Nuacht

Úsáidí cairbíde sileacain soladach

Is ábhar ceirmeach ardleibhéil é SIC sileacain soladach atá comhdhéanta de sileacain (IR) agus carbón (C). Ní substaint í a fhaightear go forleathan i nádúr agus de ghnáth teastaíonn sintéis ardteochta uaidh. Mar gheall ar a mheascán uathúil de airíonna fisiceacha agus ceimiceacha, is príomhábhar é a fheidhmíonn go maith i dtimpeallachtaí tromchúiseacha, go háirithe i ndéantúsaíocht leathsheoltóra.


Airíonna fisiceacha sic soladach
Dlús
3.21
g/cm3

Friotaíocht leictreachais
102
Ω/cm

Neart solúbthachta
590 MPA
(6000kgf/cm2)
Modulus Young
450 GPA
(6000kgf/cm2)
Cruas vickers
26 GPA
(2650kgf/mm2)
C.T.E. (RT-1000 ℃)
4.0 x10-6/K

Seoltacht theirmeach (RT)
250 W/mk


. Príomh -airíonna fisiceacha cairbíde sileacain sholadach (soladach sic)


▶ Cruas ard agus friotaíocht a chaitheamh:

Tá cruas Mohs de thart ar 9-9.5 ag SIC, an dara ceann ach le Diamond. Tugann sé seo scratch agus friotaíocht den scoth dó, agus feidhmíonn sé go maith i dtimpeallachtaí a chaithfidh strus meicniúil nó creimeadh cáithníní a sheasamh.


▶ Neart agus cobhsaíocht ardteochta den scoth

1. Is féidir le SIC a neart meicniúil agus a sláine struchtúrach a choinneáil ag teochtaí an -ard (ag feidhmiú ag teochtaí suas le 1600 ° C nó níos airde fós, ag brath ar chineál agus íonacht).

Ciallaíonn a chomhéifeacht íseal de leathnú teirmeach go bhfuil cobhsaíocht mhaith tríthoiseach aige agus nach bhfuil sé i mbaol dífhoirmiú nó scoilteadh nuair a athraíonn an teocht go suntasach.


▶ Seoltacht ard teirmeach:

Murab ionann agus go leor ábhar ceirmeach eile, tá seoltacht teirmeach sách ard ag SIC. Ligeann sé seo dó teas a stiúradh agus a dhíscaoileadh go héifeachtúil, rud atá ríthábhachtach d'iarratais a dteastaíonn rialú beacht teochta agus aonfhoirmeacht uathu.


Támh ceimiceach níos fearr agus friotaíocht creimthe:

Taispeánann SIC frithsheasmhacht thar a bheith láidir don chuid is mó de na haigéid láidre, na mbonn láidir, agus na ngáis chreimneacha a úsáidtear go coitianta i bpróisis leathsheoltóra (mar shampla gáis bunaithe ar fhluairín agus clóirín i dtimpeallachtaí plasma), fiú ag teochtaí arda. Tá sé seo ríthábhachtach chun cosc ​​a chur ar chomhpháirteanna an tseomra próisis a bheith creimthe nó éillithe.


▶ Poitéinseal le haghaidh íonachta ard:

Is féidir bratuithe SIC an -ard nó páirteanna SIC soladacha a tháirgeadh trí phróisis mhonaraithe shonracha (mar shampla sil -leagan gaile ceimiceach - CVD). I ndéantúsaíocht leathsheoltóra, bíonn tionchar díreach ag íonacht ábhair ar leibhéal éillithe an tsleasa agus ar thoradh an táirge deiridh.


▶ Stiffness ard (modulus Young):

Tá modulus ard -óg ag SIC, rud a chiallaíonn go bhfuil sé an -chrua agus nach bhfuil sé éasca é a dhífhoirmiú faoi ualach. Tá sé seo an -tábhachtach do chomhpháirteanna nach mór cruth agus méid beacht a choinneáil (mar iompróirí sliseog).


▶ Airíonna Leictreachais In -inchaite:

Cé go n -úsáidtear é go minic mar inslitheoir nó mar leathsheoltóir (ag brath ar a fhoirm chriostal agus ar an dópáil), cuidíonn a fhriotaíocht ard le hiompar plasma a bhainistiú nó le hurscaoileadh stua neamhriachtanach a chosc i roinnt feidhmchlár comhpháirte.


