Clog Jar Grianchloch grád leathsheoltóra

Tá Jar Grianchloch grád leathsheoltóra déanta as ábhar grianchloch ard -íonachta. Tá cobhsaíocht theirmeach den scoth aige agus friotaíocht láidir creimthe, agus úsáidtear é i go leor réimsí. Sa Tionscal Leathsheoltóra: Soláthraíonn Jar Grianchloch Grád leathsheoltóra timpeallacht rialaithe le haghaidh sil -leagan tanaí scannáin ar shliocht le linn sil -leagan gaile ceimiceach (CVD). Úsáidtear Jar clog clog leathsheoltóra grád freisin i bpróisis a dteastaíonn teicneolaíocht fholúis uathu, amhail táirgeadh bratuithe optúla, bratuithe miotail, agus cineálacha eile ábhar scannán tanaí. Tá gá le próca clog clog leathsheoltóra grád i go leor turgnaimh eolaíochta fisiciúla agus ábhair a dteastaíonn timpeallacht ard-íonachta, fholúis-séalaithe uathu.

Cásanna úsáide tionscail leathsheoltóra:

Is ábhar sileacain é polysilicon comhdhéanta de go leor gráin bheaga, a úsáidtear go forleathan i gciorcaid chomhtháite, cealla gréine agus réimsí eile. Tá sil-leagan ceimiceach gaile (CVD) ar cheann de na príomh-mhodhanna chun sileacain ilchriostalach a ullmhú. Is é an bunphrionsabal ná go ndéantar an foinse gáis sileacain, mar shampla SiH4, a dhianscaoileadh ag teocht ard agus a thaisceadh ar an tsubstráit chun sileacain ilchriostalach a fhoirmiú:

Sihcl3 + H2 ⇒ Si + 3HCl

Faoi choinníollacha teochta ard agus folúis, cuireadh an gás foinse sileacain isteach sa taisceadh gaile ceimiceach. Tá sileacain polycrystalline obtained.The Leathsheoltóra Grád Grianchloch Bell Jar Is cuid thábhachtach den imoibreoir CVD sileacain polycrystalline.

Imoibreoir CVD sileacain polycrystalline

Faoi imoibriú teocht ard CVD, is féidir le Leathsheoltóir Grád Grianchloch Bell Jar timpeallacht theirmeach aonfhoirmeach a sholáthar. Cuireann friotaíocht teocht ard ábhar Grianchloch Ardíonachta (is féidir leis teocht suas le thart ar 1100 ° C a sheasamh) oibriú go cobhsaí i bhfrithghníomhartha CVD agus dáileadh teocht aonfhoirmeach a chinntiú sa limistéar imoibrithe. Sa phróiseas CVD, tá go leor comhpháirteanna gáis tocsaineacha, mar shampla PH3, etc. Is féidir le Leathsheoltóra Grád Grianchloch Bell Jar na gáis cheimiceacha sa seomra imoibrithe a leithlisiú go héifeachtach ón timpeallacht sheachtrach chun sceitheadh ​​gáis díobhálach a chosc. Cuireann friotaíocht creimeadh ábhar Grianchloch Ardíonachta ar chumas ábhair eile oibriú go cobhsaí ar feadh i bhfad le linn an phróisis CVD agus ní furasta é a chreimeadh nó a mhilleadh.

Úsáidtear an próca clog Grianchloch i gcomhar leis an bhfeadán caomhnaithe teasa Grianchloch agus an bád Grianchloch ingearach, agus úsáidtear é den chuid is mó i bpróiseas epitaxial de tháirgeadh sliseanna ciorcad comhtháite leathsheoltóra. Glacann an foirnéise epitaxial struchtúr ingearach go ginearálta, agus tá an próca clog Grianchloch ar an taobh amuigh den bhád Grianchloch ingearach agus an feadán caomhnaithe teasa Grianchloch mar thacaíocht.

Feidhmchlár tipiciúil eile de Phróca Cloigín Grianchloch Grád Leathsheoltóra i dtimpeallacht ardteochta: Baisc de chodanna ortadóntacha a théamh go 704 ℃ laistigh de 1 soicind in atmaisféar támh le haghaidh prásála:

Tá foireann theicniúil aibí ag Vetek Semiconductor. Is cuma cén cruth nó ábhar a bhaineann le próca clog íonachta ard íonachta a theastaíonn uait, is féidir linn é a chur in oiriúint duitse.

Siopaí Táirgí Semiconductor Vetek: