Codanna graifíte halfoon sciath sic

I seomra imoibriúcháin an fhoirnéis fáis epitaxial SIC, is príomh -chomhpháirteanna iad na codanna graifíte leath -leatháin chun dáileadh sreafa gáis, rialú allamuigh teirmeach, agus aonfhoirmeacht atmaisféir imoibriúcháin a bharrfheabhsú. Is iondúil go ndéantar iad as sciath sicgraifít, atá deartha i gcruth leath-ghealach, atá suite i gcodanna uachtaracha agus íochtaracha an graifíte den seomra imoibrithe, timpeall limistéar an tsubstráit.

    •Cuid graifít leathmhóin uachtarach: suiteáilte sa chuid uachtarach den seomra imoibriúcháin, in aice leis an inlet gáis, atá freagrach as an gás imoibrithe a threorú chun sreabhadh i dtreo dhromchla an tsubstráit.

    •Cuid graifít leathmhóin níos ísle: Suite ag bun an tseomra imoibriúcháin, de ghnáth faoi bhun an tsealbhóra fhoshraith, a úsáidtear chun an treo sreafa gáis a rialú agus an dáileadh teirmeach agus an dáileadh gáis a bharrfheabhsú ag bun an tsubstráit.

Le linn anPróiseas epitaxy sic, Cuidíonn an chuid graifíte leath-ghealach uachtair leis an sreabhadh gáis a dháileadh go cothrom ar an tsubstráit, ag cur cosc ​​ar an ngás tionchar a imirt go díreach ar dhromchla an tsubstráit agus ag cruthú róthéamh áitiúil nó suaiteacht aeir. Ligeann an chuid graifíte leath-ghealach níos ísle don ghás sreabhadh go réidh tríd an tsubstráit agus ansin é a urscaoileadh, agus cosc ​​a chur ar shuaiteacht dul i bhfeidhm ar aonfhoirmeacht fáis an chiseal eipiciúil.

I dtéarmaí rialachán allamuigh teirmeach, cabhraíonn codanna graifíte leath -ghraifítí sciath sic chun an teas a dháileadh go cothrom sa seomra imoibriúcháin trí chruth agus suíomh. Is féidir leis an gcuid graifíte leath -leath -leath a léiriú go héifeachtach teas radanta an téitheoir chun a chinntiú go bhfuil an teocht os cionn an tsubstráit cobhsaí. Tá ról comhchosúil ag an gcuid graifíte leath-ghealach níos ísle freisin, ag cuidiú leis an teas a dháileadh go cothrom faoi bhun an tsubstráit trí sheoladh teasa chun difríochtaí iomarcacha teochta a chosc.

Fágann an sciath SIC go bhfuil na comhpháirteanna frithsheasmhach in aghaidh teochtaí arda agus seolta go teirmeach, agus mar sin tá saol fada seirbhíse ag codanna leathsheoltóra Vetek Semiconductor. Deartha go cúramach, is féidir ár gcodanna graifíte leath-ghealach a chomhtháthú go réidh le go leor imoibreoirí eipideacha, ag cuidiú le héifeachtúlacht agus iontaofacht fhoriomlán an phróisis mhonaraithe leathsheoltóra a fheabhsú. Cibé rud a theastaíonn ó do sciath sic sic leath -ghraifítí, déan teagmháil le do thoil le Vetek Semiconductor.

UiscíSIC Siopa Siopaí Páirteanna Graifítí Halfmoon: