Nuacht

Is ábhar carbide sileacain ard-íonachta é CVD SIC a mhonaraítear trí sil-leagan gaile ceimiceach. Úsáidtear é go príomha le haghaidh comhpháirteanna agus bratuithe éagsúla i dtrealamh próiseála leathsheoltóra. Is é an t -ábhar seo a leanas réamhrá ar aicmiú táirgí agus croífheidhmeanna CVD SIC

Tugann an t -alt seo na cineálacha táirgí, tréithe táirge agus príomhfheidhmeanna sciath TAC isteach go príomha i bpróiseáil leathsheoltóra, agus déanann sé anailís chuimsitheach agus léirmhíniú ar tháirgí sciath TAC ina n -iomláine.

Tugann an t -airteagal seo isteach go príomha na cineálacha táirgí, tréithe táirge agus príomhfheidhmeanna an tso -ghabhálaí MOCVD i bpróiseáil leathsheoltóra, agus déanann sé anailís agus léirmhíniú cuimsitheach ar tháirgí so -ghabhála MOCVD ina n -iomláine.

Faigh amach conas a oibríonn PVT taobh istigh d'fhoirnéis fáis criostail SiC. Anailís theicniúil ar sublimation, iompar mais, agus fás criostail ó WuYi TianYao New Material Tech.Co., Ltd.

Is comhpháirt speisialaithe teirmeach-réimse é an Fáinne Graifíte Brataithe Tantalam Carbide Scornach (TaC) atá deartha le haghaidh fás aon-chriostail SiC Iompar Gaile Fisiciúil (PVT). Trí graifít scagach ard-íonachta a chomhcheangal le sciath chomhdhúile tantalam CVD dlúth, soláthraíonn sé cobhsaíocht ardteochta, cosaint creimeadh, dáileadh teasa rialaithe, agus éilliú íseal. Míníonn an t-alt seo a struchtúr, buntáistí teicniúla, iarratais, sonraíochtaí, agus breithnithe roghnúcháin do threalamh leathsheoltóra agus fás criostail SiC.

Ag díriú ar phróisis séalaithe heirméiteach GTMS/CTMS, soláthraíonn VeTek réitigh daingneáin graifíte speisialta saincheaptha le 1,500 micrea-poll dlúth-eagraithe in aghaidh an 0.01 ㎡. Meaitseáil CTE cóimhiotal Kovar go beacht, an dúshlán micromachining il-poll a shárú thar 10 mí, ag baint amach rialú náid-locht micron-leibhéal agus seachadadh innealtóireachta aon-stad.

Sa tionscal leathsheoltóra atá ag forbairt go tapa, cinneann ábhair bheachtais go díreach cáilíocht próiseála wafer agus éifeachtacht táirgthe. Soláthraíonn VETEK réitigh ardfheidhmíochta Ardíonachta Ardíonachta Wafer Quartz Wafer For TEL atá deartha le haghaidh próisis déantúsaíochta leathsheoltóra chun cinn, ag tairiscint cobhsaíocht theirmeach den scoth, friotaíocht ceimiceach, agus rialú éillithe do thimpeallachtaí éilitheacha déantúsaíochta sliseog.

Is comhpháirt próiseála teirmeach chun cinn é Crucible Graphite Brataithe Carbóin Gloine atá deartha le haghaidh iarratais éilitheacha ar nós déantúsaíocht leathsheoltóra, fás criostail, cóireáil teasa i bhfolús, agus taighde ábhar ardteochta. Míníonn an t-alt seo a struchtúr, a bhuntáistí, a fheidhmchláir agus a breithnithe roghnóireachta. Soláthraíonn VeTek Semiconductor réitigh breogán ardfheidhmíochta a chomhcheanglaíonn teicneolaíocht brataithe carbóin ghloine le déantúsaíocht graifíte beachtas chun freastal ar riachtanais dhian na dtionscal nua-aimseartha.

