Cad is próiseas epitaxy leathsheoltóra ann?

Tá sé oiriúnach ciorcaid chomhtháite nó feistí leathsheoltóra a thógáil ar chiseal bonn criostalach foirfe. AneipeascsaTá sé mar aidhm ag próiseas (epi) i ndéantúsaíocht leathsheoltóra ciseal fíneáil aon-criostalach, de ghnáth thart ar 0.5 go 20 miocrón, a thaisceadh ar fhoshraith aon-criostalach. Is céim thábhachtach é an próiseas epitaxy maidir le feistí leathsheoltóra a mhonarú, go háirithe i ndéantúsaíocht wafer sileacain.

Próiseas epitaxy (epi) i ndéantúsaíocht leathsheoltóra

Forbhreathnú ar Epitaxy i Déantúsaíocht Leathsheoltóra
Cad é	Ceadaíonn an próiseas epitaxy (EPI) i ndéantúsaíocht leathsheoltóra fás ciseal criostalach tanaí i dtreoshuíomh áirithe ar bharr foshraithe criostalach.
Bheith i mbunchuidigh	I ndéantúsaíocht leathsheoltóra, is é sprioc an phróisis epitaxy ná na leictreoin a iompar níos éifeachtaí tríd an bhfeiste. I dtógáil feistí leathsheoltóra, cuirtear sraitheanna epitaxy san áireamh chun an struchtúr a bheachtú agus a dhéanamh aonfhoirmeach.
Próiseáil	Ceadaíonn an próiseas epitaxy fás sraitheanna epitaxial íonachta níos airde ar fhoshraith den ábhar céanna. I roinnt ábhar leathsheoltóra, mar shampla trasraitheoirí bipolar heterojunction (HBTanna) nó trasraitheoirí éifeacht réimse leathsheoltóra ocsaíd miotail (MOSFETanna), úsáidtear an próiseas epitaxy chun ciseal ábhar difriúil ón tsubstráit a fhás. Is é an próiseas epitaxy a fhágann gur féidir ciseal dópáilte ísealdlúis a fhás ar shraith ábhar arddhópáilte.

Forbhreathnú ar Epitaxy i Déantúsaíocht Leathsheoltóra

Cad é an próiseas epitaxy (EPI) i ndéantúsaíocht leathsheoltóra a cheadaíonn fás ciseal criostalach tanaí i dtreoshuíomh áirithe ar bharr foshraithe criostalach.

Sprioc I ndéantúsaíocht leathsheoltóra, is é sprioc an phróisis epitaxy ná na leictreoin a iompar níos éifeachtaí tríd an bhfeiste. I dtógáil feistí leathsheoltóra, cuirtear sraitheanna epitaxy san áireamh chun an struchtúr a bheachtú agus a dhéanamh aonfhoirmeach.

Próiseáil aneipeascsaCeadaíonn an próiseas fás na sraitheanna íonachta níos airde ar fhoshraith den ábhar céanna. I roinnt ábhar leathsheoltóra, mar shampla trasraitheoirí dépholacha heitrea -fheidhm (HBTanna) nó trasraitheoirí éifeacht leathsheoltóra ocsaídí miotail (MOSFETanna), úsáidtear an próiseas epitaxy chun ciseal ábhair atá difriúil ón tsubstráit a fhás. Is é an próiseas epitaxy a fhágann gur féidir ciseal dópáilte dlús íseal a fhás ar shraith d'ábhar an -dópáilte.

Forbhreathnú ar an bpróiseas epitaxy i ndéantúsaíocht leathsheoltóra

Is é an próiseas epitaxy (EPI) i ndéantúsaíocht leathsheoltóra a cheadaíonn fás ciseal criostalach tanaí i dtreoshuíomh áirithe ar bharr foshraithe criostalach.

Sprioc i ndéantúsaíocht leathsheoltóra, is é sprioc an phróisis epitaxy ná na leictreoin a iompar tríd an bhfeiste a dhéanamh níos éifeachtaí. I dtógáil feistí leathsheoltóra, cuirtear sraitheanna epitaxy san áireamh chun an struchtúr a bheachtú agus a dhéanamh aonfhoirmeach.

Ceadaíonn an próiseas epitaxy fás sraitheanna epitaxial íonachta níos airde ar fhoshraith den ábhar céanna. I roinnt ábhar leathsheoltóra, mar shampla trasraitheoirí bipolar heterojunction (HBTanna) nó trasraitheoirí éifeacht réimse leathsheoltóra ocsaíd miotail (MOSFETanna), úsáidtear an próiseas epitaxy chun ciseal ábhar difriúil ón tsubstráit a fhás. Is é an próiseas epitaxy a fhágann gur féidir ciseal dópáilte ísealdlúis a fhás ar shraith ábhar arddhópáilte.

Cineálacha próiseas eipiciúil i ndéantúsaíocht leathsheoltóra

Sa phróiseas epitaxial, déantar treo an fháis a chinneadh ag criostail an tsubstráit bhunúsach. Ag brath ar athrá an taiscthe, is féidir ciseal epitaxial amháin nó níos mó a bheith ann. Is féidir próisis epitaxial a úsáid chun sraitheanna tanaí ábhar a fhoirmiú atá mar an gcéanna nó difriúil i gcomhdhéanamh ceimiceach agus i struchtúr ón bhfoshraith bhunúsach.

Dhá chineál próisis Epi
Tréithe	Hormaipitaxy	Heitreaipitaxy
Sraitheanna Fáis	Is é an ciseal fáis epitaxial an t-ábhar céanna le ciseal an tsubstráit	Is ábhar difriúil é an ciseal fáis epitaxial ó chiseal an tsubstráit
Struchtúr criostail agus laitíse	Tá struchtúr criostail agus tairiseach laitíse an tsubstráit agus ciseal epitaxial mar an gcéanna	Tá an struchtúr criostail agus tairiseach laitíse an tsubstráit agus an chiseal eipiciúil difriúil
Samplaí	Fás epitaxial de sileacain ard-íonachta ar fhoshraith sileacain	Fás epitaxial de arsenide Gailliam ar an tsubstráit sileacain
Feidhmchláir	Struchtúir fheiste leathsheoltóra a éilíonn sraitheanna de leibhéil dópála éagsúla nó scannáin íon ar fhoshraitheanna níos lú íon	Struchtúir feiste leathsheoltóra a éilíonn sraitheanna d'ábhair éagsúla nó a thógann scannáin chriostail d'ábhair nach féidir a fháil mar chriostail shingil

Dhá chineál próiseas EPI

TréitheHeteroepitaxy homoeipeascsa

Sraitheanna Fáis Is é an ciseal fáis epitaxial an t -ábhar céanna leis an gciseal tsubstráit Is ábhar difriúil é an ciseal fáis eipiciúil ón gciseal foshraithe

Struchtúr criostail agus laitíse Tá struchtúr criostail agus tairiseach laitíse an tsubstráit agus an chiseal epitaxial mar an gcéanna Tá struchtúr criostail agus tairiseach laitíse an tsubstráit agus an ciseal epitaxial difriúil

Samplaí Fás Epitaxial ar sileacain ard-íonachta ar fhás eipiciúil foshraithe sileacain ar arsenide gallium ar fhoshraith sileacain

Feidhmchláir Struchtúir feiste leathsheoltóra a éilíonn sraitheanna de leibhéil dhifriúla dópála nó scannáin íona ar fhoshraitheanna nach bhfuil chomh glan sin Struchtúir gléas leathsheoltóra a éilíonn sraitheanna d'ábhair éagsúla nó a thógann scannáin chriostail d'ábhair nach féidir a fháil mar chriostail shingil

Dhá Chineál Próiseas Epi

Saintréithe Homoepitaxy heteroeipeascsa

Ciseal Fáis Is é an ciseal fáis eipiciúil an t -ábhar céanna leis an gciseal foshraithe Is ábhar difriúil é an ciseal fáis eipiciúil ná an ciseal foshraithe

Struchtúr criostail agus laitíse an struchtúr criostail agus tairiseach laitíse an tsubstráit agus an chiseal epitaxial mar an gcéanna tá an struchtúr criostail agus tairiseach laitíse an tsubstráit agus an chiseal epitaxial difriúil

Samplaí Fás Epitaxial ar sileacain ard -íonachta ar fhás eipiciúil foshraithe sileacain ar arsenide gallium ar fhoshraith sileacain

Feidhmchláir Struchtúir gléas leathsheoltóra a éilíonn sraitheanna de leibhéil dhifriúla dópála nó scannáin íona ar fhoshraitheanna nach bhfuil chomh glan sin Struchtúir gléas leathsheoltóra a éilíonn sraitheanna d'ábhair éagsúla nó a thógann scannáin chriostail d'ábhair nach féidir a fháil mar chriostail shingil

Fachtóirí a bhfuil Tionchar acu ar Phróisis Eipiteascópacha sa Déantúsaíocht Leathsheoltach

 

Fachtóirí	Saghas
Teocht	Tionchar aige ar an ráta epitaxy agus dlús ciseal epitaxial. Tá an teocht atá ag teastáil don phróiseas epitaxy níos airde ná teocht an tseomra agus braitheann an luach ar an gcineál epitaxy.
Brú	A théann i bhfeidhm ar an ráta eipidéime agus ar an dlús ciseal eipiciúil.
Lochtanna	Bíonn sliseoga lochtacha mar thoradh ar lochtanna san epitaxy. Ba cheart na coinníollacha fisiceacha a theastaíonn don phróiseas epitaxy a choinneáil le haghaidh fás ciseal epitaxial saor ó locht.
Seasamh inmhianaithe	Ba cheart go bhfásfadh an próiseas epitaxy ar shuíomh ceart an chriostail. Ba cheart na réimsí nach dteastaíonn fás iontu le linn an phróisis a bhratú i gceart chun fás a chosc.
Féindhópáil	Ós rud é go ndéantar an próiseas epitaxy ag teochtaí arda, d'fhéadfadh adaimh dopant athruithe a dhéanamh san ábhar.

Cur síos ar fhachtóirí

Bíonn tionchar ag an teocht ar an ráta eipidíteach agus ar an dlús ciseal eipiciúil. Tá an teocht a theastaíonn don phróiseas epitaxy níos airde ná teocht an tseomra agus braitheann an luach ar an gcineál epitaxy.

Bíonn tionchar ag an mbrú ar an ráta epitaxy agus ar an dlús ciseal eipiciúil.

Bíonn fabhtanna lochtacha mar thoradh ar lochtanna i epitaxy. Ba cheart na coinníollacha fisiciúla a theastaíonn don phróiseas epitaxy a choinneáil le haghaidh fás ciseal eipideach saor ó lochtanna.

Seasamh Inmhianaithe Ba cheart go bhfásfadh an próiseas epitaxy ar shuíomh ceart an chriostail. Ba cheart na réimsí nach dteastaíonn fás iontu le linn an phróisis a bhratú i gceart chun fás a chosc.

Féindhópáil Ós rud é go ndéantar an próiseas epitaxy ag teochtaí arda, d'fhéadfadh go mbeadh adaimh dopant in ann athruithe a dhéanamh san ábhar.

Cur síos fachtóra

Teocht Tionchar aige ar an ráta epitaxy agus ar dhlús na ciseal epitaxial. Tá an teocht atá ag teastáil don phróiseas epitaxial níos airde ná teocht an tseomra, agus braitheann an luach ar an gcineál epitaxy.

Bíonn tionchar ag brú ar an ráta epitaxy agus dlús ciseal epitaxial.

Bíonn fabhtanna lochtacha mar thoradh ar lochtanna i epitaxy. Ba chóir coinníollacha fisiciúla a theastaíonn don phróiseas eipidítí a choinneáil le haghaidh fás ciseal eipidíteach saor ó lochtanna.

An suíomh inmhianaithe ba chóir go bhfásfadh an próiseas epitaxy ar shuíomh ceart an chriostal. Ba chóir go mbeadh na réimsí nach bhfuil fás ag teastáil le linn an phróisis seo brataithe i gceart chun fás a chosc.

Féindhhopáil Ós rud é go ndéantar an próiseas epitaxy ag teochtaí arda, d'fhéadfadh adaimh dopant athruithe a dhéanamh san ábhar.

Dlús agus ráta eipiciúil

Is é dlús an fháis eipiciúil líon na n -adamh in aghaidh an aonaid toirt an ábhair sa chiseal fáis eipiciúil. Bíonn tionchar ag tosca amhail teocht, brú, agus an cineál foshraith leathsheoltóra ar fhás eipiciúil. Go ginearálta, athraíonn dlús an chiseal eipiciúil leis na fachtóirí thuas. Tugtar an ráta epitaxy ar an luas ag a bhfásann an ciseal eipiciúil.

Má fhástar an epitaxy sa suíomh agus sa treoshuíomh cuí, beidh an ráta fáis ard agus vice versa. Cosúil leis an dlús ciseal epitaxial, braitheann an ráta epitaxy freisin ar fhachtóirí fisiceacha cosúil le teocht, brú, agus cineál ábhar an tsubstráit.

Méadaíonn an ráta eipiciúil ag teochtaí arda agus brúnna ísle. Braitheann an ráta epitaxy freisin ar threoshuíomh struchtúr an tsubstráit, ar thiúchan na n -imoibreoirí, agus ar an teicníc fáis a úsáidtear.

Modhanna próisis eipidéime

Tá roinnt modhanna epitaxy ann:eipeascsa céim leachtach （LPE）, epitaxy chéim gal hibrideach, epitaxy pas soladach,sil -leagan ciseal adamhach, sil -leagan gaile ceimiceach, eipeascsa bhíoma mhóilíneach, etc. Déanaimis dhá phróiseas epitaxy a chur i gcomparáid: CVD agus MBE.

Sil-leagan ceimiceach gaile (CVD) Eipiteacs léasa mhóilíneach (MBE)

Próiseas Ceimiceach Próiseas Fisiciúil

Is éard atá i gceist le himoibriú ceimiceach a tharlaíonn nuair a chomhlíonann réamhtheachtaí gáis foshraith théite i seomra fáis nó imoibreoir Déantar an t -ábhar atá le taisceadh a théamh faoi choinníollacha i bhfolús

Rialú beacht ar an bpróiseas fáis scannáin rialú beacht ar thiús agus ar chomhdhéanamh an chiseal fhásta

Le haghaidh feidhmchláir a éilíonn sraitheanna epitaxial ardcháilíochta Le haghaidh feidhmchláir a dteastaíonn sraitheanna epitaxial thar a bheith mín

Modh is coitianta a úsáidtear Modh níos costasaí

sil-leagan ceimiceach gaile (CVD)	Epitaxy léasa mhóilíneach (MBE)
Próiseas ceimiceach	Próiseas fisiciúil
Is éard atá i gceist le himoibriú ceimiceach a tharlaíonn nuair a chomhlíonann réamhtheachtaí gáis foshraith théite i seomra fáis nó in imoibreoir	Déantar an t -ábhar atá le taisceadh a théamh faoi choinníollacha i bhfolús
Rialú beacht ar an bpróiseas fáis scannáin tanaí	Rialú beacht ar thiús agus ar chomhdhéanamh an chiseal fhásta
A úsáidtear in iarratais a dteastaíonn sraitheanna epitaxial ardcháilíochta uathu	A úsáidtear in iarratais a éilíonn sraitheanna epitaxial an -mhín
Modh is coitianta a úsáidtear	Modh níos costasaí

Sil -leagan gaile ceimiceach (CVD) Epitaxy bhíoma móilíneach (MBE)

Próiseas ceimiceach Próiseas fisiceach

Tá imoibriú ceimiceach i gceist leis a tharlaíonn nuair a bhuaileann réamhtheachtaithe gáis le foshraith téite i seomra fáis nó imoibreoir Déantar an t-ábhar atá le taisceadh a théamh faoi choinníollacha folúis

Rialú beacht ar an bpróiseas fáis scannán tanaí rialú beacht ar thiús agus ar chomhdhéanamh an chiseal fhásta

Úsáidte in iarratais a éilíonn sraitheanna epitaxial ardcháilíochta a úsáidtear in iarratais a éilíonn sraitheanna an-fhíor-mhín

Modh is costasaí an modh is coitianta a úsáidtear

Tá an próiseas epitaxy ríthábhachtach i ndéantúsaíocht leathsheoltóra; Baineann sé le feidhmíocht na

feistí leathsheoltóra agus ciorcaid iomlánaithe. Tá sé ar cheann de na príomhphróisis i ndéantúsaíocht gléas leathsheoltóra a dhéanann difear do cháilíocht gléas, tréithe agus feidhmíocht leictreach.