Déantúsaíocht sliseanna: sil -leagan ciseal adamhach (ALD)

Sa tionscal déantúsaíochta leathsheoltóra, de réir mar a leanann méid na bhfeistí ag laghdú, tá dúshláin gan fasach ag baint le teicneolaíocht sil -leagain na n -ábhar scannán tanaí. Tá sil -leagan ciseal adamhach (ALD), mar theicneolaíocht sil -leagan tanaí scannáin ar féidir léi rialú beacht a bhaint amach ag an leibhéal adamhach, mar chuid fíor -riachtanach de dhéantúsaíocht leathsheoltóra. Tá sé mar aidhm ag an Airteagal seo sreabhadh agus prionsabail ALD a thabhairt isteach chun cabhrú le tuiscint a fháil ar a ról tábhachtach iDéantúsaíocht sliseanna ardleibhéil.

Míniú mionsonraithe ar anAldúsreabhadh próisis

Leanann an próiseas ALD seicheamh dian chun a chinntiú nach gcuirtear ach ciseal adamhach amháin gach sil -leagan, rud a fhágann go bhfuil rialú beacht ar thiús scannán. Seo a leanas na bunchéimeanna:

Pulse réamhtheachtaithe: anAldúTosaíonn an próiseas le tabhairt isteach an chéad réamhtheachtaí isteach sa seomra imoibriúcháin. Is é an réamhtheachtaí seo gás nó gal ina bhfuil eilimintí ceimiceacha an ábhair sil -leagan sprice ar féidir leis freagairt le suíomhanna gníomhacha sonracha ar ansliseaddromchla. Déantar na móilíní réamhtheachtacha a astú ar dhromchla an tsleasa chun ciseal móilíneach sáithithe a dhéanamh.

Purge gáis támh: Ina dhiaidh sin, tugtar isteach gás támh (mar shampla nítrigin nó argón) le haghaidh purge chun réamhtheachtaithe agus fotháirgí neamhghníomhacha a bhaint, ag cinntiú go bhfuil an dromchla sliseog glan agus réidh don chéad imoibriú eile.

An dara cuisle réamhtheachtaithe: Tar éis an purge a chríochnú, tugtar isteach an dara réamhtheachtaí chun freagairt go ceimiceach leis an réamhtheachtaí asaithe sa chéad chéim chun an taisce inmhianaithe a ghiniúint. Is iondúil go mbíonn an t-imoibriú seo féin-theoranta, is é sin, nuair a bhíonn an chéad réamhtheachtaí ag gach suíomh gníomhach, ní tharlóidh frithghníomhartha nua a thuilleadh.

Purge gáis támh arís: Tar éis an t -imoibriú a bheith críochnaithe, déantar an gás támh a ghlanadh arís chun imoibreoirí agus fotháirgí iarmharacha a bhaint, an dromchla a athbhunú go stát glan agus ag ullmhú don chéad timthriall eile.

Is éard atá sa tsraith céimeanna seo ná timthriall iomlán ALD, agus gach uair a chríochnaítear timthriall, cuirtear ciseal adamhach leis an dromchla sliseog. Trí líon na dtimthriallta a rialú go beacht, is féidir an tiús scannáin atá ag teastáil a bhaint amach.

(Céim timthrialla amháin ALD)

2. Anailís Prionsabal an Phróisis

Is é an t-imoibriú féin-theorannaithe ALD a chroíphrionsabal. I ngach timthriall, ní féidir leis na móilíní réamhtheachtacha ach freagairt ach leis na suíomhanna gníomhacha ar an dromchla. Nuair a bhíonn na suíomhanna seo á n -áitiú go hiomlán, ní féidir na móilíní réamhtheachtacha ina dhiaidh sin a asú, rud a chinntíonn nach gcuirtear ach sraith amháin adamh nó móilíní i ngach babhta de sil -leagan. Fágann an ghné seo go bhfuil aonfhoirmeacht agus cruinneas an -ard ag ALD agus scannáin tanaí á dtaisceadh. Mar a thaispeántar san fhigiúr thíos, is féidir leis clúdach maith a choinneáil fiú ar struchtúir chasta tríthoiseacha.

3. ALD a chur i bhfeidhm i ndéantúsaíocht leathsheoltóra

Úsáidtear ALD go forleathan sa tionscal leathsheoltóra, lena n -áirítear ach gan a bheith teoranta do:

Sil-leagan ábhair ard-K: Úsáidte le haghaidh ciseal inslithe geata de thrasraitheoirí giniúna nua chun feidhmíocht na bhfeistí a fheabhsú.

Sil -leagan geata miotail: amhail nítríd tíotáiniam (TIN) agus nítríd tantalum (TAN), a úsáidtear chun luas agus éifeachtúlacht na n -trasraitheoirí a fheabhsú.

Ciseal bacainn idirnasctha: Cosc a chur ar idirleathadh miotail agus cobhsaíocht agus iontaofacht chiorcaid a chothabháil.

Struchtúr tríthoiseach a líonadh: mar shampla bealaí a líonadh i struchtúir FINFET chun comhtháthú níos airde a bhaint amach.

Thug sil -leagan ciseal adamhach (ALD) athruithe réabhlóideacha ar an tionscal déantúsaíochta leathsheoltóra lena chruinneas agus a aonfhoirmeacht neamhghnách. Trí máistreacht a dhéanamh ar phróiseas agus ar phrionsabail ALD, is féidir le hinnealtóirí feistí leictreonacha a thógáil le feidhmíocht den scoth ag an nanascale, ag cur chun cinn leanúnach na teicneolaíochta faisnéise. De réir mar a thagann an teicneolaíocht chun cinn, beidh ról níos criticiúla fós ag ALD i réimse leathsheoltóra na todhchaí.