Pláta ceirmeach scagach sic

Is ábhar ceirmeach struchtúr scagach é pláta ceirmeach scagach sic atá déanta asSileacan Cairbídmar an phríomh -chomhpháirt agus in éineacht le próiseas speisialta shintéirithe. Tá a phóirseacht inchoigeartaithe (30%-70%de ghnáth), tá an dáileadh méid pore aonfhoirmeach, tá friotaíocht ardteochta den scoth, cobhsaíocht cheimiceach agus tréscaoilteacht gáis den scoth ann, agus úsáidtear go forleathan é i ndéantúsaíocht leathsheoltóra, i sil-leagan gaile ceimiceach (CVD), i scagadh gáis ardteochta agus i réimsí eile.

Agus le haghaidh tuilleadh eolais faoi phláta ceirmeach scagach Sic, féach ar an mblag seo le do thoil.

Diosca ceirmeach scagach sicAiríonna fisiceacha den scoth

● Friotaíocht ardteochta ard:

Tá leáphointe criadóireachta Sic chomh hard le 2700 ° C, agus is féidir leis cobhsaíocht struchtúrach a choinneáil os cionn 1600 ° C, i bhfad níos mó ná criadóireacht alúmana thraidisiúnta (thart ar 2000 ° C), go háirithe oiriúnach do phróisis ardteochta leathsheoltóra.

● Feidhmíocht bhainistíochta teirmeach den scoth:

✔ Seoltacht ard teirmeach: Is é seoltacht theirmeach SIC dlúth thart ar 120 w/(m · k). Cé go laghdaíonn an struchtúr scagach an seoltacht theirmeach beagán, tá sé i bhfad níos fearr fós ná an chuid is mó de na criadóireachta agus tacaíonn sé le diomailt teasa éifeachtach.

✔ Comhéifeacht leathnaithe teirmeach íseal (4.0 × 10⁻⁶/° C): beagnach gan aon dífhoirmiúchán ag teocht ard, ag seachaint teip feiste de bharr strus teirmeach.

● Cobhsaíocht cheimiceach den scoth

Friotaíocht creimthe aigéid agus alcaile (go háirithe gan íoc i dtimpeallacht HF), friotaíocht ocsaídiúcháin ardteochta, atá oiriúnach do thimpeallachtaí crua amhail eitseáil agus glanadh.

● Airíonna meicniúla gan íoc

✔ Cruas ard (Mohs Hardness 9.2, an dara ceann ach le Diamond), friotaíocht a chaitheamh láidir.

✔ Is féidir le neart lúbthachta 300-400 MPa a bhaint amach, agus cuirtear san áireamh i ndearadh an struchtúir pore neart éadrom agus meicniúil araon.

● Struchtúr scagach feidhmithe

✔ Achar dromchla ard sonrach: feabhas a chur ar éifeachtúlacht idirleathadh gáis, atá oiriúnach mar phláta dáilte gáis imoibriúcháin.

✔ Póirseacht inrialaithe: Feidhmíocht treá sreabhach agus scagachán a bharrfheabhsú, mar shampla foirmiú scannán aonfhoirmeach i bpróiseas CVD.

Ról sonrach i ndéantúsaíocht leathsheoltóra

● Tacaíocht próisis ardteochta agus insliú teasa

Mar phláta tacaíochta sliseog, úsáidtear é i dtrealamh ardteochta (> 1200 ° C) amhail foirnéisí idirleata agus foirnéisí anála chun éilliú miotail a sheachaint.

Tá feidhmeanna inslithe agus tacaíochta ag an struchtúr póiriúil, ag laghdú caillteanas teasa.

● Dáileadh gáis aonfhoirmeach agus rialú imoibriúcháin

I dtrealamh sil -leagan gaile ceimiceach (CVD), mar phláta dáilte gáis, úsáidtear na pores chun gáis imoibríocha a iompar go haonfhoirmeach (mar shampla SIH₄, NH₃) chun aonfhoirmeacht sil -leagan tanaí scannán a fheabhsú.

I eitseáil tirim, déanann an struchtúr póiriúil uasmhéadú ar dháileadh plasma agus feabhsaíonn sé cruinneas eitseáil.

● Croí -chomhpháirteanna Chuck Leictreastatach (ESC)

Baintear úsáid as SIC scagach mar an tsubstráit chuck leictreastatach, a bhaintear amach asú i bhfolús trí mhicropores, a shocraíonn an sliseog go cruinn, agus go bhfuil sé frithsheasmhach in aghaidh bombardú plasma agus go bhfuil saol fada seirbhíse aige.

● Comhpháirteanna atá frithsheasmhach in aghaidh creimthe

Úsáidtear é le haghaidh líneáil cuas trealaimh eitseáil agus glantacháin fliuch, agus cuireann sé creimeadh ar creimeadh ag aigéid láidre (mar shampla H₂so₄, Hno₃) agus alcaile láidir (mar KOH).

● Rialú aonfhoirmeachta réimse teirmeach

I bhfoirnéisí fáis sileacain criostail aonair (mar mhodh Czochralski), mar sciath teasa nó tacaíocht, úsáidtear a chobhsaíocht ard teirmeach chun réimsí aonfhoirmeacha teirmeacha a choinneáil agus lochtanna laitíse a laghdú.

● scagachán agus íonú

Is féidir leis an struchtúr póiriúil ábhair shalaithe cáithníní a thascradh agus úsáidtear é i gcórais seachadta gáis/leachtacha ultra-íon chun glaineacht an phróisis a chinntiú.

Buntáistí thar ábhair thraidisiúnta