Taighde ar theicneolaíocht iompróra sliseog sic

Iompróirí sliseog sic, mar phríomh-thomhaltóirí sa slabhra tionscail leathsheoltóra tríú glúin, bíonn tionchar díreach ag a saintréithe teicniúla ar an toradh a bhaineann le fás eipiciúil agus déantúsaíocht feiste. Agus an t-éileamh mór ar ghléasanna ardvoltais agus ardteochta i dtionscail ar nós stáisiúin bhunaidh 5G agus feithiclí fuinnimh nua, tá deiseanna forbartha suntasacha ag taighde agus cur i bhfeidhm iompróirí sliseog SIC anois.

I réimse na déantúsaíochta leathsheoltóra, déanann iompróirí sliseog cairbíde sileacain go príomha an fheidhm thábhachtach a bhaineann le sliseoga a iompar agus a tharchur i dtrealamh eipiciúil. I gcomparáid le hiompróirí Grianchloch traidisiúnta, taispeánann iompróirí SIC trí bhuntáiste: ar an gcéad dul síos, tá a gcomhéifeacht leathnaithe teirmeach (4.0 × 10^-6/℃) comhoiriúnach go mór le sliseoga SIC (4.2 × 10^-6/℃), ag laghdú strus teirmeach i bpróisis ardtéarmach; Ar an dara dul síos, is féidir le íonacht na n-iompróirí SIC ard-íonachta a ullmhaíonn an modh sil-leagan gaile ceimiceach (CVD) 99.9995%a bhaint amach, ag seachaint an fhadhb choiteann éillithe ian sóidiam d'iompróirí Grianchloch. Ina theannta sin, cuireann an leáphointe d'ábhar SIC ag 2830 ℃ ar a chumas dul in oiriúint don timpeallacht oibre fhadtéarmach os cionn 1600 ℃ i dtrealamh MOCVD.

Faoi láthair, glacann na táirgí príomhshrutha sonraíocht 6-orlach, le tiús á rialú laistigh den raon 20-30mm agus ceanglas gharbha dromchla níos lú ná 0.5μm. Chun an aonfhoirmeacht eipiciúil a fheabhsú, tógann monaróirí ceannródaíocha struchtúir thoipeolaíocha ar leith ar dhromchla an iompróra trí mheaisíniú CNC. Mar shampla, is féidir leis an dearadh groove atá múnlaithe ag Honeycomb a d'fhorbair Semiceri rialú a dhéanamh ar luaineacht tiús an chiseal eipiciúil laistigh de ± 3%. Maidir le teicneolaíocht sciath, is féidir leis an sciath ilchodach TAC/TASI2 saol seirbhíse an iompróra a shíneadh go dtí os cionn 800 uair, atá trí huaire níos faide ná an táirge neamhbhrataithe.

Ag leibhéal an iarratais thionsclaíoch, tá iompróirí SIC tar éis dul i ngleic de réir a chéile leis an bpróiseas monaraíochta iomlán de ghléasanna cumhachta cairbíde sileacain. I dtáirgeadh dé -óidí SBD, is féidir le húsáid iompróirí SIC an dlús fabht eipiciúil a laghdú go níos lú ná 0.5cm ². Maidir le feistí MOSFET, cuidíonn a n -aonfhoirmeacht teochta den scoth le soghluaisteacht an chainéil a mhéadú 15% go 20%. De réir staitisticí an tionscail, sháraigh méid an mhargaidh dhomhanda iompróra SIC 230 milliún dollar SAM in 2024, agus coinníodh ráta fáis bliantúil cumaisc ag thart ar 28%.

Mar sin féin, tá scrogaill theicniúla fós ann. Is dúshlán fós é rialú cogaíochta iompróirí mórmhéide-ní mór caoinfhulaingt na n-iompróirí 8 n-orlach a chomhbhrú go laistigh de 50μm. Faoi láthair, tá Semicera ar cheann de na cúpla cuideachtaí baile ar féidir leo a rialú. Tá olltáirgeadh iompróirí 6 orlach bainte amach ag fiontair intíre ar nós Tianke Heda. Tá Semicera ag cabhrú faoi láthair le Tianke Heda chun iompróirí SIC a shaincheapadh dóibh. Faoi láthair, chuaigh sé i dteagmháil le fathaigh idirnáisiúnta maidir le próisis sciath agus rialú lochtanna. Sa todhchaí, le haibíocht na teicneolaíochta heitrea-ocsaíde, beidh iompróirí tiomnaithe d'iarratais Gan-on-SiC ina dtreo nua taighde agus forbartha.