Fás Crystal SIC Teicneolaíocht Nua

VFás Crystal Etek Semiconductor 'SIC Crystal Teicneolaíocht Úsáidte Bloic CVD-SIC a cuireadh i leataobh chun an t-ábhar a athchúrsáil mar fhoinse do chriostail SIC atá ag fás. Ullmhaítear an Bluk CVD-SIC a úsáidtear le haghaidh fás criostail aonair mar bhloic bhriste atá faoi rialú méide, a bhfuil difríochtaí suntasacha acu i gcruth agus i méid i gcomparáid leis an bpúdar SIC tráchtála a úsáidtear go coitianta sa phróiseas PVT, mar sin táthar ag súil go mbeidh iompar an fháis criostail aonair SIC SCé chomh difriúil is atá iompar difriúil.

Sula ndearnadh an turgnamh fáis criostail aonair SIC, rinneadh insamhaltaí ríomhaireachta chun rátaí fáis arda a fháil, agus rinneadh an crios te a chumrú dá réir sin le haghaidh fás criostail aonair. Tar éis fás criostail, rinneadh meastóireacht ar na criostail fhásta le tomagrafaíocht thrasghearrthach, le micrea-speictreascópacht micrea-raman, le díraonadh X-ghathaithe ardtaifigh, agus le topagrafaíocht x-ghathaithe radaíochta synchrotron.

✔ Foinse bloc CVD-SIC a ullmhú: Ar an gcéad dul síos, ní mór dúinn foinse bloc CVD-SiC ardchaighdeáin a ullmhú, a bhfuil ard-íonacht agus dlús ard de ghnáth ann. Is féidir é seo a ullmhú trí mhodh sil -leagan gaile ceimiceach (CVD) faoi choinníollacha imoibriúcháin cuí.

✔ Ullmhú foshraithe: Roghnaigh foshraith chuí mar an tsubstráit le haghaidh fás criostail aonair SIC. I measc na n -ábhar foshraithe a úsáidtear go coitianta tá cairbíd sileacain, nítríd sileacain, srl.

✔ Téamh agus sublimation. Ciallaíonn sublimation go n-athraíonn an bhlocfhoinse go díreach ó staid sholadach go stát gaile, agus ansin ath-chomhdhlúthú ar dhromchla an tsubstráit chun criostail amháin a dhéanamh.

✔ Rialú teochta: Le linn an phróisis sublimation, ní mór an grádán teochta agus an dáileadh teochta a rialú go beacht chun sublimation an bhlocfhoinse agus fás criostail aonair a chur chun cinn. Is féidir le rialú teochta cuí cáilíocht idéalach criostail agus ráta fáis a bhaint amach.

✔ Rialú atmaisféir: Le linn an phróisis sublimation, ní mór an t -atmaisféar imoibriúcháin a rialú freisin. Is iondúil go n-úsáidtear gás támh ard-íonachta (mar shampla argón) mar ghás iompróra chun brú agus íonacht chuí a choinneáil agus chun éilliú a chosc ag eisíontais.

✔ Fás criostail aonair. Is féidir fás tapa criostail aonair SIC a bhaint amach trí choinníollacha sublimation cuí agus trí rialú grádáin teochta.