Iompróir Wafer le haghaidh VEECO MOCVD (LED Epitaxy)

Gnéithe Táirge:

1. Bonn grafite ard-íonachta le ciseal dlúth CVD SiC
2. Aonfhoirmeacht theirmeach maith le haghaidh epitaxy LED cobhsaí
3. Seasann suas le NH₃, HCl, agus gáis chreimneach eile a úsáidtear sa phróiseas
4. Shedding cáithníní íseal agus saol seirbhíse fada
5. Is féidir dearaí póca a shaincheapadh le haghaidh méideanna éagsúla wafer agus ardáin imoibreora
6. Oibríonn sé go maith le haghaidh oibríocht fhadtéarmach, ardteochta MOCVD

Feidhmchláir:
Úsáidtear na hiompróirí wafer seo go forleathan i epitaxy leathsheoltóra LED agus cumaisc, lena n-áirítear:

• GaN Epitaxy faoi stiúir
• Epitaxy stiúir gorm-uaine
• Fás UV LED domhain
• epitaxy GaN Si-bhunaithe
• Déantúsaíocht leathsheoltóra cumaisc ghinearálta

Tá réitigh iompróra saincheaptha oiriúnach do ardáin iomadúla MOCVD LED, mar shampla:

• VEECO K465i
• VEECO K700
• VEECO K868
• Aixtron G4/G5
• A7/Unimax

Buntáistí Teicniúla:

1. Cumhdach CVD SiCteicneolaíocht a thugann dlús agus íonacht mhaith duit
2. Athrú tiús sciath a choinnítear laistigh de ±10 μm – cuidíonn sé le feidhmíocht theirmeach fanacht cobhsaí
3. Meaisínithe CNC síos go dtí cruinneas 3 μm le haghaidh dea-oiriúnacht wafer agus cobhsaíocht uainíochta
4. Cloíonn an sciath go maith agus cuireann sé i gcoinne scoilteadh tar éis timthriallta MOCVD ardteochta arís agus arís eile
5. Láimhseálann NH₃, HCl, agus timpeallachtaí epitaxy crua eile gan trioblóid
6. Giniúint cáithníní íseal agus dromchla glan chun tacú le toradh ardEpitaxy faoi stiúir
7. Is féidir cóta méideanna móra nó saincheaptha le haghaidh ardáin imoibreora éagsúla agus leagan amach wafer
8. Taithí fhada legraifít saincheaptha agus páirteanna SiC-brataithele haghaidh LED agus epitaxy leathsheoltóra cumaisc

CCanna:
1. Cad a dhéanann iompróir wafer iMOCVDEpitaxy faoi stiúir?

A: Coinníonn sé agus rothlaíonn sé sliseog taobh istigh den imoibreoir MOCVD, agus cabhraíonn sé leis an teocht a choinneáil seasta le linn fáis epitaxial.

2. Cén fáth a n-úsáidtear iompróirí wafer grafite SiC-brataithe le haghaidh MOCVD?

A: Tá anCumhdach CVD SiCtugann sé friotaíocht creimeadh níos fearr, cobhsaíocht theirmeach, agus marthanacht. Cuidíonn sé freisin le gearradh síos ar éilliú cáithníní san epitaxy ardteochta.

3. An ndéanann Vetek Semiconductor iompróirí wafer saincheaptha?
A: Tá. Is féidir linn iompróirí saincheaptha a dhearadh bunaithe ar d'ardán imoibreora, méid wafer, leagan amach póca, agus riachtanais phróisis eile.