictreach)
tanΔ ~ 0.0001 (saobhadh réimse leictreach)
Garbh dromchla
RA <0.1μm (caighdeán glaineachta aicme 10)
RA <0.5μm (Riosca Ard -Cháithníní)


Croí -Advantag Táirgee


1. Cruinneas Próisis Leibhéal Adamhach

Cuireann an fhriotaíocht optamú + snasú ultra-réamh-bheachtais (RA <0.1μm) deireadh le micrea-urscaoileadh agus éilliú na gcáithníní chun caighdeáin leath F47 a chomhlíonadh.

Tá an caillteanas tréleictreach (TANΔ <0.001) comhoiriúnaithe go mór leis an timpeallacht tréleictreach sliseog, ag seachaint saobhadh réimse leictreach imeall agus ag tacú le 3D NAND 89.5 ° ± 0.3 ° Eitseáil poll domhain ingearach.


2. Comhoiriúnacht an Chórais Chliste

Comhtháite le modúl rialaithe teochta imeall srl, déantar an sreabhadh aeir fuaraithe a choigeartú go dinimiciúil le teirmeachúpla agus algartam AI chun sruth teirmeach an tseomra a chúiteamh.

Tacú le líonra meaitseála saincheaptha RF, atá oiriúnach do mheaisíní príomhshrutha mar Amat Centura, Lam Research Kiyo agus ICP/CCP Plasma Plasma.


3.

Tá saol sileacain monocrystalline 275% níos faide ná saol Grianchloch, tá an timthriall cothabhála níos mó ná 3,000 uair an chloig, agus laghdaítear an costas cuimsitheach úinéireachta (TCO) 30%.

Seirbhís saincheaptha grádán an fhriotaíochta (5-100Ω · cm), a mheaitseálann go beacht an fhuinneog phróisis do chustaiméirí (mar shampla eitseáil ábhair bhearna bhanda Gan/sic leathan).


Éifeacht na friotachais


Tionscadal
Silicon monocrystalline Fáinne ag díriú (10-20 ω · cm)
Silicon monocrystalline ard -fhriotaíochta (> 50 ω · cm)
Fáinne dírithe Grianchloch
Íona
> 99.9999%
> 99.9999%
> 99.99%
Saol creimthe (comhaireamh sliseog)
5000-8000
3000-5000
1500-2000
Cobhsaíocht turraing teirmeach
ΔT> 500 ℃/s
ΔT> 300 ℃/s
ΔT <200 ℃/s
Dlús reatha sceite
<1 μA/cm²
/ /
Méadaítear an toradh sliseog go
+1.2%~ 1.8%
+0.3%~ 0.7%
Bunluach

Téarmaí Tráchtála Táirge


Cainníocht íos -ordaithe
1 tacar
Praghas a fháil amach
Déan teagmháil le haghaidh luachana saincheaptha
Sonraí pacáistithe
Pacáiste onnmhairithe caighdeánach
Am seachadta
Am seachadta: 30-35 lá tar éis deimhniú ordaithe
Téarmaí Íocaíochta
T/t
Cumas an tSoláthair
600 tacar/mí


Focus ring for etching working diagram

Hot Tags: Fáinne fócais le haghaidh eitseáil
Seol Fiosrúchán
Eolas teagmhála
For inquiries about Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite or price list, please leave your email to us and we will be in touch within 24 hours.
X
Úsáidimid fianáin chun eispéireas brabhsála níos fearr a thairiscint duit, chun anailís a dhéanamh ar thrácht an tsuímh agus chun inneachar a phearsantú. Trí úsáid a bhaint as an suíomh seo, aontaíonn tú lenár n-úsáid a bhaint as fianáin.Beartas Príobháideachta