Cumhdach Carbide Sileacain

Is tuaslagán ceannródaíoch é soirneoir brataithe CVD SIC VeteksemiMon do phróisis epitaxial leathsheoltóra, a thairgeann íonacht ard-ard (≤100ppb, ICP-E10 deimhnithe) agus cobhsaíocht theirmeach/cheimiceach eisceachtúil le haghaidh fás neamh-sheasmhach éillithe de GAN, SIC, agus silicon-layers. Cinntíonn sé le teicneolaíocht beachta CVD, tacaíonn sé le sliseoga 6 ”/8”/12 ”, cinntíonn sé an strus teirmeach íosta, agus seasann sé le teochtaí foircneacha suas go 1600 ° C.

Is croí -chomhpháirt é ár so -ghabhálaí optional brataithe SIC sa phróiseas ardteochta de dhéantúsaíocht leathsheoltóra. Comhcheanglaíonn a dhearadh foshraith graifíte le sciath cairbíde sileacain chun barrfheabhsú cuimsitheach a bhaint amach ar fheidhmíocht bhainistíochta teirmeach, cobhsaíocht cheimiceach agus neart meicniúil.

Is comhpháirt rónta ardfheidhmíochta é ár bhfáinne rónta brataithe SIC le haghaidh epitaxy bunaithe ar chomhábhair graifíte nó carbóin charbóin atá brataithe le cairbíd sileacain ard-íonachta (SIC) ag sil-leagan gaile ceimiceach (CVD), a chomhcheanglaíonn cobhsaíocht theirmeach graifít le trealamh comhshaoil ​​an-chomhshaoil ​​(MOC, MOC agus Dearadh le haghaidh seimiceán.

VETEKSEMICON AONTAITHE AONTAITHE Tá SUPTORTOR GRAPHITE EPI deartha le haghaidh cairbíd sileacain ardfheidhmíochta (SIC), gallium nítríd (GAN) agus próiseas eipiciúil leathsheoltóra tríú glúin eile, agus is é an croí-chomhpháirt den bhileog eipidíteach ard-phromhaidh i mais-tháirgeadh.

Comhpháirt thábhachtach a úsáidtear sa phróiseas eitseáil monaraithe sliseog is ea an fáinne fócais eitseáil plasma, arb é a fheidhm ná an sliseog a choinneáil i bhfeidhm chun dlús plasma a chothabháil agus cosc ​​a chur ar éilliú na taobhanna sliseog.Vetek Soláthraíonn leathsheoltóra plasma fáinne fócais le hábhair mhaolúcháin cosúil le monocrystalline, silicon carbide, carbide carbide, carbide cerramic.

Tá Vetek Semiconductor ina phríomh-mhonaróir agus ina sholáthraí de r-chucks brataithe SIC sa tSín. Tá SIC brataithe r-chuck deartha go speisialta le haghaidh próiseas eitseála Wafer Gan, le feidhmíocht den scoth agus saol fada seirbhíse, chun tacaíocht uileghabhálach a sholáthar do do dhéantúsaíocht leathsheoltóra. Cuireann ár gcumas próiseála láidir ar ár gcumas an so -ghabhálaí ceirmeach SIC a theastaíonn uait a sholáthar duit. Ag súil go mór le d’fhiosrú.