Imoibreoir LPE Halfmoon sic epi

Imoibreoir LPE Halfmoon sic epiis gléas é atá deartha go sonrach chun ardchaighdeán a tháirgeadhSilicon Carbide (SIC) EpitaxialSraitheanna, áit a dtarlaíonn an próiseas eipiciúil sa seomra imoibriúcháin leath-ghealach LPE, áit a bhfuil an tsubstráit nochta do choinníollacha tromchúiseacha amhail ardteocht agus gáis chreimneacha. Chun saol seirbhíse agus feidhmíocht na gcomhpháirteanna seomra imoibriúcháin a chinntiú, sil -leagan gaile ceimiceach (CVD)Sciath sicúsáidtear de ghnáth. 

Imoibreoir LPE Halfmoon sic epiComhpháirteanna:

Príomhsheomra imoibriúcháin: Tá an príomhsheomra imoibriúcháin déanta as ábhair atá frithsheasmhach in ardteocht ar nós cairbíd sileacain (sic) agusgraifít, a bhfuil friotaíocht creimthe ceimiceach an -ard aige agus friotaíocht ardteochta. Is iondúil go mbíonn an teocht oibriúcháin idir 1,400 ° C agus 1,600 ° C, ar féidir leis tacú le fás criostail charbide sileacain faoi choinníollacha ardteochta. Tá brú oibriúcháin an phríomhsheomra imoibriúcháin idir 10^-3agus 10^-1Is féidir MBAR, agus aonfhoirmeacht an fháis eipiciúil a rialú tríd an mbrú a choigeartú.

Comhpháirteanna téimh: Úsáidtear téitheoirí graifíte nó sileacain (SIC) go ginearálta, ar féidir leo foinse teasa cobhsaí a sholáthar faoi choinníollacha ardteochta.

Is é príomhfheidhm an imoibreora LPE Halfmoon SIC EPI scannáin cairbíde sileacain ardcháilíochta a fhás go héadrom. Go sonrach,Tá sé léirithe sna gnéithe seo a leanas:

Fás ciseal eipiciúil: Tríd an bpróiseas epitaxy céim leachtach, is féidir sraitheanna eipidíteacha an-íseal a fhás ar fhoshraitheanna SIC, le ráta fáis de thart ar 1-10μm/h, ar féidir leis caighdeán an-ard criostail a chinntiú. Ag an am céanna, is iondúil go ndéantar an ráta sreafa gáis sa phríomhsheomra imoibriúcháin a rialú ag 10–100 SCCM (ceintiméadar ciúbach caighdeánach in aghaidh an nóiméid) chun aonfhoirmeacht an chiseal eipiciúil a chinntiú.

Cobhsaíocht ardteochta.

Laghdaigh dlús locht.

Tá Vetek Semiconductor tiomanta do réitigh ardteicneolaíochta agus táirgí a sholáthar don tionscal leathsheoltóra. Ag an am céanna, tacaímid le seirbhísí táirgí saincheaptha.Tá súil againn ó chroí a bheith i do chomhpháirtí fadtéarmach sa tSín.

Sonraí SEM de Struchtúr Crystal Scannán CVD SIC:

Airíonna fisiceacha bunúsacha sciath SIC CVD：

Vetek Semiconductor LPE Halfmoon SIC EPI Siopaí Táirgeadh Imoibreora: