Nuacht

Is iad sliseoga sileacain bunús ciorcaid chomhtháite agus feistí leathsheoltóra. Tá gné spéisiúil acu - imill árasán nó grooves bídeacha ar na taobhanna .Ní locht é, ach marcóir feidhmiúil atá deartha d'aon ghnó.Go deimhin, feidhmíonn an notch seo mar thagairt treorach agus mar mharcóir aitheantais ar fud an phróisis déantúsaíochta ar fad.

Baineann snasú meicniúil ceimiceach (CMP) amach barrachas ábhair agus lochtanna dromchla trí chomhghníomhú imoibrithe ceimiceacha agus scríobadh meicniúil. Is príomhphróiseas é chun pleanáil dhomhanda a bhaint amach ar an dromchla sliseog agus tá sé fíor-riachtanach le haghaidh idirnaisc copair ilchiseal agus struchtúir thréleictreach íseal-k. I ndéantúsaíocht phraiticiúil

In 2025, tiocfaidh tionscal leathsheoltóra na hEorpa le chéile arís ag an aonach trádála leathsheoltóra is mó SEMICON Europa i München ón 18-21 Samhain.

Is cuid ríthábhachtach den phróiseas déantúsaíochta leathsheoltóra é sciodar snasta wafer sileacain CMP (Pleanáil Meicniúil Ceimiceach). Tá ról lárnach aige lena chinntiú go ndéantar sliseoga sileacain - a úsáidtear chun ciorcaid chomhtháite (ICanna) agus micrishliseanna a chruthú - a snasú go dtí an leibhéal cruinn réidh atá ag teastáil do na chéad chéimeanna eile den táirgeadh.

I ndéantúsaíocht leathsheoltóra, tá ról ríthábhachtach ag Pleanáil Mheicniúil Cheimiceach (CMP). Comhcheanglaíonn an próiseas CMP gníomhaíochtaí ceimiceacha agus meicniúla chun dromchla na sliseog sileacain a rianúil, ag soláthar bonn aonfhoirmeach do chéimeanna ina dhiaidh sin amhail sil-scannán tanaí agus eitseáil. Bíonn tionchar suntasach ag sciodar snasta CMP, mar chroí-chomhpháirt an phróisis seo, ar éifeachtúlacht snasta, ar cháilíocht an dromchla, agus ar fheidhmíocht deiridh an táirge

Is ábhar leachtach sainfhoirmithe é sciodar snasta Wafer CMP a úsáidtear i bpróiseas CMP déantúsaíochta leathsheoltóra. Tá sé comhdhéanta d'uisce, eitseálacha ceimiceacha, scríobaigh, agus dromchlaghníomhaithe, rud a chumasaíonn eitseáil cheimiceach agus snasta meicniúil araon.

Is gnách go dtáirgtear scríobaigh chomhdhúile sileacain ag baint úsáide as cóc Grianchloch agus peitriliam mar phríomh-amhábhair. Sa chéim ullmhúcháin, déantar próiseáil mheicniúil ar na hábhair seo chun an méid cáithníní atá ag teastáil a bhaint amach sula ndéantar iad a chomhréiteach go ceimiceach i muirear foirnéise.

Le blianta beaga anuas, tá lárchéim na teicneolaíochta pacáistithe géillte de réir a chéile le "seantheicneolaíocht" - CMP (Snasú Meicniúla Ceimiceach). Nuair a bheidh an nascáil hibrideach ar thús cadhnaíochta ag an nglúin nua d’ardphacáistiú, tá CMP ag bogadh de réir a chéile ón taobh thiar de na radhairc go dtí an spotsolas.

I saol na bhfearas tí agus cistine atá ag forbairt de shíor, tá aird shuntasach tarraingthe ag táirge amháin le déanaí ar a nuálaíocht agus a fheidhmiú praiticiúil - an Buicéad Thermos Grianchloch.

Úsáidtear táirgí Grianchloch go forleathan sa phróiseas monaraithe leathsheoltóra mar gheall ar a n-ard-íonacht, a bhfriotaíocht ardteochta, agus a gcobhsaíocht cheimiceach láidir.

Tá ról ríthábhachtach ag foirnéisí fáis chriostal Silicon (SIC) maidir le sliseoga SIC ardfheidhmíochta a tháirgeadh le haghaidh feistí leathsheoltóra eile. Mar sin féin, tá dúshláin shuntasacha ag baint leis an bpróiseas chun criostail SIC ardchaighdeáin a fhás. Ó bhainistiú grádáin theirmeacha an -mhór chun lochtanna criostail a laghdú, fás aonfhoirmeach a chinntiú, agus costais táirgthe a rialú, éilíonn gach céim réitigh ard -innealtóireachta. Déanfaidh an t -alt seo anailís ar na dúshláin theicniúla a bhaineann le foirnéisí fáis criostail SIC ó pheirspictíochtaí éagsúla.

Is próiseas monaraíochta leathsheoltóra ardleibhéil é Smart Cut bunaithe ar ionchlannú ian agus stiallacha sliseog, atá deartha go sonrach chun sliseoga ultra-tanaí agus an-aonfhoirmeacha 3C-SiC (ciúbach cairbíde ciúbach) a tháirgeadh. Is féidir leis ábhair chriostal ultra-tanaí a aistriú ó fhoshraith amháin go foshraith eile, rud a fhágann go bhfuil na teorainneacha fisiciúla bunaidh agus an tionscal foshraithe iomlán á athrú.

Agus foshraitheanna carbide sileacain ardcháilíochta agus ard-toraidh á n-ullmhú, éilíonn an croí rialú beacht ar theocht táirgthe trí ábhair allamuigh teirmeacha maithe. Faoi láthair, is comhpháirteanna struchtúracha graifíte ard-íonachta iad na trealamh breogán teirmeach a úsáidtear go príomha, a bhfuil a gcuid feidhmeanna chun púdar carbóin leáite agus púdar sileacain a théamh chomh maith le teas a choinneáil.

Nuair a fheiceann tú na leathsheoltóirí tríú glúin, is cinnte go mbeidh ionadh ort cad iad na chéad agus an dara glúin. Rangaítear an "giniúint" anseo bunaithe ar na hábhair a úsáidtear i ndéantúsaíocht leathsheoltóra.

Is daingneán é an Chuck Leictreastatach (ESC), ar a dtugtar an Chuck Leictreastatach (ESC, E-Chuck) freisin, a úsáideann prionsabal an asaithe leictreastatach chun an t-ábhar asaithe a shealbhú agus a shocrú. Tá sé oiriúnach do thimpeallachtaí folúis agus plasma.

Iompróirí sliseog SIC, mar phríomh-thomhaltóirí i slabhra tionscail leathsheoltóra an tríú glúin, bíonn tionchar díreach ag a saintréithe teicniúla ar thoradh an fháis eipiciúil agus an déantúsaíochta feiste. Agus an t-éileamh mór ar ghléasanna ardvoltais agus ardteochta i dtionscail ar nós stáisiúin bhunaidh 5G agus feithiclí fuinnimh nua, tá deiseanna forbartha suntasacha ag taighde agus cur i bhfeidhm iompróirí sliseog SIC anois.