Ábhair allamuigh teirmeacha bunaithe ar charbón a chur i bhfeidhm i bhfás criostail cairbíde sileacain

Ⅰ. Réamhrá ar ábhair sic:

1. Forbhreathnú ar airíonna ábhartha:

Tá anleathsheoltóir tríú glúinar a dtugtar leathsheoltóir cumaisc, agus tá a leithead bandgap thart ar 3.2eV, atá trí huaire leithead bandgap na n-ábhar leathsheoltóra sileacain-bhunaithe (1.12eV d'ábhair leathsheoltóra sileacain-bhunaithe), mar sin tugtar leathsheoltóir bandgap leathan air freisin. Tá teorainneacha fisiceacha ag feistí leathsheoltóra bunaithe ar sileacain atá deacair a bhriseadh i roinnt cásanna iarratais ardteochta, ardbhrú agus ard-minicíochta. Ní féidir leis an struchtúr gléas a choigeartú freastal ar na riachtanais a thuilleadh, agus ábhair leathsheoltóra tríú glúin arna léiriú ag SiC agusAraontagtha chun cinn.

2. Feistí SIC a chur i bhfeidhm:

Bunaithe ar a fheidhmíocht speisialta, cuirfidh feistí SiC in ionad sileacain-bhunaithe de réir a chéile i réimse an teocht ard, ardbhrú, agus minicíocht ard, agus tá ról tábhachtach acu i gcumarsáid 5G, radar micreathonn, aeraspáis, feithiclí nua fuinnimh, iompar iarnróid, cliste. greillí, agus réimsí eile.

3. Modh ullmhúcháin:

(1)Iompar gaile fisiciúil (PVT): Tá an teocht fáis thart ar 2100 ~ 2400 ℃. Is iad na buntáistí ná teicneolaíocht aibí, costas déantúsaíochta íseal, agus feabhsú leanúnach ar chaighdeán agus toradh criostail. Is iad na míbhuntáistí ná go bhfuil sé deacair ábhair a sholáthar go leanúnach, agus tá sé deacair cion na gcomhpháirteanna céim gáis a rialú. Tá sé deacair faoi láthair criostail P-Type a fháil.

(2)Modh Réiteach Síl Barr (TSSG): Tá an teocht fáis thart ar 2200 ℃. Is iad na buntáistí ná teocht fáis íseal, strus íseal, roinnt lochtanna díláithrithe, dópáil cineál P, 3Cfás criostail, agus leathnú trastomhas éasca. Mar sin féin, tá lochtanna cuimsithe miotail ann fós, agus tá an soláthar leanúnach d'fhoinse Si/C lag.

(3)Sil -leagan gaile ceimiceach ardteochta (HTCVD): Tá an teocht fáis thart ar 1600 ~ 1900 ℃. Is iad na buntáistí ná soláthar leanúnach amhábhar, rialú beacht ar chóimheas Si/C, íonacht ard, agus dópáil áisiúil. Is iad na míbhuntáistí ná costas ard amhábhar gásach, deacracht ard i gcóireáil innealtóireachta ar sceite teirmeach, lochtanna arda, agus aibíocht theicniúil íseal.

Ⅱ. Aicmiú feidhme naréimse teirmeachábhair

1. Córas inslithe:

Feidhm: Tóg an grádán teochta atá ag teastáil le haghaidhfás criostail

Riachtanais: Seoltacht theirmeach, seoltacht leictreach, íonacht na gcóras ábhar inslithe ardteochta os cionn 2000 ℃

2. Airidcóras:

Feidhm: 

① Comhpháirteanna téimh; 

② Coimeádán fáis

Riachtanais: Friotaíocht, Seoltacht Teirmeach, Comhéifeacht Leathnaithe Teirmeach, íonacht

3. Sciath TACcomhpháirteanna:

Feidhm: Cuir bac ar chreimeadh graifít bhunúsach ag Si agus cuireann sé bac ar chuimsithe C

Riachtanais: Dlús sciath, tiús sciath, íonacht

4. Graifít póiriúilcomhpháirteanna:

Feidhm: 

① Comhpháirteanna cáithníní carbóin a scagadh; 

② Forlíonadh foinse carbóin

Riachtanais: Tarchur, seoltacht theirmeach, íonacht

Ⅲ. Réiteach Córas Allamuigh Teirmeach

Córas inslithe:

Tá dlús dromchla ard, friotaíocht creimeadh, agus dea-fhriotaíocht turrainge teirmeach ag sorcóir inmheánach inslithe carbóin / carbóin. Féadann sé creimeadh sileacain a sceitheadh ​​ón ábhar inslithe go dtí an taobh-bhreogán a laghdú, rud a chinntíonn cobhsaíocht an réimse teirmeach.

Comhpháirteanna Feidhme:

(1)Tantalum chomhdhúile brataithecomhpháirteanna

(2)Graifít póiriúilcomhpháirteanna

(3)Ilchodach carbóin/carbóincomhpháirteanna allamuigh teirmeacha