De réir mar a théann déantúsaíocht leathsheoltóra i dtreo nóid phróisis atá ag éirí níos forbartha, tá íonacht an ábhair agus cobhsaíocht theirmeach níos tábhachtaí ná riamh. Tá bhraith docht graifít Hyperpure tagtha chun cinn mar cheann de na hábhair inslithe is iontaofa le haghaidh foirnéisí fáis criostail, imoibreoirí epitaxial, córais táirgthe chomhdhúile sileacain, agus iarratais ardteochta eile.

Tá an Tube Foirnéise Idirleata SiC tar éis éirí ina chomhpháirt ríthábhachtach i ndéantúsaíocht leathsheoltóra nua-aimseartha mar gheall ar a chobhsaíocht theirmeach eisceachtúil, a fhriotaíocht cheimiceach, agus a shaol seirbhíse fada. Scrúdaíonn an t-alt seo conas a sheachadann VeTek ard-réitigh SiC a fheabhsaíonn feidhmíocht foirnéise idirleata, a fheabhsaíonn cáilíocht sliseog, agus a laghdaíonn costais táirgthe iomlána. Foghlaimeoidh tú a struchtúr, a buntáistí, a feidhmeanna, a sonraíochtaí teicniúla, agus cén fáth go bhfuil sé ag athsholáthar feadáin traidisiúnta Grianchloch agus alúmana níos mó.

De réir mar a leanann déantúsaíocht leathsheoltóra, teicneolaíocht fáis criostail, agus próiseáil ábhair chun cinn ag teacht chun cinn, tá méadú suntasach tagtha ar an éileamh ar chomhpháirteanna ultra-ghlan agus cobhsaí teirmeach. I measc na gcomhpháirteanna ríthábhachtacha seo, tá an Gloine Carbóin Brataithe Graphite Crucible tagtha chun cinn mar cheann de na réitigh is iontaofa maidir le timpeallachtaí ardteochta agus ard-íonachta.

De réir mar a leanann déantúsaíocht leathsheoltóra ag forbairt i dtreo cruinneas níos airde, íonacht agus cobhsaíocht theirmeach níos airde, tá ard-ábhair brataithe ina gcomhpháirteanna ríthábhachtacha i dtrealamh próisis. Ina measc, seasann an Fáinne Cumhdach Carbide Tantalum amach as a fhriotaíocht eisceachtúil le teocht ard, creimeadh, creimeadh plasma, agus éilliú cáithníní.

I measc na dteicneolaíochtaí atá ar fáil, tá foirnéis fás criostail SiC téimh friotaíochta mórmhéide tagtha chun cinn mar réiteach ríthábhachtach chun criostail SiC mór-trastomhas, íseal-locht a tháirgeadh le comhsheasmhacht agus éifeachtúlacht fheabhsaithe. Scrúdaíonn an t-alt seo an chaoi a n-oibríonn an teicneolaíocht seo, na buntáistí a bhaineann léi, a feidhmeanna, agus an fáth a bhfuil muinín ag ceannairí tionscail as réitigh nuálacha ó Veteksemi.

Ní hamháin gur cuid athsholáthair taobh istigh de chóras epitaxy é susceptor graifíte SiC brataithe le haghaidh ASM. Is iompróir próiseas-chriticiúil é a mbíonn tionchar aige ar aonfhoirmeacht theirmeach, glaineacht wafer, marthanacht sciath, cobhsaíocht an tseomra, agus costas táirgthe fadtéarmach.

Ní clúdach cosanta nó comhpháirt graifíte brataithe amháin atá i gClúdach Cumhdach CVD TaC. I bpróisis leathsheoltóra ardteochta, féadann sé tionchar a imirt ar ghlaineacht an tseomra, ar chobhsaíocht theirmeach, ar shaolré na bpáirtithe, agus ar chomhsheasmhacht an phróisis.

I dtáirgeadh PECVD, ní thosaíonn go leor fadhbanna brataithe agus sil-leagan le cumhacht plasma nó le ceimic gáis. Tosaíonn siad leis an iompróir a shealbhaíonn na sliseoga.