Cad é Miasadóireacht agus Creimeadh sa Phróiseas CMP?

Baineann snasú meicniúil ceimiceach (CMP) amach barrachas ábhair agus lochtanna dromchla trí chomhghníomhú imoibrithe ceimiceacha agus scríobadh meicniúil. Is príomhphróiseas é chun pleanáil dhomhanda a bhaint amach ar an dromchla sliseog agus tá sé fíor-riachtanach le haghaidh idirnaisc copair ilchiseal agus struchtúir thréleictreach íseal-k. I ndéantúsaíocht phraiticiúil, ní próiseas críochnaithe aonfhoirmeach é CMP; is cúis le lochtanna tipiciúla a bhraitheann ar phatrún, agus is iad miascadh agus creimeadh na cinn is suntasaí ina measc. Bíonn tionchar díreach ag na lochtanna seo ar gheoiméadracht na sraitheanna idirnasctha agus ar a saintréithe leictreacha.

Tagraíonn miasadóireacht do bhaint iomarcach ábhair seoltacha réasúnta bog (cosúil le copar) le linn CMP, rud a fhágann go bhfuil próifíl cuasach mias-chruthach taobh istigh de líne miotail amháin nó de limistéar mór miotail. Sa trasghearradh, luíonn lár an líne miotail níos ísle ná a dhá imill agus an dromchla tréleictreach máguaird. Is minic a breathnaítear an feiniméan seo i línte leathana, pads, nó réigiúin mhiotail de chineál bloc. Baineann a mheicníocht foirmithe go príomha le difríochtaí i gcruas ábhar agus dífhoirmiú an eochaircheap snasta thar ghnéithe miotail leathan: tá miotail bhog níos íogaire do na comhpháirteanna ceimiceacha agus na scríobaigh sa sciodair, agus méadaíonn brú teagmhála áitiúil an eochaircheap ar ghnéithe leathan, rud a fhágann go sáraíonn an ráta bainte ag lár an mhiotail ná sin ag na himill. Mar thoradh air sin, is gnách go n-ardóidh doimhneacht na miasála le leithead líne agus am ró-snasta.

Is sainairíonna é an chreimeadh go bhfuil airde an dromchla iomlán i réigiúin ard-dlúis phatrúin (cosúil le eagair dhlúth línte miotail nó limistéir le líonadh caol caol) níos ísle ná mar a bhíonn sna réigiúin tearca máguaird tar éis an CMP. Go bunúsach, is ró-bhaint ábhair atá bunaithe ar dhlús patrún, ar leibhéal an réigiúin, é. I réigiúin dlúth, soláthraíonn miotail agus tréleictreach le chéile limistéar teagmhála éifeachtach níos mó, agus tá frithchuimilt mheicniúil agus gníomh ceimiceach an eochaircheap agus an sciodair níos láidre. Dá bhrí sin, tá na meánrátaí aistrithe miotail agus tréleictreach araon níos airde ná i réigiúin ísealdlúis. De réir mar a théann snasú agus ró-snasta ar aghaidh, éiríonn an chairn miotail-thréleictreach i limistéir dhlúth níos tanaí ina iomláine, rud a chruthaíonn céim airde intomhaiste, agus méadaíonn an méid creimthe le dlús patrún áitiúil agus le luchtú próisis.

Ó thaobh feidhmíochta feiste agus próisis, tá iliomad drochthionchar ag miascadh agus creimeadh ar tháirgí leathsheoltóra. Laghdaíonn miascadh achar trasghearrthach éifeachtach na miotail, rud a fhágann go mbíonn friotaíocht idirnaisc níos airde agus titim IR, rud a fhágann go bhfuil moill ar chomhartha agus corrlach ama laghdaithe ar chosáin ríthábhachtacha. Athraíonn éagsúlachtaí i dtiús tréleictreach de bharr creimeadh an toilleas seadánacha idir línte miotail agus dáileadh moille RC, ag baint an bonn d'aonfhoirmeacht na saintréithe leictreacha ar fud an tslis. Ina theannta sin, cuireann tanú tréleictreach áitiúil agus tiúchan réimse leictrigh isteach ar iompar miondealaithe agus ar iontaofacht fhadtéarmach tréleictreach idir-mhiotail. Ag leibhéal an chomhtháthaithe, méadaíonn an topagrafaíocht dromchla iomarcach an deacracht a bhaineann le fócas liteagrafaíocht agus ailíniú, díghrádaíonn sé aonfhoirmeacht sil-leagan agus eitseáil scannáin ina dhiaidh sin, agus d'fhéadfadh sé lochtanna cosúil le hiarmhair miotail a chothú. Léirítear na saincheisteanna seo ar deireadh mar luaineacht toraidh agus mar fhuinneog próisis atá ag dul i laghad. Dá bhrí sin, in innealtóireacht phraiticiúil, is gá miascadh agus creimeadh a rialú laistigh de theorainneacha sonraithe trí chothromú dlús leagan amach, leas iomlán a bhaint assnasta sluryroghnaíocht, agus mionchoigeartú na bparaiméadar próisis CMP, ionas go n-áiritheofar plánacht na struchtúr idirnasctha, feidhmíocht leictreach cobhsaí, agus déantúsaíocht láidir ardtoirte.