Cad is graifít phóiriúil ard-íonachta ann?

Le blianta beaga anuas, tá na ceanglais feidhmíochta maidir le gléasanna leictreonacha cumhachta i dtéarmaí tomhaltais fuinnimh, toirt, éifeachtúlacht, etc. ag éirí níos airde. Tá banna ceoil níos mó ag SIC, neart réimse miondealú níos airde, seoltacht theirmeach níos airde, soghluaisteacht leictreon sáithithe níos airde, agus cobhsaíocht cheimiceach níos airde, a dhéanann suas le heasnaimh na n -ábhar leathsheoltóra traidisiúnta. Ba fhadhb dheacair i gcónaí é criostail sic a fhás go héifeachtach agus ar scála mór, agus tabhairt isteach ard-íonachtagraifít póiriúilLe blianta beaga anuas tá feabhas éifeachtach tagtha ar chaighdeán naFás criostail aonair sic.

Airíonna fisiceacha tipiciúla de ghraifít póiriúil leathsheoltóra Vetek:

Graifít phóiriúil ard-íonachta le haghaidh fás criostail aonair SIC ag modh Pvt

Ⅰ. Modh Pvt

Is é modh PVT an príomhphróiseas chun criostail aonair SIC a fhás. Tá an próiseas bunúsach d'fhás criostail SIC roinnte i ndianscaoileadh sublimation amhábhar ag ardteocht, iompar substaintí céim gháis faoi ghníomhú grádán teochta, agus fás athchriostalaithe substaintí chéim gháis ag an gcriostal síolta. Bunaithe ar seo, tá an taobh istigh den bhreogán roinnte i dtrí chuid: limistéar amhábhair, cuas fáis agus criostail síl. Sa limistéar amhábhar, aistrítear teas i bhfoirm radaíochta teirmeach agus seoladh teasa. Tar éis iad a théamh, déantar amhábhair SIC a dhianscaoileadh go príomha ag na frithghníomhartha seo a leanas:

Isc (s) = si (g) + c (s)

2sic (s) = Si (g) + sic₂(g)

2sic (s) = c (s) + Is₂C (g)

Sa limistéar amhábhar, laghdaíonn an teocht ó chomharsanacht an bhalla breogáin go dtí an dromchla amhábhar, is é sin, teocht an imeall amhábhar> teocht inmheánach amhábhar> teocht dromchla amhábhar, as a dtagann grádáin teochta aiseach agus gathacha, beidh tionchar níos mó ag an méid a bhfuil tionchar ag an méid air. Faoi ghníomh an ghrádáin teochta thuas, tosóidh an t -amhábhar ag grafaicí in aice leis an mballa breogán, agus mar thoradh air sin athruithe ar shreabhadh ábhair agus ar phóirseacht. Sa seomra fáis, iompraítear na substaintí gásacha a ghintear sa limistéar amhábhar go dtí an suíomh criostail síl atá á dtiomáint ag an grádán teochta aiseach. Nuair nach gclúdaítear dromchla an chrucible graifíte le sciath speisialta, imoibreoidh na substaintí gásacha leis an dromchla breogán, ag creimeadh an bhreogán graifíte agus an cóimheas C/Si sa seomra fáis á athrú. Aistrítear teas sa limistéar seo go príomha i bhfoirm radaíochta teirmeach. Ag an suíomh criostail síl, tá na substaintí gásacha IR, SI2C, SIC2, etc. Sa seomra fáis i stát ró -shásta mar gheall ar an teocht íseal ag an gcriostal síolta, agus tarlaíonn sil -leagan agus fás ar dhromchla na criostail síolta. Seo a leanas na príomh -imoibrithe:

Is₂C (g) + sic₂(g) = 3sic (í)

Is (g) + sic₂(g) = 2sic (í)

Cásanna iarratais deGraifít phóiriúil ard-íonachta i bhfás sic criostail aonairFoirnéisí i bhfolús nó i dtimpeallachtaí gáis támh suas le 2650 ° C:

De réir taighde litríochta, tá graifít phóiriúil ard-íonachta an-chabhrach i bhfás criostail aonair SIC. Rinneamar comparáid idir timpeallacht fáis criostail aonair sic le agus ganGraifít phóiriúil ard-íonachta.

Athrú teochta feadh lárlíne an bhreogáin le haghaidh dhá struchtúr le graifít phóiriúil agus gan

Sa limistéar amhábhar, is iad na difríochtaí uachtaracha agus teochta bun an dá struchtúr ná 64.0 agus 48.0 ℃ faoi seach. Tá an difríocht uachtair agus an teocht uachtair den ghraifít phóiriúil ard-íonachta measartha beag, agus tá an teocht aiseach níos aonfhoirmeach. Go hachomair, imríonn graifít phóiriúil ard-íonachta ról inslithe teasa ar dtús, a mhéadaíonn teocht fhoriomlán na n-amhábhar agus a laghdaíonn an teocht sa seomra fáis, rud a chabhródh le sublimation iomlán agus le dianscaoileadh na n-amhábhar. Ag an am céanna, laghdaítear na difríochtaí teochta aiseach agus gathacha sa limistéar amhábhair, agus feabhsaítear aonfhoirmeacht an dáilte teochta inmheánaigh. Cabhraíonn sé le criostail SIC fás go tapa agus go cothrom.

Chomh maith leis an éifeacht teochta, athróidh graifít phóiriúil ard-íonachta an ráta sreafa gáis i bhfoirnéis criostail aonair SIC. Léirítear é seo go príomha sa bhfíric go gcuirfidh graifít phóiriúil ard-íonachta moill ar an ráta sreafa ábhair ar an imeall, rud a chobhsaíonn an ráta sreafa gáis le linn fás criostail aonair SIC.

Ⅱ. An ról atá ag graifít phóiriúil ard-íonachta i bhfoirnéis fáis criostail aonair sic

Sa fhoirnéis fáis criostail aonair SIC le graifít phóiriúil ard-íonachta, tá an t-iompar ábhair srianta ag graifít phóiriúil ard-íonachta, tá an comhéadan an-aonfhoirmeach, agus níl aon imeall ag an gcomhéadan fáis. Mar sin féin, tá fás criostail SIC i bhfoirnéis fáis criostail aonair SIC le graifít phóiriúil ard-íonachta sách mall. Dá bhrí sin, i gcás an chomhéadain chriostal, cuireann tabhairt isteach graifíte póiriúil ard-íonachta an ráta sreafa ábhair ard de bharr graifitithe imeall, rud a fhágann go bhfásann an criostail SIC go haonfhoirmeach.

Athraíonn an comhéadan le himeacht ama le linn fás criostail aonair SIC le graifít phóiriúil ard-íonachta agus gan é

Dá bhrí sin, is bealach éifeachtach é graifít phóiriúil ard-íonachta chun timpeallacht fáis criostail SIC a fheabhsú agus chun caighdeán criostail a bharrfheabhsú.

Is gnáthfhoirm úsáide graifít póiriúil é pláta graifít póiriúil

Léaráid sceidealta d'ullmhú criostail aonair SIC ag baint úsáide as pláta graifít póiriúil agus an modh Pvt deCVDIscamh ábharó thuiscint ar leathsheoltóra

Tá buntáiste Vetek Semiconductor ina fhoireann teicniúil láidir agus ina fhoireann seirbhíse den scoth. De réir do chuid riachtanas, is féidir linn a oiriúnú oiriúnachhíona-íonachtgraifit póiriúileTáirgí chun cabhrú leat dul chun cinn mór agus buntáistí a dhéanamh i dtionscal fáis criostail aonair SIC.