Cén trealamh tomhais atá sa mhonarcha fab? - Semiconductor Vetek

Tá go leor cineálacha trealaimh tomhais sa mhonarcha fab. Seo a leanas roinnt trealaimh choitianta:

Trealamh Próisis Photolithogragrafaíochta

..: mar shampla córas tomhais ailínithe ASML, ar féidir leis a chinntiú go mbeidh patrúin chiseal éagsúil ag a chinntiú.

• Ionstraim Tomhais Tiús Tiús Photoresist: Lena n -áirítear ellipsometers, etc., a ríomhtar tiús an fhótarachta bunaithe ar thréithe polaraithe an tsolais.

• Trealamh braite ADIT agus AEI.

Trealamh tomhais próisis eitseáil

• Trealamh tomhais doimhneachta a eitseáil: cosúil le interferometer solais bán, ar féidir leis na hathruithe beaga i ndoimhneacht eitseáil a thomhas go cruinn.

• Ionstraim tomhais próifíle eitseáil.

• CD-SEM: is féidir leis méid na microstruchtúir amhail trasraitheoirí a thomhas go cruinn.

Trealamh Tomhais Próiseas Taiscthe Scannán tanaí

• Ionstraimí Tomhais Tiús Tiúis Scannán.

• Trealamh tomhais struis scannáin: Tríd an strus a ghineann an scannán ar dhromchla an tsleasa a thomhas, déantar cáilíocht an scannáin agus a thionchar féideartha ar fheidhmíocht an tsleasa a mheas.

Próiseas dópála Trealamh tomhais

• Trealamh tomhais dáileoige ionchlannaithe ian.

• Trealamh tiúchana agus tomhais dáilte dópála: Mar shampla, is féidir le mais -speictriméadair ian tánaisteach (SIMS) agus le tóireadóirí friotaíochta scaipthe (SRP) tiúchan agus dáileadh na n -eilimintí dópála sa sliseog a thomhas.

Próiseas CMP Trealamh tomhais

• Trealamh tomhais tomhais iar-pholasaithe: Bain úsáid as próifíliméadair optúla agus trealamh eile chun cothromaíocht dhromchla an tsliocht a thomhas tar éis na snasaithe.

• Trealamh Tomhais Tomhais Bainte Snasta: Socraigh an méid ábhair a bhaintear le linn snasaithe trí dhoimhneacht nó athrú tiús marc a thomhas ar dhromchla an tsleasa roimh agus tar éis snasú.

Trealamh braite cáithníní wafer

• KLA SP 1/2/3/5/7 agus trealamh eile: is féidir éilliú na gcáithníní a bhrath go héifeachtach ar dhromchla an tsleasa.

• Sraith tornado.

• Trealamh Cigireachta Amhairc Chliste ALFA-X: Tríd an gcóras rialaithe íomhá CCD-AI, bain úsáid as díláithriú agus teicneolaíocht braite amhairc chun íomhánna sliseog a idirdhealú agus lochtanna amhail cáithníní ar dhromchla an tsliocht a bhrath.

Trealamh tomhais eile

• Micreascóp optúil: a úsáidtear chun an microstruchtúr agus na lochtanna a bhreathnú ar dhromchla na sliseog.

• Micreascóp leictreon a scanadh (SEM).

• Micreascóp Fórsa Adamhach (AFM): is féidir leis faisnéis a thomhas mar gharbhacht dhromchla an tsleasa.

• Ellipsometer: Chomh maith le tiús an fhótagrafaíochta a thomhas, is féidir é a úsáid freisin chun paraiméadair a thomhas mar thiús agus innéacs athraonta de scannáin tanaí.

• Tástálaí ceithre-probe: a úsáidtear chun paraiméadair feidhmíochta leictreacha a thomhas mar fhriotaíocht an sliseog.

• Diffractometer X-ghathaithe (XRD): is féidir anailís a dhéanamh ar struchtúr criostail agus ar staid struis na n -ábhar sliseog.

• Speictriméadar Photoelectron X-ghathaithe (XPS): a úsáidtear chun anailís a dhéanamh ar chomhdhéanamh eiliminteach agus ar staid cheimiceach an dromchla sliseog.

• Micreascóp bíoma ian fócasaithe (FIB): Is féidir leis próiseáil agus anailís micrea-nana a dhéanamh ar shliocht.

• Trealamh macra ADI: mar Chiorcal Machine, a úsáidtear chun macra a bhrath ar lochtanna patrún tar éis liteagrafaíochta.

• Trealamh braite fabht masc: lochtanna ar an masc a bhrath chun cruinneas an phatrúin liteagrafaíochta a chinntiú.

• Micreascóp leictreon tarchurtha (TEM): is féidir leis an microstruchtúr agus na lochtanna a bhreathnú taobh istigh den sliseog.

• Braiteoir sliseog tomhais teochta gan sreang: Oiriúnach do threalamh próisis éagsúla, cruinneas teochta agus aonfhoirmeacht a thomhas.