. Iarratais shonracha agus buntáistí a bhaineann le táirgí críochnaithe cairbíde sileacain soladach (SIC soladach) i ndéantúsaíocht leathsheoltóra


Bunaithe ar na hairíonna fisiceacha thuas, déantar SIC soladach a mhonarú i gcomhpháirteanna beachta éagsúla agus úsáidtear go forleathan é i bpríomh-naisc il-phróisis tosaigh leathsheoltóra.


1) Iompróir sliseog soladach sic (iompróir / bád sliseog soladach SIC):


Iarratas:


A úsáidtear chun sliseoga sileacain a iompar agus a aistriú i bpróisis ardteochta (mar shampla idirleathadh, ocsaídiú, LPCVD-sil-leagan gaile ceimiceach ísealbhrú).


Anailís Buntáistí:


Solid SiC wafer carrier

1. Cobhsaíocht ardteochta: Ag an bpróiseas tá teochtaí níos mó ná 1000 ° C, ní dhéanfaidh iompróirí SIC laghduithe, dífhoirmiú ná sag chomh héasca le Grianchloch, agus is féidir leo spásáil wafer a choinneáil go cruinn chun aonfhoirmeacht an phróisis a chinntiú.

2. Saol fada agus giniúint íseal na gcáithníní: Tá cruas agus friotaíocht SIC i bhfad níos mó ná Grianchloch, agus níl sé éasca cáithníní beaga a tháirgeadh chun sliseoga a thruailliú. Is iondúil go mbíonn a shaol seirbhíse arís agus arís eile nó fiú an iliomad uaireanta níos mó ná iompróirí Grianchloch, ag laghdú minicíocht athsholáthair agus costais chothabhála.

3. Támh ceimiceach: Is féidir leis cur in aghaidh creimeadh ceimiceach in atmaisféar an phróisis agus éilliú an tsliocht a laghdú de bharr deascadh a chuid ábhar féin.

.

5. Ard-íonacht: Is féidir iompróirí SIC ard-íonachta a mhonarú chun riachtanais dhiana na n-ard-nóid le haghaidh rialú neamhíonachta a chomhlíonadh.


Luach Úsáideora:


Feabhas a chur ar chobhsaíocht an phróisis, toradh an táirge a mhéadú, an t -am neamhfhónaimh a laghdú de bharr teip nó éilliú comhpháirte, agus an costas foriomlán úinéireachta a laghdú san fhadtéarma.


2) Ceann cithfholctha diosca-múnlaithe / gáis soladach:


Iarratas:


Suiteáilte ar bharr an tseomra imoibriúcháin trealaimh amhail eitseáil plasma, sil -leagan gaile ceimiceach (CVD), sil -leagan ciseal adamhach (ALD), etc., atá freagrach as gáis phróisis a dháileadh go cothrom ar an dromchla sliseog thíos.


Solid SiC Disc-shaped Shower Head

Anailís Buntáiste:


1. Lamháltas plasma: I dtimpeallacht phlasma ardfhuinnimh, atá gníomhach go ceimiceach, taispeánann an ceann cithfholctha SIC friotaíocht an-láidir i gcoinne bombardú plasma agus creimeadh ceimiceach, atá i bhfad níos fearr ná Grianchloch nó alúmana.


2. Aonfhoirmeacht agus cobhsaíocht: Is féidir leis an gceann cithfholctha SIC cruinnithe a chinntiú go ndéantar an sreabhadh gáis a dháileadh go cothrom ar dhromchla iomlán an tsleasa, rud atá ríthábhachtach maidir le haonfhoirmeacht tiús scannán, aonfhoirmeacht comhdhéanamh, nó ráta eitseáil. Tá cobhsaíocht fhadtéarmach maith aige agus níl sé éasca é a dhífhoirmiú ná a chlogadh.


3. Bainistíocht theirmeach: Cuidíonn seoltacht mhaith teirmeach le haonfhoirmeacht teochta a choinneáil ar dhromchla an chithfholcadáin, rud atá ríthábhachtach do go leor próiseas sil-leagan nó eitseáil teasa.


.


