Clúdach satailíte brataithe SIC do MOCVD

Mar phríomh -mhonaróir clúdaigh satailíte MOCVD atá brataithe le SIC sa tSín, tá VetekSemCon tiomanta do réitigh próisis ardfheidhmíochta a sholáthar don tionscal leathsheoltóra. Tá ár gclúdaigh brataithe SIC MOCVD deartha go cúramach agus úsáidtear iad go hiondúil i gcóras so -ghabhálaithe satailíte (SSS) chun tacú le sliseoga nó samplaí chun an timpeallacht fáis a bharrfheabhsú agus chun an caighdeán eipiciúil a fheabhsú.

Príomhábhair agus struchtúir

● Foshraith: Is iondúil go ndéantar clúdach brataithe SIC as graifít ard -íonachta nó foshraith ceirmeach, mar shampla graifít isostatic, chun neart meicniúil agus meáchan éadrom a sholáthar.

●  Sciath dromchla.

●  Gnáthnós: Go hiondúil múnlaithe diosca nó le dearaí struchtúracha speisialta chun freastal ar mhúnlaí éagsúla de threalamh MOCVD (m.sh., Veeco, Aixtron).

Úsáidí agus príomhróil i bpróiseas MOCVD:

Úsáidtear an clúdach satailíte brataithe SIC do MOCVD den chuid is mó i seomra imoibriúcháin fáis epitaxial MOCVD, agus áirítear ar a fheidhmeanna:

(1) sliseoga a chosaint agus dáileadh teochta a bharrfheabhsú

Mar phríomh-chomhpháirt sciath teasa i dtrealamh MOCVD, clúdaíonn sé imlíne an tsleasa chun téamh neamh-aonfhoirmeach a laghdú agus chun aonfhoirmeacht na teochta fáis a fheabhsú.

Saintréithe: Tá cobhsaíocht mhaith ardteochta agus seoltacht theirmeach ag sciath cairbíde sileacain (300W.M.M.^-1-K^-1), a chuidíonn le tiús ciseal eipiciúil agus aonfhoirmeacht dópála a fheabhsú.

(2) Éilliú na gcáithníní a chosc agus cáilíocht ciseal eipiciúil a fheabhsú

Cuireann an dromchla dlúth agus creimthe atá frithsheasmhach in aghaidh SIC cosc ​​ar gháis foinse (m.sh. TMGA, TMAL, NH₃) ó imoibriú leis an tsubstráit le linn an phróisis MOCVD agus laghdaíonn sé éilliú na gcáithníní.

Saintréithe: Laghdaíonn a thréithe asaithe ísle an t -iarmhar sil -leagain, feabhas a chur ar thoradh Gan, sliseog epitaxial SIC.

(3) Friotaíocht ardteochta, friotaíocht creimthe, ag síneadh le saol seirbhíse an trealaimh

Úsáidtear ardteocht (> 1000 ° C) agus gáis chreimneacha (m.sh. NH₃, H₂) sa phróiseas MOCVD. Tá bratuithe SIC éifeachtach maidir le creimeadh ceimiceach a fhriotú agus costais chothabhála trealaimh a laghdú.

Saintréithe: Mar gheall ar a chomhéifeacht íseal leathnú teirmeach (4.5 × 10^-6K^-1), Coinníonn SIC cobhsaíocht tríthoiseach agus seachnaíonn sé saobhadh i dtimpeallachtaí rothaíochta teirmeacha.

Struchtúr Criostal Scannán CVD ：

Airíonna fisiceacha bunúsacha sciath SIC CVD

Clúdach satailíte brataithe SIC Veteksemimon do Siopa Táirgí MOCVD: