Conas Tráidire Graifít MOCVD a roghnú?

Ceist 1: Cad é Tráidire Graifít MOCVD agus cén fáth a bhfuil sé chomh tábhachtach sin don phróiseas eipiciúil?

Is éard atá i bpláta graifíte gaile ceimiceach miotail-orgánach (MOCVD), ar a dtugtar tráidire graifíte MOCVD nó soirneoir graifíte MOCVD freisin, ina chomhpháirt ard-íonachta a úsáidtear chun sliseoga leathsheoltóra a shocrú le linn fás eipiciúil. Sa phróiseas eipiciúil, feidhmíonn sé mar ghné téimh agus cinntíonn sé dáileadh aonfhoirmeach teochta, a bhfuil ról neamh -inathraithe aige maidir le scannáin tanaí a thaisceadh in iarratais ar nós feistí leathsheoltóra ardleibhéil, déantúsaíocht LED, agus cealla gréine.

Is féidir le tráidire graifíte teochtaí foircneacha a sheasamh (suas le 1,800 ° C) agus timpeallachtaí gáis creimneach, rud a chiallaíonn gur ábhar fíor-riachtanach é do chórais MOCVD ardteochta, frithsheasmhach in aghaidh creimthe. Bíonn tionchar díreach ag a fheidhmíocht ar chomhsheasmhacht an phróisis agus ar an toradh sliseog.

Ceist 2: Cad iad na hairíonna ábhartha ar chóir iad a chur in ord tosaíochta agus tráidirí graifíte MOCVD á roghnú?

Éilíonn roghnú an phláta graifíte cheart a airíonna fisiceacha agus ceimiceacha a mheas:

● Íonacht ard (os cionn 99.999%):

De ghnáth, is féidir le heisíontais amhail miotail nó fuinseog an próiseas eipiciúil a thruailliú. Cinntíonn roghnú soláthraí so-ghabhála graifíte ard-íonachta ar nós Veteksemicon lochtanna íosta sa epilayer leathsheoltóra.

●  Cobhsaíocht theirmeach den scoth:

Le linn na próiseála iarbhír, ní mór do phlátaí graifít a bheith in ann suaití teirmeacha áirithe a sheasamh agus sláine struchtúrach a choinneáil faoi thimthriallta teochta tapa. Cinntíonn graifít ard-dlúis Veteksemimon dáileadh teasa aonfhoirmeach, rud atá ríthábhachtach d'fhás scannán aonfhoirmeach.

●  Friotaíocht creimthe den scoth:

I dtimpeallacht phróisis MOCVD, is iondúil go mbíonn graifít nochta do gháis chreimneach (m.sh., amóinia, hidrigin). Déanann plátaí graifíte MOCVD atá frithsheasmhach in aghaidh teocht ard-teocht le struchtúr mín-ghraine creimeadh agus leathnú a dhéanamh ar shaol na seirbhíse.

●  Neart meicniúil ardfheidhmíochta:

Sa phróiseas eipiciúil, ní mór do thráidire graifíte MOCVD tacú le sliseoga iomadúla gan warping. De réir staitisticí Veteksemimon i bpróiseáil iarbhír, ní mór go mbeadh neart lúbthachta an phláta graifíte ≥50 MPa chun cosc ​​a chur ar scoilteadh an tráidire.

C3: Cén tionchar a bhíonn ag an gcás iarratais ar roghnú tráidirí graifíte MOCVD?

Teastaíonn dearaí pláta graifíte saincheaptha ó phróisis éagsúla MOCVD:

●  Fás Epitaxial ar LED/fótóinic:

Baintear úsáid as plátaí graifíte MOCVD ultra-réidh sa phróiseas epitaxy chun giniúint na gcáithníní a laghdú agus chun sraitheanna saor ó fhabht a chinntiú.

Mar shampla, tá plátaí graifíte Veteksemimon MOCVD (nó plátaí graifíte Veteksemimon do MOCVD) deartha le haghaidh Epitaxy Gan agus GaAs agus soláthraíonn siad bainistíocht teirmeach optamaithe.

●  Déantúsaíocht Leathsheoltóra Cumhachta:

In éineacht le staitisticí turgnamhacha Semikera Semiconductor, is iondúil gur fearr le plátaí le friotaíocht ocsaídiúcháin feabhsaithe do phróisis cairbíde sileacain (SIC) nó gallium nitride (GAN).

●  Táirgeadh ard-tréchuir:

Teastaíonn próiseáil bheacht ó thráidire il-werfer chun ailíniú le dearadh an imoibreora. Is féidir le tráidirí graifíte mocvd saincheaptha ó sholáthraí iontaofa Semikera Semiconductor a mheaitseáil le cumraíochtaí sonracha uirlisí.

C4: Cad iad na príomhchúinsí chun soláthróir pláta graifíte iontaofa MOCVD a aimsiú?

●  Deimhniú agus Tástáil:

Deimhnigh go soláthraíonn an soláthróir deimhniú ábhair (m.sh. Tuarascáil íonachta, tástáil dlúis) agus soláthraíonn sé cóireáil dromchla iarphróiseála (m.sh. sciath chun an póirseacht a laghdú). Mar phríomh -sciathán leathsheoltóra Síneach agus mar mhonaróir trealaimh próisis eipiciúil, tá Plátaí Graifít Veteksemimon MOCVD deimhnithe ag ranna rialtais le haghaidh turgnaimh theorainneacha, agus tá torthaí tástála íonachta agus dlúis a chuid táirgí i bhfad chun tosaigh ar a chomhghleacaithe.

●  Cumais saincheaptha:

Ba chóir do sholáthraithe graifíte ard-ard-íonachta an méid, an patrún poll agus an sciath a shaincheapadh chun do riachtanais imoibreora a chomhlíonadh. Tá cumais seirbhíse saincheaptha táirgí agus teicneolaíochtaí gaolmhara ag Semiconductor Veteksemimon agus Semikera, agus tá siad in ann do chuid riachtanas saincheaptha éagsúla a chomhlíonadh.

●  Saolré agus éifeachtúlacht costais:

Cé gur féidir le graifít níos saoire costais roimh ré a shábháil, mar thoradh ar phlátaí graifíte níos ísle, tiocfaidh athsholáthar go minic agus neamhfhónaimh, ag cur isteach go mór ar ghnáth -éifeachtúlacht táirgthe. Trí phlátaí graifíte VeteksemiCon agus táirgí ardchaighdeáin eile a chur ar chumas do ghnó táirgeadh iontaofa fadtéarmach a bhaint amach.

C5: Conas Saol Seirbhíse Tráidire Graifít Mocvd a leathnú?

●  Cosc a chur ar ocsaídiú: Úsáid purge gáis támh le linn timthriallta téimh/fuaraithe.

●  Glan go rialta: Úsáid modhanna neamh-scríofa (mar shampla eitseáil tirim) chun iarmhair taiscthe a bhaint.

●  Seachain strus meicniúil: An tráidire a láimhseáil go cúramach le linn luchtú/díluchtú sliseog.

An chomhairle is fearr atá ag Veteksemicon duit:

I gcás plátaí graifíte MOCVD atá frithsheasmhach in aghaidh creimeadh ardteochta, tabhair tosaíocht do sholáthraithe a bhfuil saineolas acu in ábhair leathsheoltóra-ghrád.

Samplaí tástála faoi choinníollacha próisis iarbhír chun feidhmíocht a fhíorú.

Déan iniúchadh ar chótaí ardleibhéil (ar nós sciath SIC, sciath TAC) chun marthanacht agus iontaofacht a fheabhsú i dtimpeallachtaí foircneacha.

Le haghaidh tuilleadh eolais faoi phláta graifít mocvd brataithe sic, cliceáil anseo.

Le haghaidh tuilleadh eolais faoi phláta graifíte MOCVD Cumhdach TAC, cliceáil anseo.