Táirgí
Foirnéis fás criostail SiC friotaíocht mór a théamh
  • Foirnéis fás criostail SiC friotaíocht mór a théamhFoirnéis fás criostail SiC friotaíocht mór a théamh

Foirnéis fás criostail SiC friotaíocht mór a théamh

Is próiseas lárnach é fás criostail chomhdhúile sileacain i ndéantúsaíocht feistí leathsheoltóra ardfheidhmíochta. Cinneann cobhsaíocht, cruinneas, agus comhoiriúnacht trealaimh fáis criostail go díreach cáilíocht agus toradh tinní chomhdhúile sileacain. Bunaithe ar shaintréithe na teicneolaíochta Iompar Glais Fhisiciúil (PVT), tá foirnéis téimh friotaíochta forbartha ag Veteksemi le haghaidh fás criostail chomhdhúile sileacain, rud a chuireann ar chumas fás cobhsaí de chriostail chomhdhúile sileacain 6-orlach, 8-orlach, agus 12-orlach le comhoiriúnacht iomlán le córais seoltacha, leath-inslithe agus ábhar N-cineál. Trí rialú beacht ar theocht, brú agus cumhacht, laghdaítear go héifeachtach lochtanna criostail mar EPD (Etch Pit Density) agus BPD (Basal Plane Dislocation), agus léiríonn sé tomhaltas ísealfhuinnimh agus dearadh dlúth chun freastal ar na caighdeáin arda de tháirgeadh tionsclaíoch ar scála mór.

Paraiméadair Theicniúla

Paraiméadar
Sonraíocht
Próiseas Fáis
Iompar Gaile Fisiciúil (PVT)
Modh Téamh
Téamh friotaíocht graifít
Méideanna Crystal Inoiriúnaithe
6 orlach, 8 orlach, 12 orlach (inaistrithe; am athsholáthair seomra < 4 uair an chloig)
Cineálacha Crystal Comhoiriúnach
Cineál seoltaí, cineál leath-inslithe, cineál N (sraith iomlán)
Teocht Oibriúcháin Uasta
≥2400 ℃
Fholúis deiridh
≤9×10⁻⁵Pa (coinníoll foirnéise fuar)
Ráta Ardaithe Brú
≤1.0Pa/12h (foirnéis fuar)
Cumhacht Fás Criostail
34.0KW
Cruinneas Rialaithe Cumhachta
±0.15% (faoi choinníollacha fáis cobhsaí)
Cruinneas Rialaithe Brú
0.15Pa (céim fáis); luaineacht <±0.001 Torr (ag 1.0Torr)
Dlús Lochtanna Criostail
BPD < 381 ea/cm²; TED < 1054 ea/cm²
Ráta Fáis Criostail
0.2-0.3mm/u
Airde Fáis Criostail
30-40mm
Toisí Foriomlána (W×D×H)
≤1800mm × 3300mm × 2700mm


Buntáistí Croí


 Comhoiriúnacht Iomlán-Méid

Cumasaíonn sé fás cobhsaí de chriostail chomhdhúile sileacain 6-orlach, 8-orlach, agus 12-orlach, go hiomlán comhoiriúnach le córais seoltacha, leath-inslithe agus ábhar N-cineál. Clúdaíonn sé riachtanais táirgeachta táirgí a bhfuil sonraíochtaí éagsúla acu agus déanann sé oiriúnú do chásanna éagsúla iarratais.


● Cobhsaíocht Próisis Láidir

Tá comhsheasmhacht polytype 4H den scoth ag na criostail 8-orlach, cruth dromchla cobhsaí, agus atrialltacht ard; tá an teicneolaíocht fáis criostail chomhdhúile sileacain 12-orlach tar éis fíorú a dhéanamh le féidearthacht ard-mhais táirgthe.


● Ráta Locht Criostail Íseal

Trí rialú beacht ar theocht, brú, agus cumhacht, laghdaítear lochtanna criostail go héifeachtach le príomhtháscairí a chomhlíonann caighdeáin - EPD = 1435 ea / cm², BPD = 381 ea / cm², TSD = 0 ea / cm², agus TED = 1054 ea / cm². Comhlíonann na táscairí locht go léir ceanglais cháilíochta criostail ard-ghrád, ag feabhsú go mór an toradh tinne.


● Costais Oibriúcháin Inrialaithe

Tá an tomhaltas fuinnimh is ísle aige i measc táirgí den chineál céanna. Tá timthriall athsholáthair fada de 6-12 mhí ag comhpháirteanna lárnacha (cosúil le sciatha inslithe theirmigh), ag laghdú costais oibriúcháin chuimsitheacha.


● Áis breiseán agus súgartha

Pacáistí oideas agus próiseas saincheaptha bunaithe ar shaintréithe trealaimh, arna bhfíorú trí tháirgeadh fadtéarmach agus il-bhaisc, rud a cheadaíonn táirgeadh láithreach tar éis a shuiteáil.


● Sábháilteacht agus Iontaofacht

Glacann dearadh spréach frith-stua speisialta chun deireadh a chur le guaiseacha sábháilteachta féideartha; Seachnaíonn feidhmeanna monatóireachta fíor-ama agus réamhrabhaidh rioscaí oibriúcháin go réamhghníomhach.


● Feidhmíocht Fholúis den Scoth

Sáraíonn na táscairí ráta ardúcháin folús deiridh agus brú na leibhéil tosaigh idirnáisiúnta, rud a chinntíonn timpeallacht ghlan d'fhás criostail.


● Oibriú agus Cothabháil Chliste

Gnéithe comhéadan iomasach HMI in éineacht le taifeadadh sonraí cuimsitheach, ag tacú le feidhmeanna monatóireachta cianda roghnach le haghaidh bainistíocht táirgeachta éifeachtach agus áisiúil.


Amharcthaispeántas na Croífheidhmíochta


Cuar Cruinneas Rialaithe Teochta

Temperature Control Accuracy Curve

Cruinneas rialaithe teochta na foirnéise fáis criostail ≤ ± 0.3 ° C; Forbhreathnú ar an gcuar teochta



Graf Cruinneas Rialaithe Brú


Pressure Control Accuracy Graph

Cruinneas rialaithe brú na foirnéise fáis criostail: 1.0 Torr, cruinneas rialaithe brú: 0.001 Torr


Beachtas Cobhsaíochta Cumhachta


Cobhsaíocht agus comhsheasmhacht idir foirnéisí/baisceanna: Cruinneas cobhsaíochta na cumhachta

Power Stability Precision

Faoin stádas fáis criostail, is é ±0.15% an cruinneas rialaithe cumhachta le linn fás criostail cobhsaí.


Siopa táirgí Veteksemicon

Veteksemicon products shop



Hot Tags: Foirnéis fás criostail SiC friotaíocht mór a théamh
Seol Fiosrúchán
Eolas teagmhála
Le haghaidh fiosrúcháin maidir le Cumhdach Silicon Carbide, Cumhdach Carbide Tantalum, Graifít Speisialta nó liosta praghsanna, fág do r-phost chugainn agus beimid i dteagmháil linn laistigh de 24 uair an chloig.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept