Fáinne imeall sic

I réimse na déantúsaíochta leathsheoltóra, tá fáinní SIC Edge, mar phríomh -chomhpháirteanna de threalamh próiseála sliseog, ag athrú an tírdhreacha tionsclaíche lena n -airíonna ábhartha. Ní hamháin go bhfuil luach na comhpháirte beachta seo a dhéantar as criostail aonair cairbíde sileacain, ní hamháin ina ábhar ardteicneolaíochta, ach freisin maidir leis an bhfeabhas suntasach ar thoradh agus ar bharrfheabhsú na gcostas oibriúcháin is féidir leis a thabhairt do mhonaróirí sliseanna.

Saintréithe Struchtúracha Fáinne Sic Sic

Is príomh-chomhpháirteanna inchaite iad fáinní imeall cairbíde sileacain i dtrealamh eitseáilte leathsheoltóra agus déantar iad as ábhair charbide sileacain ard-íonachta a ullmhaíonn an modh sil-leagain cheimiceach (CVD). Is iondúil gurb é trastomhas a struchtúir annular 200-450mm, agus déantar an tiús a rialú laistigh de 5-15mm, ina bhfuil na tréithe seo a leanas:

1. Lamháltas: Is féidir le timpeallacht ardteochta de 1500 ℃ a sheasamh

2. Cobhsaíocht plasma: tairiseach tréleictreach 9.7, miondealú voltas 3mv/cm

3. Cruinneas geoiméadrach: Earráid na gCruinneas ≤0.05mm, garbh dromchla ra <0.2μm

Briseadh sa phróiseas monaraíochta

Glacann an próiseas ullmhúcháin nua-aimseartha modh trí chéim:

1. Maitrís a fhoirmiú: Cinntíonn foirmiú brú isostatic dlús aonfhoirmeach

Sintéiriú ardteochta: Cóireáil dlúithe in atmaisféar támh ag 2100 ℃

3. Modhnú dromchla: Déantar sraitheanna cosanta nanascála a fhoirmiú trí eitseáil ian imoibríoch (RIE). Léiríonn an taighde is déanaí go méadaítear saol seirbhíse fáinní sileacain ciumhais ciumhais sileacain le 3% borón faoi 40%, agus laghdaítear an ráta éillithe sliseog go dtí an leibhéal 0.01ppm

Cásanna iarratais

Taispeánann sé neamh -inmharthanacht i bpróisis faoi bhun 5nm:

2. Aonfhoirmeacht eitseáil: Is féidir leis diall ráta eitseáil de ± 1.5% a choinneáil ar imeall an tsleasa

3. Rialú truaillithe: Laghdaíonn sé truailliú miotail faoi 92% i gcomparáid le hábhair thraidisiúnta Grianchloch

4. Timthriall Cothabhála: Is féidir leis oibriú go leanúnach ar feadh 1500 uair an chloig i bplasma CF4/O2

Tá dul chun cinn bainte amach ag Veteksemimon i dtáirgeadh intíre fáinní Sic Edge, ar féidir leo a lán caiteachas costais a shábháil. Fáilte chun teagmháil a dhéanamh linn ag am ar bith!