Luach Úsáideora:


Feabhas suntasach a chur ar aonfhoirmeacht agus in -atrialltacht thorthaí an phróisis, saol seirbhíse an chithfholcadáin a leathnú, amanna cothabhála agus fadhbanna na gcáithníní a laghdú, agus tacú le coinníollacha próisis níos déine agus níos déine.


3) Fáinne dírithe ar eitseáil soladach SIC (Fáinne Fáinne / Imeall Dírithe Sic Sic Sic):


Iarratas:


A úsáidtear den chuid is mó i seomra an trealaimh eitseáil plasma (mar shampla Plasma CCP atá cúpláilte go toilleach nó plasma ICP atá cúpláilte go hintuigthe), a chuirtear de ghnáth ar imeall an iompróra sliseog (Chuck), a bhaineann leis an sliseog. Is é an fheidhm atá aige ná an plasma a shrianadh agus a threorú ionas go bhfeidhmeoidh sé níos cothroime ar dhromchla an tsleasa agus comhpháirteanna eile den seomra á chosaint ag an am céanna.


Anailís Buntáiste:


Solid SiC Etching Focusing Ring

1. Friotaíocht láidir in aghaidh creimeadh plasma: Is é seo an buntáiste is suntasaí den fháinne dírithe SIC. I bplasmas eitseáil thar a bheith ionsaitheach (mar shampla ceimiceáin fluairín nó clóirín ina bhfuil), caitheann SIC i bhfad níos moille ná Grianchloch, alúmana, nó fiú yttria (ocsaíd yttrium), agus tá saol an-fhada aige.


2. Toisí criticiúla a chothabháil: Ceadaíonn cruas ard agus déine ard fáinní dírithe ar a gcruth beacht agus a méid beacht a choinneáil níos fearr thar thréimhsí fada úsáide, rud atá ríthábhachtach chun moirfeolaíocht plasma a chobhsú agus aonfhoirmeacht eitseáil a chinntiú.


3. Giniúint na gcáithníní ísle: Mar gheall ar a fhriotaíocht a chaitheamh, laghdaíonn sé go mór cáithníní a ghintear trí aosú comhpháirte, rud a fheabhsaíonn an toradh.


.


Luach Úsáideora:


Timthriallta athsholáthair na gcomhpháirteanna a leathnú go mór, laghdaíonn sé go mór na costais chothabhála agus an t -am do threalamh; cobhsaíocht agus in -atrialltacht na bpróiseas eitseáil a fheabhsú; Laghdú a dhéanamh ar lochtanna agus an toradh a bhaineann le déantúsaíocht sliseanna ard-deireadh a fheabhsú.


Ⅲ.Achoimre


Tá cairbíd sileacain sholadach anois ar cheann de na príomhábhair fíor -riachtanach i ndéantúsaíocht leathsheoltóra nua -aimseartha mar gheall ar a mheascán uathúil de airíonna fisiceacha - cruas ard, leáphointe ard, seoltacht teirmeach ard, cobhsaíocht cheimiceach den scoth agus friotaíocht creimthe. Cibé an iompróir é chun sliseoga a iompar, ceann cithfholctha chun dáileadh gáis a rialú, nó fáinne dírithe chun plasma a threorú, cabhraíonn táirgí soladacha SIC le monaróirí sliseanna déileáil le dúshláin phróisis atá ag éirí níos déine lena bhfeidhmíocht agus a n -iontaofacht den scoth, feabhas a chur ar éifeachtúlacht táirgthe agus toradh táirge, agus mar sin forbairt inbhuanaithe an tionscail leathsheoltóra ar fad a chur chun cinn.


Mar phríomh -mhonaróir agus soláthróir táirgí cairbíde sileacain soladach sa tSín,Leathbheotáirgí marIompróir / bád sliseog soladach sic, Ceann cithfholctha diosca / gáis soladach sic soladach, Fáinne Fáinne / Imeall Dírithe ar Eitseáil Soladach SICdíoltar go forleathan san Eoraip agus sna Stáit Aontaithe iad, agus tá ardmholadh agus aitheantas bainte amach acu ó na custaiméirí seo. Táimid ag tnúth go mór le bheith i do chomhpháirtí fadtéarmach sa tSín. Fáilte chun dul i gcomhairle.


Mob/Whatsapp: +86-180 6922 0752

Ríomhphost: anny@veteksemi.com


Nuacht Gaolmhar
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept