Táirgí
Ceann cithfholctha soladach sic-chruthach diosca
  • Ceann cithfholctha soladach sic-chruthach dioscaCeann cithfholctha soladach sic-chruthach diosca

Ceann cithfholctha soladach sic-chruthach diosca

Is déantúsóir trealaimh leathsheoltóra ceannródaíoch é Vetek Semiconductor sa tSín agus is déantóir gairmiúil agus soláthróir ceann cithfholctha soladach Diosca-chruthach é. Baintear úsáid fhorleathan as ár gceann cithfholctha cruth diosca i dtáirgeadh tanaí sil -leagan scannán mar phróiseas CVD chun dáileadh aonfhoirmeach an gháis imoibriúcháin a chinntiú agus tá sé ar cheann de na príomh -chomhpháirteanna de fhoirnéis CVD.

Is é an ról atá ag an gceann cithfholctha soladach Diosca-chruthach sa phróiseas CVD an gás imoibriúcháin a dháileadh go cothrom os cionn an limistéir sil-leagain ionas gur féidir an gás a idirdhealú go cothrom ar fud an imoibreora chun scannán cothrom agus aonfhoirmeach a fháil.


Tá an ceann cithfholctha soladach SIC socraithe ag barr na foirnéise CVD nó in aice leis an ionraoin gháis. Téann an gás imoibriúcháin isteach sa struchtúr diosca-chruthach trí na poill a dháiltear ar an gceann cithfholctha agus scaipeann sé timpeall ar dhromchla an chinn cith. Tríd an dearadh il chainéil agus asraonta atá dáilte go cothrom, is féidir leis an ngás imoibriúcháin sreabhadh go cothrom chuig an limistéar imoibreora ar fad, ag seachaint tiúchan nó suaiteacht, agus a chinntiú go mbeidh comhsheasmhacht an tiús ciseal a thaisctear ar an tsubstráit.

Solid SiC Disc-shaped Shower Head working diagram


Ag an am céanna, tá éifeacht idirleata ag struchtúr an chinn chithfholctha leathsheoltóra diosca, ar féidir leis ráta sreafa an gháis a laghdú go héifeachtach, ionas gur féidir é a idirleathadh go cothrom ag an asraon nozzle, agus tionchar na n -athruithe ar shreabhadh gáis áitiúil a laghdú ar an éifeacht sil -leagain. Cabhraíonn sé le tionchar díreach gáis a sheachaint ar an tsubstráit agus cosc ​​a chur ar fhadhb na sil -leagain mhíchothrom.


Ó pheirspictíocht na n-ábhar, tá an ceann cithfholctha gáis soladach Sic déanta as ábhar SIC soladach atá frithsheasmhach in aghaidh teocht ardteochta, atá frithsheasmhach in aghaidh, agus ard-neart le cobhsaíocht an-ard. Féadann sé oibriú go cobhsaí ar feadh i bhfad i bhfoirnéis CVD agus tá saol fada seirbhíse aige.


Soláthraíonn Vetek Semiconductor seirbhísí saincheaptha ardcháilíochta. Is féidir leagan amach cruth agus poll an chinn chithfholcadáin diosca Sic a choigeartú go solúbtha de réir riachtanais phróisis an chustaiméara chun dul in oiriúint do chineálacha éagsúla gáis, rátaí sreafa agus ábhair sil-leagain. Maidir le méideanna difriúla imoibreoirí nó méideanna foshraithe, is féidir cinn cithfholctha le dioscaí le trastomhais éagsúla agus dáiltí poll a oiriúnú chun an éifeacht dáilte gáis a bharrfheabhsú.


Tá próisis aibí agus ardteicneolaíochtaí ag Vetek Semiconductor do tháirgí soladacha cithfholctha leathsheoltóra SIC, ag cuidiú le líon mór custaiméirí dul chun cinn leanúnach a bhaint amach i bpróisis CVD. Tá Vetek Semiconductor ag súil le bheith i do chomhpháirtí fadtéarmach sa tSín.


Airíonna fisiceacha sic soladach


Airíonna fisiceacha sic soladach
Dlús
3.21
g/cm3

Friotaíocht leictreachais
102
Ω/cm

Neart solúbthachta
590 MPA
(6000kgf/cm2)
Modulus Young
450 GBo
(6000kgf/cm2)
Cruas Vickers
26 Bo
(2650kgf/mm2)
C.T.E. (RT-1000 ℃)
4.0 X10-6/K

Seoltacht theirmeach (RT)
250 W/mk

Sé leathsheoltóraSiopaí táirgthe ceann cithfholctha diosca soladach SIC


Semiconductor EquipmentGraphite epitaxial substrateGraphite ring assemblySemiconductor process equipment



Hot Tags: Ceann cithfholctha soladach sic-chruthach diosca
Seol Fiosrúchán
Eolas teagmhála
Le haghaidh fiosrúcháin maidir le Cumhdach Silicon Carbide, Cumhdach Carbide Tantalum, Graifít Speisialta nó liosta praghsanna, fág do r-phost chugainn agus beimid i dteagmháil linn laistigh de 24 uair an chloig.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept