Nuacht

Tá pláta ceirmeach scagach Sic ar cheann de na bunábhair i réimse na déantúsaíochta leathsheoltóra. Leis an struchtúr uathúil agus a n -airíonna fisiceacha den scoth, tá diosca ceirmeach scagach Sic ina chomhpháirt lárnach nach féidir a athsholáthar i dtimpeallachtaí ardteochta agus creimneach. San Airteagal seo, déanfaimid anailís dhomhain ar a chuid airíonna fisiceacha, ar na cásanna iarratais agus ar a gcuid buntáistí roghnóireachta.

Is príomh-chomhpháirt ualach ualach é Bád Grianchloch a úsáidtear sa phróiseas monaraithe leathsheoltóra. Úsáidtear é go príomha le haghaidh próiseáil ardteochta sliseoga, amhail idirleathadh, ocsaídiú agus anáil. Mar gheall ar a chobhsaíocht theirmeach den scoth, a thréithe truaillithe íseal agus a fhriotaíocht creimthe, is ábhar fíor -riachtanach é sa tionscal leathsheoltóra. Déanfaidh an t -alt seo cur síos ar an ábhar, ar airíonna fisiceacha, ar aicmiú, ar chásanna feidhmithe bád Grianchloch agus a dhifríochtaí ó PECVD Graphite Boat.

Is é an croí-ábhar de bhád graifíte Pecvd ná ábhar graifít iseatópach ard-íonachta (is iondúil go mbíonn íonacht ≥99.999%), a bhfuil seoltacht leictreach den scoth, seoltacht theirmeach agus dlús aige. I gcomparáid le gnáthbháid graifíte, tá go leor buntáistí maoine fisiceacha agus ceimiceacha ag báid graifíte PECVD agus úsáidtear iad go príomha sna tionscail leathsheoltóra agus fótavoltacha, go háirithe i bpróisis PECVD agus CVD.

Tá ról tábhachtach ag tráidirí graifíte MOCVD sa phróiseas eipiciúil. Déanann an t -alt seo anailís mhionsonraithe ar roghnú tráidirí graifít MOCVD ó pheirspictíochtaí na n -airíonna ábhartha agus na gcásanna feidhmithe.