Seomra imoibreora epitaxial brataithe SIC

Eolas ginearálta táirge

Téarmaí gnó táirgí

Iarratas: Tá seomra imoibreora epitaxial brataithe Veteksemicon SiC deartha le haghaidh próisis epitaxial leathsheoltóra éilitheach. Trí thimpeallacht ardteochta thar a bheith íon agus cobhsaí a sholáthar, feabhsaíonn sé go mór cáilíocht na sliseog epitaxial SiC agus GaN, rud a fhágann go bhfuil sé ina bhunchloch le haghaidh sliseanna cumhachta ardfheidhmíochta agus feistí RF a mhonarú.

Seirbhísí is féidir a chur ar fáil: anailís ar chás iarratais do chustaiméirí, ábhair mheaitseála, réiteach fadhbanna teicniúla.

Próifíl cuideachta: Tá 2 shaotharlann ag Veteksemicon, foireann saineolaithe le 20 bliain de thaithí ábhartha, le T&F agus cumais táirgthe, tástála agus fíoraithe.

Buntáistí croí seomra imoibreora epitaxial brataithe Veteksemicon SiC

1. Friotaíocht creimeadh Super

Úsáideann seomra imoibrithe Veteksemicon próiseas CVD dílseánaigh chun sciath chomhdhúile sileacain ard-dlúth ard-íonachta a thaisceadh ar dhromchla an tsubstráit. Cuireann an sciath seo go héifeachtach i gcoinne creimeadh gás creimneach ardteochta mar HCl agus H2, a bhíonn coitianta i bpróisis epitaxial SiC, ag réiteach go bunúsach na fadhbanna a bhaineann le porosity dromchla agus scaoileadh cáithníní a d'fhéadfadh tarlú i gcomhpháirteanna traidisiúnta graifíte tar éis úsáid fadtéarmach. Cinntíonn an tréith seo go bhfanann balla istigh an tseomra imoibrithe réidh fiú tar éis na céadta uair an chloig d'oibríocht leanúnach, ag laghdú go suntasach na lochtanna wafer de bharr éillithe an tseomra.

2. Cobhsaíocht teocht ard

A bhuí le hairíonna teirmeacha den scoth chomhdhúile sileacain, is féidir leis an seomra imoibrithe seo teochtaí oibriúcháin leanúnacha suas le 1600 ° C a sheasamh go héasca. Cinntíonn a chomhéifeacht an-íseal de leathnú teirmeach go n-íoslaghdaíonn na comhpháirteanna carnadh strus teirmeach le linn téamh agus fuarú tapa arís agus arís eile, rud a choscann microcracks nó damáiste struchtúrach de bharr tuirse teirmeach. Soláthraíonn an cobhsaíocht theirmeach gan íoc seo fuinneog próisis ríthábhachtach agus ráthaíocht iontaofachta do phróisis epitaxial, go háirithe SiC homoepitaxial a éilíonn timpeallachtaí ardteochta.

3. Ard-íonacht agus truailliú íseal

Tá a fhios againn go mór an tionchar cinntitheach atá ag cáilíocht ciseal epitaxial ar fheidhmíocht an fheiste deiridh. Dá bhrí sin, saothraíonn Veteksemicon an íonacht sciath is airde is féidir, ag cinntiú go sroicheann sé leibhéal os cionn 99.9995%. Cuireann íonacht ard den sórt sin faoi chois go héifeachtach imirce na n-eisíontais mhiotalacha (cosúil le Fe, Cr, Ni, etc.) isteach san atmaisféar próisis ag teochtaí arda, rud a sheachaint tionchar marfach na neamhíonachtaí seo ar cháilíocht an chriostail ciseal epitaxial. Leagann sé seo bunús láidir ábhartha le haghaidh déantúsaíocht leathsheoltóirí cumhachta ard-iontaofachta agus feistí minicíochta raidió.

4. Dearadh saol fada

I gcomparáid le comhpháirteanna graifít neamhbhrataithe nó traidisiúnta, cuireann seomraí imoibrithe atá cosanta ag bratuithe SiC saol seirbhíse níos faide arís agus arís eile. Tá sé seo go príomha mar gheall ar chosaint chuimsitheach an sciath ar an tsubstráit, rud a chosc teagmháil dhíreach le gáis phróiseas creimneach. Is tairbhí costais suntasacha é an saolré sínte seo – is féidir le custaiméirí aga neamhfhónaimh trealaimh, soláthar páirteanna breise, agus costais saothair chothabhála a bhaineann le hathsholáthar tréimhsiúil comhpháirteanna seomra a laghdú go suntasach, rud a laghdóidh go héifeachtach costais oibriúcháin iomlána an táirgthe.

5. Formhuiniú fíoraithe slabhra éiceolaíochta

Clúdaíonn fíorú slabhra éiceolaíoch seomra imoibreora epitaxial brataithe Veteksemicon SiC amhábhar go dtí táirgeadh, tá deimhniú caighdeánach idirnáisiúnta tar éis a rith, agus tá roinnt teicneolaíochtaí paitinnithe aige chun a iontaofacht agus a inbhuanaitheacht a chinntiú sna réimsí leathsheoltóra agus fuinnimh nua.

Le haghaidh sonraíochtaí teicniúla mionsonraithe, páipéir bhána, nó socruithe tástála samplacha, téigh i dteagmháil lenár bhFoireann Tacaíochta Teicniúil chun iniúchadh a dhéanamh ar conas is féidir le Veteksemicon d'éifeachtúlacht próisis a fheabhsú.