Táirgí
Fáinne fócais le haghaidh eitseáil
  • Fáinne fócais le haghaidh eitseáilFáinne fócais le haghaidh eitseáil
  • Fáinne fócais le haghaidh eitseáilFáinne fócais le haghaidh eitseáil

Fáinne fócais le haghaidh eitseáil

Is iad na fáinní fócais le haghaidh eitseáil an phríomhghné chun cruinneas agus cobhsaíocht an phróisis a chinntiú. Déantar na comhpháirteanna seo a chur le chéile go beacht i seomra folúis chun meaisínithe aonfhoirmeach struchtúr nanascála a bhaint amach ar dhromchla an tsliocht trí rialú beacht a dhéanamh ar dháileadh plasma, ar theocht imeall agus ar aonfhoirmeacht réimse leictreach.

Is comhpháirteanna riachtanacha iad fáinní eitseáil sileacain monocrystalline i bpróisis eitseáil leathsheoltóra trí chobhsaíocht timpeallachta plasma a choinneáil, trealamh agus sliseoga a chosaint, úsáid acmhainní a bharrfheabhsú agus oiriúnú do riachtanais ardphróisis. Bíonn tionchar díreach ag a fheidhmíocht ar thoradh agus ar chostas déantúsaíochta sliseanna.


Is iad an fáinne fócais eitseáilte, an leictreoid agus an srl Déantar na comhpháirteanna seo a chur le chéile go beacht i seomra folúis an CVD, an trealamh eitseáil agus scannán agus socraíonn siad go díreach cruinneas agus toradh an eitseáil ó imeall go lár an sliseog.


Mar fhreagra ar an éileamh déine ar airíonna ábhartha i bpróisis mhonaraithe ardleibhéil, déanann Veteksemi nuálaíocht trí sileacain monocrystalline ard-íonachta a úsáid le friotachas 10-20Ω · cm chun fáinní dírithe a mhonarú agus tacú le tomhaltáin. Trí leas iomlán a bhaint as an eolaíocht ábhartha, dearadh leictreach agus teirmidinimic, is féidir le Veteksemi fáinní dírithe a mhonarú agus tacú le tomhaltáin. Sáraíonn sé go cuimsitheach réitigh thraidisiúnta Grianchloch chun feabhsuithe cinn a bhaint amach i fad saoil, cruinneas agus éifeachtúlacht costais.


Focus ring for etching diagram


Croí -chomparáid ábhair agus optamú friotachais

Silicon monocrystalline vs. Grianchloch


Tionscadal
Silicon monocrystalline Fáinne ag díriú (10-20 ω · cm)
Fáinne dírithe Grianchloch
Friotaíocht in aghaidh creimthe plasma
Saol 5000-8000 sliseog (próiseas bunaithe ar fhluairín/clóirín)
Réise saoil 1500-2000 sliseog
Seoltacht theirmeach
149 w/m · k (diomailt teasa thapa, ΔT luaineacht ± 2 ℃)
1.4W /M · K (ΔT luaineacht ± 10 ℃)
Comhéifeacht leathnú teirmeach
2.6 × 10⁻⁶/k (meaitseáil sliseog, dífhoirmiúchán nialas)
0.55 × 10⁻⁶/k (díláithriú éasca)
Caillteanas tréleictreach
tanΔ <0.001 (Rialú cruinn allamuigh leictreach)
tanΔ ~ 0.0001 (saobhadh réimse leictreach)
Garbh dromchla
RA <0.1μm (caighdeán glaineachta aicme 10)
RA <0.5μm (Riosca Ard -Cháithníní)


Croí -Advantag Táirgee


1. Cruinneas Próisis Leibhéal Adamhach

Cuireann an fhriotaíocht optamú + snasú ultra-réamh-bheachtais (RA <0.1μm) deireadh le micrea-urscaoileadh agus éilliú na gcáithníní chun caighdeáin leath F47 a chomhlíonadh.

Tá an caillteanas tréleictreach (TANΔ <0.001) comhoiriúnaithe go mór leis an timpeallacht tréleictreach sliseog, ag seachaint saobhadh réimse leictreach imeall agus ag tacú le 3D NAND 89.5 ° ± 0.3 ° Eitseáil poll domhain ingearach.


2. Comhoiriúnacht an Chórais Chliste

Comhtháite le modúl rialaithe teochta imeall srl, déantar an sreabhadh aeir fuaraithe a choigeartú go dinimiciúil le teirmeachúpla agus algartam AI chun sruth teirmeach an tseomra a chúiteamh.

Tacú le líonra meaitseála saincheaptha RF, atá oiriúnach do mheaisíní príomhshrutha mar Amat Centura, Lam Research Kiyo agus ICP/CCP Plasma Plasma.


3.

Tá saol sileacain monocrystalline 275% níos faide ná saol Grianchloch, tá an timthriall cothabhála níos mó ná 3,000 uair an chloig, agus laghdaítear an costas úinéireachta cuimsitheach (TCO) faoi 30%.

Seirbhís saincheaptha grádán an fhriotaíochta (5-100Ω · cm), a mheaitseálann go beacht an fhuinneog phróisis do chustaiméirí (mar shampla eitseáil ábhair bhearna bhanda Gan/sic leathan).


Éifeacht na friotachais


Tionscadal
Silicon monocrystalline Fáinne ag díriú (10-20 ω · cm)
Silicon monocrystalline ard -fhriotaíochta (> 50 ω · cm)
Fáinne dírithe Grianchloch
Íona
> 99.9999%
> 99.9999%
> 99.99%
Saol creimthe (comhaireamh sliseog)
5000-8000
3000-5000
1500-2000
Cobhsaíocht turraing teirmeach
ΔT> 500 ℃/s
ΔT> 300 ℃/s
ΔT <200 ℃/s
Dlús reatha sceite
<1 μA/cm²
/ /
Méadaítear an toradh sliseog go
+1.2%~ 1.8%
+0.3%~ 0.7%
Bunluach

Téarmaí Tráchtála Táirge


Cainníocht íos -ordaithe
1 tacar
Praghas a fháil amach
Déan teagmháil le haghaidh luachana saincheaptha
Sonraí pacáistithe
Pacáiste onnmhairithe caighdeánach
Am seachadta
Am seachadta: 30-35 lá tar éis deimhniú ordaithe
Téarmaí Íocaíochta
T/t
Cumas an tSoláthair
600 tacar/mí


Focus ring for etching working diagram

Hot Tags: Fáinne fócais le haghaidh eitseáil
Seol Fiosrúchán
Eolas teagmhála
Le haghaidh fiosrúcháin maidir le Cumhdach Silicon Carbide, Cumhdach Carbide Tantalum, Graifít Speisialta nó liosta praghsanna, fág do r-phost chugainn agus beimid i dteagmháil linn laistigh de 24 uair an chloig.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept