SIC CATOATING ALD SUCKORTOR

Sé leathsheoltóraSIC CATOATING ALD SUCKORTORImríonn ról ríthábhachtach i sil -leagan ciseal adamhach (Aldú) próiseas. Cinntíonn a rialú beacht teochta, dáileadh gáis aonfhoirmeach, friotaíocht cheimiceach ard agus seoltacht teirmeach den scoth go bhfuil aonfhoirmeacht agus ardchaighdeán an phróisis sil -leagan scannáin. Más mian leat tuilleadh a fháil amach, is féidir leat dul i gcomhairle linn láithreach agus tabharfaimid freagra ort in am!

Rialú beacht teochta:

Is iondúil go mbíonn córas rialaithe teochta ardchruinnithe ag SIC SIC ALD. Tá sé in ann timpeallacht teochta aonfhoirmeach a choinneáil ar fud an phróisis sil -leagain, rud atá ríthábhachtach chun aonfhoirmeacht agus cáilíocht an scannáin a chinntiú.

Dáileadh gáis aonfhoirmeach:

Cinntíonn an dearadh optamaithe de sciath SIC ALD soirneoir dáileadh aonfhoirmeach an gháis le linn an phróisis sil -leagain ALD. Is iondúil go mbíonn ilchodanna rothlacha nó gluaiseachta ag a struchtúr chun clúdach aonfhoirmeach ar gháis imoibríocha a chur chun cinn ar fud dhromchla iomlán an tsleasa.

Friotaíocht cheimiceach ard:

Ós rud é go bhfuil éagsúlacht de gháis cheimiceacha i gceist leis an bpróiseas ALD, is iondúil go ndéantar ábhair atá frithsheasmhach in aghaidh creimthe (mar shampla platanam, criadóireacht nó Grianchloch ard-íonachta) chun cur in aghaidh creimeadh gás ceimiceacha agus tionchar timpeallachtaí ardteochta.

Seoltacht teirmeach den scoth:

D'fhonn teas a dhéanamh go héifeachtach agus teocht sil -leagain chobhsaí a choinneáil, is iondúil go n -úsáideann ábhair sheoltachta teirmeacha arda ábhair seoltachta teirmeacha de ghnáth. Cabhraíonn sé seo le róthéamh áitiúil agus le sil -leagan míchothrom a sheachaint.

Airíonna fisiceacha bunúsacha sciath SIC CVD:

Siopaí léiriúcháin:

Forbhreathnú ar Shlabhra Tionscail Epitaxy na Sliseanna Leathsheoltóra：