Sliseanna piezoelectric PZT: Réitigh Ardfheidhmíochta do MEMS Next-Gen

I ré na héabhlóide gasta MEMS (Córais Mhicear-Leictrimheicniúla), is cinneadh déanta nó sos é roghnú an ábhair piezoelectric ceart maidir le feidhmíocht gléas. Tá sliseoga scannán tanaí PZT (Luaidh Zirconate Titanate) tagtha chun cinn mar an rogha is fearr thar roghanna eile cosúil le AlN (Alúmanam Nitride), ag tairiscint cúplála leictrimheicniúla níos fearr do bhraiteoirí agus gníomhaithe ceannródaíocha.

Soláthraíonn Vetek Semiconductor sliseog PZT-on-Si/SOI atá chun tosaigh sa tionscal. Ag giaráil ard-stíliúcháin scannán tanaí, seachadaimid aonfhoirmeacht scannán eisceachtúil agus cáilíocht criostalach, a innealtóireacht go sonrach chun constaicí tionscail coitianta a shárú cosúil le tuirse scannáin agus díghrádú feidhmíochta.

Croí-Ailtireacht: Sineirgíocht Pt agus PZT

Tá sláine an chruach ilchiseal bunúsach maidir le feidhmíocht fearóleictreach. Úsáideann ár sliseog cruach beachta-innealtóireacht leictreoidí miotalacha agus scannáin tanaí ceirmeacha:

• Croílár piezoelectric PZT:Díríonn ár bpróiseas ar rialú dian treoshuíomh criostail. De réir Muralt (2000), tugann PZT le treoshuíomh tosaíochta (100) nó (001) tairiseach fadaimseartha piezoelectric i bhfad níos airde. Cinntíonn sil-leagan optamaithe Vetek treoshuíomh láidir (100), rud a chumasaíonn aschur fuinnimh ollmhór fiú ag thiúis ag leibhéal miocrón.
• An Chiseal Criticiúil Pt Leictreoid:Feidhmíonn Platanam (Pt) mar seoladán leictreach agus mar theimpléad fáis do PZT. Tá cáil air as a seoltacht ard agus cobhsaíocht theirmeach i dtimpeallachtaí saibhir ocsaigine, agus is é Pt caighdeán óir an tionscail le haghaidh leictreoidí bun (Takahashi et al., 1994). Coinnímid roughness dromchla ultra-íseal (Ra <= 1.0 nm) chun comhéadan idéalach a sholáthar do núicléasú PZT.
• Sraitheanna Maolán Comhtháite:Chun idirleathadh eiliminteach idir an PZT agus an tsubstráit Silicon a chosc, ionchorpraímid córas Ciseal Maolánach beachtas. Feidhmíonn na sraitheanna seo mar bhacainn fhisiceach agus maolán strus, rud a chuireann cosc ​​ar dhílamadh scannáin agus ag cinntiú iontaofacht mheicniúil an wafer ar fad le linn eitseála casta MEMS.

Feidhmchláir Sprioc: Cá n-Úsáidtear PZT?

Tá sliseoga PZT ardfheidhmíochta riachtanach d’fheidhmchláir a éilíonn braiteadh meicniúil-go-leictreach beacht nó gníomhnú leictreach-go-meicniúil:

• Leictreonaic Tomhaltóra (PMUT):I measc na gCliant Sprice tá monaróirí modúl fón cliste agus gnólachtaí slándála bithmhéadracha. Úsáid Cás: Gineann scannáin PZT tonnta ultrasonaic ard-minicíochta le haghaidh braite méarloirg faoin taispeáint. I gcomparáid le réitigh oidhreachta, tairgeann PMUTanna bunaithe ar PZT treá níos doimhne agus réiteach níos airde (Akbari et al., 2016), rud a chumasaíonn fíordheimhniú bithmhéadrach 3D slán.
• Teileachumarsáid (RF MEMS):I measc na gCliant Sprice tá dearthóirí sliseanna tosaigh RF agus soláthraithe bonneagair 5G/6G. Úsáid Cás: Úsáid a bhaint as comhéifeacht cúplála leictrimheicniúla ard PZT chun scagairí intiúntha a chruthú. Laghdaíonn sé seo caillteanas comhartha agus leathnaíonn sé bandaleithead, atá ríthábhachtach chun plódú speictrim a bhainistiú i líonraí 5G.
• Priontáil Thionsclaíoch:I measc na gCliant Sprice tá monaróirí printéirí scaird dúch tionsclaíocha agus déantóirí taispeána solúbtha (OLED). Cás Úsáide: Déantar sliseoga PZT a mhicrea-mheabhrú isteach i ngníomhairí ultra-tapa. Tríd an seomra dúch a dhífhoirmiú ar an toirt, baineann siad amach dáileadh beachtas sreabhán pico-lítear, cloch choirnéil do mhonarú OLED agus priontáil 3D ard-réiteach.
• Cúram Sláinte:I measc na gCliant Sprice tá T&F feistí leighis agus tosaithe ultrafhuaime ríomhaire boise. Cás Úsáide: Taiscéalaithe Ultrafhuaime Infhéitheach Tiomána (IVUS) don íomháú inmheánach. Feidhmíonn sé freisin mar chroílár nebulizers leighis ardéifeachtúlachta, ciúine do sheachadadh spriocdhírithe drugaí.
• Feithicleach:I measc na gCliant Sprice tá soláthraithe réitigh tiomána uathrialacha agus forbróirí cliste HMI cockpit. Úsáid Cás: Raon braite braiteoirí ultrasonaic feithicleach a leathnú. Ina theannta sin, cuireann sé Aiseolas Haptic ar fáil ar scáileáin tadhaill, ag ionsamhladh mothú tadhlach na gcnaipí fisiceacha.

Cén Fáth Roghnaigh Vetek Leathsheoltóra?

• Paraiméadair Sármhaithe:Sroicheann tairiseach písileictreach d31 200 pC/N de ghnáth, agus tá comhéifeacht e31 cobhsaí ag -15 C/m2.
• Foshraitheanna Ilghnéitheacha:Ar fáil i bhformáidí 6-orlach agus 8-orlach, lena n-áirítear foshraitheanna SOI ard-fhriotaíochta (> 5000 ohm/cm).
• Saincheapadh Saincheaptha:Tacaímid le Wafers Soláthair do Chustaiméirí (Seirbhís Teilgcheárta) agus is féidir leis an gcóimheas tiús de shraitheanna PZT agus Pt a shaincheapadh chun do riachtanais shonracha minicíochta athshondais a mheaitseáil.

Údar:Sera Laoi

Tagairtí Acadúla:

[1] Muralt, P. (2000). "Scannáin tanaí PZT le haghaidh microsensors agus actuators: fadhbanna agus dul chun cinn."Journal of Micromechanics agus Microengineering....

[2]             Trolier-McKinstry, S., et al. (2018). "Scannáin Thin piezoelectric le haghaidh MEMS."Athbhreithniú Bliantúil ar Thaighde Ábhar.

[3]             Akbari, M., et al. (2016). "Trasduchtóirí Ultrasonach Micromachined piezoelectric (pMUTanna) le haghaidh Íomháú Leighis."In Athshonators MEMS piezoelectric.