Nuacht

Tá ról ríthábhachtach ag foirnéisí fáis chriostal Silicon (SIC) maidir le sliseoga SIC ardfheidhmíochta a tháirgeadh le haghaidh feistí leathsheoltóra eile. Mar sin féin, tá dúshláin shuntasacha ag baint leis an bpróiseas chun criostail SIC ardchaighdeáin a fhás. Ó bhainistiú grádáin theirmeacha an -mhór chun lochtanna criostail a laghdú, fás aonfhoirmeach a chinntiú, agus costais táirgthe a rialú, éilíonn gach céim réitigh ard -innealtóireachta. Déanfaidh an t -alt seo anailís ar na dúshláin theicniúla a bhaineann le foirnéisí fáis criostail SIC ó pheirspictíochtaí éagsúla.

Is próiseas monaraíochta leathsheoltóra ardleibhéil é Smart Cut bunaithe ar ionchlannú ian agus stiallacha sliseog, atá deartha go sonrach chun sliseoga ultra-tanaí agus an-aonfhoirmeacha 3C-SiC (ciúbach cairbíde ciúbach) a tháirgeadh. Is féidir leis ábhair chriostal ultra-tanaí a aistriú ó fhoshraith amháin go foshraith eile, rud a fhágann go bhfuil na teorainneacha fisiciúla bunaidh agus an tionscal foshraithe iomlán á athrú.

Agus foshraitheanna carbide sileacain ardcháilíochta agus ard-toraidh á n-ullmhú, éilíonn an croí rialú beacht ar theocht táirgthe trí ábhair allamuigh teirmeacha maithe. Faoi láthair, is comhpháirteanna struchtúracha graifíte ard-íonachta iad na trealamh breogán teirmeach a úsáidtear go príomha, a bhfuil a gcuid feidhmeanna chun púdar carbóin leáite agus púdar sileacain a théamh chomh maith le teas a choinneáil.

Nuair a fheiceann tú na leathsheoltóirí tríú glúin, is cinnte go mbeidh ionadh ort cad iad na chéad agus an dara glúin. Rangaítear an "giniúint" anseo bunaithe ar na hábhair a úsáidtear i ndéantúsaíocht leathsheoltóra.

Is daingneán é an Chuck Leictreastatach (ESC), ar a dtugtar an Chuck Leictreastatach (ESC, E-Chuck) freisin, a úsáideann prionsabal an asaithe leictreastatach chun an t-ábhar asaithe a shealbhú agus a shocrú. Tá sé oiriúnach do thimpeallachtaí folúis agus plasma.

Iompróirí sliseog SIC, mar phríomh-thomhaltóirí i slabhra tionscail leathsheoltóra an tríú glúin, bíonn tionchar díreach ag a saintréithe teicniúla ar thoradh an fháis eipiciúil agus an déantúsaíochta feiste. Agus an t-éileamh mór ar ghléasanna ardvoltais agus ardteochta i dtionscail ar nós stáisiúin bhunaidh 5G agus feithiclí fuinnimh nua, tá deiseanna forbartha suntasacha ag taighde agus cur i bhfeidhm iompróirí sliseog SIC anois.