Iompróir sliseog satailíte aixtron

Is cuid lárnach de threalamh Aixtron MOCVD é iompróir wafer satailíte Aixtron, a úsáidtear go speisialta chun sliseoga a iompar le haghaidh fás eipiciúil. Tá sé an -oiriúnach donfás eipiciúilPróiseas feistí cairbíde Gan agus sileacain (SIC). Ní hamháin go gcinntíonn a dhearadh uathúil "satailíte" aonfhoirmeacht an tsreafa gáis, ach feabhsaíonn sé freisin aonfhoirmeacht sil -leagain scannáin ar dhromchla an tsleasa.

Aixtron'siompróirí sliseoga dhéantar de ghnáth asSilicon Carbide (SIC)nó graifít atá brataithe le CVD. Ina measc, tá seoltacht teirmeach den scoth ag cairbíd sileacain (SIC), friotaíocht ardteochta agus comhéifeacht leathnaithe teirmeach íseal. Is éard atá i ngraifít brataithe CVD graifít atá brataithe le scannán cairbíde sileacain trí phróiseas sil -leagain cheimiceach (CVD), ar féidir leis a fhriotaíocht creimthe agus a neart meicniúil a fheabhsú. Is féidir le hábhair graifíte SIC agus brataithe teochtaí a sheasamh suas le 1,400 ° C - 1,600 ° C agus tá cobhsaíocht theirmeach den scoth acu ag teochtaí arda, rud atá ríthábhachtach don phróiseas fáis eipiciúil.

Úsáidtear iompróir sliseog satailíte Aixtron go príomha chun sliseoga a iompar agus a rothlú saPróiseas mocvda chinntiú go mbeidh sreabhadh gáis aonfhoirmeach agus sil -leagan aonfhoirmeach le linn fás eipiciúil.Seo a leanas na feidhmeanna sonracha:

● Rothlú sliseog agus sil -leagan aonfhoirmeach: Trí rothlú an iompróra satailíte Aixtron, is féidir leis an sliseog gluaiseacht sheasmhach a choinneáil le linn fás eipiciúil, ag ligean don ghás sreabhadh go cothrom thar dhromchla an tsliocht chun sil -leagan aonfhoirmeach ábhar a chinntiú.

● Iomaíocht ardteochta agus cobhsaíocht. Cinntíonn an ghné seo nach ndéanfaidh an sliseog dífhoirmiú le linn fás eipiciúil ardteochta, agus cosc ​​a chur ar leathnú teirmeach an iompróra féin dul i bhfeidhm ar an bpróiseas eipiciúil.

● Giniúint na gcáithníní laghdaithe: Tá dromchlaí réidh ag ábhair iompróra ardcháilíochta (mar SIC) a laghdaíonn giniúint na gcáithníní le linn sil-leagan gaile, rud a laghdaíonn an fhéidearthacht éillithe, rud atá ríthábhachtach chun ábhair leathsheoltóra ard-ardcháilíochta a tháirgeadh.

Tá iompróir wafer satailíte AIXTRON Veteksemimon ar fáil i méideanna 100mm, 150mm, 200mm agus fiú níos mó, agus is féidir leis seirbhísí táirge saincheaptha a sholáthar bunaithe ar do riachtanais trealaimh agus próisis. Tá súil againn ó chroí a bheith mar do chomhpháirtí fadtéarmach sa tSín.

Sonraí SEM de Struchtúr Crystal Scannán CVD SIC：

Aixtron Satailíte Siopaí Táirgeadh Iompróra: