Undertaker Graifít Epi Aonair Epi

Cur síos ：

Cuimsíonn Sonraí Graifít Epi Aonair sraith de thráidire graifíte, fáinne graifíte agus gabhálais eile, ag baint úsáide as foshraith graifíte ard -íonachta + sil -leagan gaile struchtúr ilchodach carbide sileacain, ag cur san áireamh cobhsaíocht ardteochta, táimhe cheimiceach agus aonfhoirmeacht allamuigh teirmeach. Is é an croí-chomhpháirt den bhileog eipidíteach ardchruinnithe i mais-tháirgeadh.

Nuálaíocht Ábhar: Graifít +SIC sciath

Graifít

● Seoltacht teirmeach ard-ard (> 130 w/m · k), freagairt thapa ar riachtanais rialaithe teochta, chun cobhsaíocht an phróisis a chinntiú.

● Comhéifeacht leathnaithe teirmeach íseal (CTE: 4.6 × 10⁻⁶/° C), laghdaigh dífhoirmiú ardteochta, síneadh leis an saol seirbhíse.

Sciath sic cvd

● Friotaíocht creimthe. Cuir in aghaidh ionsaí ag gáis imoibriúcháin amhail H₂, HCl, agus Sih₄. Seachnaíonn sé éilliú an chiseal eipiciúil trí volatilization an bhunábhair.

● Dlúthú dromchla: Tá an phóirseacht sciath níos lú ná 0.1%, rud a choisceann an teagmháil idir graifít agus sliseog agus a choisceann idirleathadh na n -eisíontas carbóin.

● Lamháltas ardteochta.

Dearadh Optamaithe Réimse Teirmeach agus Air -Sreabhadh Aeir

Struchtúr radaíochta teirmeach aonfhoirmeach

Tá an dromchla so-ghabhálaí deartha le hilchineálacha machnaimh theirmigh, agus baineann córas rialaithe allamuigh teirmeach an fheiste ASM aonfhoirmeacht teochta amach laistigh de ± 1.5 ° C (sliseog 6-orlach, sliseog 8-orlach), ag cinntiú go bhfuil comhsheasmhacht agus aonfhoirmeacht tiús ciseal epitaxial (luaitheacht <3%).

Teicníc stiúrtha aeir

Tá poill atreoraithe imeall agus colúin tacaíochta claonta deartha chun dáileadh sreafa laminar an gháis imoibriúcháin ar dhromchla an tsleasa a bharrfheabhsú, an difríocht i ráta sil -leagain de bharr sruthanna eddy a laghdú, agus aonfhoirmeacht dópála a fheabhsú.