Nuacht

Míníonn an t-alt an grádán teochta i bhfoirnéis aon chriostal. Clúdaíonn sé na réimsí teasa statacha agus dinimiciúla le linn fás criostail, an comhéadan soladach-leacht, agus ról an ghrádáin teochta i gclaonadh.

Téann an próiseas Taiko i gcion ar sliseoga sileacain ag baint úsáide as a phrionsabail, a bhuntáistí teicniúla agus a bhunús próisis.

Foirnéis Epitaxial SIC 8-orlach agus Taighde ar Phróiseas Homoepitaxial

Déanann an t-alt anailís ar airíonna ábhartha na sliseog substráit leathsheoltóra ar nós sileacain, GaAs, SiC agus GaN

Déanann an t-airteagal seo cur síos den chuid is mó ar theicneolaíocht eipidéimeach íseal-teochta atá bunaithe ar an GAN, lena n-áirítear struchtúr criostail na n-ábhar atá bunaithe ar an GAN, 3. riachtanais teicneolaíochta agus réitigh fhorfheidhmithe, na buntáistí a bhaineann le teicneolaíocht eipidéimeach ísealteochta bunaithe ar phrionsabail PVD, agus na hionchais forbartha a bhaineann le teicneolaíocht eipiciúil ísealteocht.

Tugann an t -airteagal seo isteach struchtúr móilíneach agus airíonna fisiceacha TAC ar dtús, agus díríonn sé ar dhifríochtaí agus ar fheidhmeanna na gcarbide tantalum agus na gclónna tantalum CVD, chomh maith le táirgí sciath TAC Vetek Semiconductor.