Nuacht

I bpróisis leathsheoltóra ardteochta, bíonn láimhseáil, tacú agus cóireáil theirmeach na sliseog ag brath ar chomhpháirt tacaíochta speisialta—an bád sliseog. De réir mar a thagann ardú ar theocht an phróisis agus go n-ardóidh glaineacht agus ceanglais rialaithe na gcáithníní, nochtann báid sliseog Grianchloch traidisiúnta de réir a chéile saincheisteanna mar shaol seirbhíse gearr, rátaí arda dífhoirmithe, agus droch-fhriotaíocht creimeadh.

Maidir le foshraitheanna chomhdhúile sileacain a tháirgeadh ar scála tionsclaíoch, ní hé an rath a bhí ar reáchtáil fáis amháin an sprioc deiridh. Is é an fíordhúshlán ná a chinntiú go gcoimeádann criostail a fhástar thar bhaisceanna, uirlisí agus tréimhsí ama éagsúla leibhéal ard comhsheasmhachta agus in-atriallachta i gcáilíocht. Sa chomhthéacs seo, téann ról an bhrataithe cairbíde tantalam (TaC) níos faide ná an chosaint bhunúsach – bíonn sé ina phríomhfhachtóir chun an fhuinneog próisis a chobhsú agus chun táirgeacht an táirge a chosaint.

Baineann fás PVT chomhdhúile sileacain (SiC) le timthriall teirmeach mór (teocht an tseomra os cionn 2200 ℃). Is é an strus ollmhór teirmeach a ghintear idir an sciath agus an tsubstráit graifíte mar gheall ar an neamhréir i gcomhéifeachtaí leathnaithe teirmeach (CTE) an príomhdhúshlán a chinneann saolré an bhrataithe agus iontaofacht iarratais.

Sa phróiseas fáis criostail PVT chomhdhúile sileacain (SiC), socraíonn cobhsaíocht agus aonfhoirmeacht an réimse teirmeach go díreach an ráta fáis criostail, dlús lochtanna agus aonfhoirmeacht ábhair. Mar theorainn an chórais, taispeánann comhpháirteanna teirmeach-réimse airíonna teirmeachfhisiceacha dromchla a bhfuil a luaineachtaí beaga méadaithe go mór faoi choinníollacha ardteochta, rud a fhágann go dtiocfaidh éagobhsaíocht ar an gcomhéadan fáis ar deireadh.

Agus criostail chomhdhúile sileacain (SiC) á bhfás tríd an modh Iompar Gaile Fisiciúil (PVT), is “claíomh dúbailte-imeall” í an mhórtheocht ard 2000–2500 °C – cé go dtiomáineann sé sublimation agus iompar bunábhar, cuireann sé go mór le scaoileadh eisíontais ó gach ábhar laistigh den chóras réimse teirmeach, go háirithe comhpháirteanna riandúile. Chomh luath agus a théann na neamhíonachtaí seo isteach sa chomhéadan fáis, déanfaidh siad damáiste díreach do chroí-chaighdeán an chriostail. Is é seo an chúis bhunúsach a bhfuil bratuithe chomhdhúile tantalam (TaC) tar éis éirí mar “rogha éigeantach” seachas mar “rogha roghnach” maidir le fás criostail PVT.

Ag Veteksemicon, déanaimid na dúshláin seo a láimhseáil go laethúil, ag díriú go speisialta ar ardcheirmeacht Ocsaíd Alúmanam a athrú go réitigh a chomhlíonann sonraíochtaí cruinne. Tá sé ríthábhachtach na modhanna ceart meaisínithe agus próiseála a thuiscint, toisc go bhféadfadh dramhaíl costasach agus teip comhpháirteanna a bheith mar thoradh ar an gcur chuige mícheart. Déanaimis iniúchadh ar na teicnící gairmiúla a fhágann gur féidir é seo a dhéanamh.