Bád graifít le haghaidh PECVD

Iarratas: Tá bád graifíte Veteksemicon le haghaidh PECVD ina chomhpháirt lárnach den phróiseas sil-leagan ceimiceach plasma feabhsaithe gaile. Tá sé deartha go sonrach chun nítríde sileacain ardcháilíochta, ocsaíd sileacain agus scannáin tanaí eile a thaisceadh ar sliseoga sileacain, leathsheoltóirí cumaisc agus foshraitheanna painéil taispeána. Cinneann a fheidhmíocht go díreach aonfhoirmeacht an scannáin, cobhsaíocht an phróisis agus an costas táirgthe.

Seirbhísí is féidir a chur ar fáil: anailís ar chás iarratais do chustaiméirí, ábhair mheaitseála, réiteach fadhbanna teicniúla.

Próifíl cuideachta: Tá 2 shaotharlann ag Veteksemicon, foireann saineolaithe le 20 bliain de thaithí ábhartha, le T&F agus cumais táirgthe, tástála agus fíoraithe.

Eolas ginearálta táirge

Téarmaí gnó táirgí

Príomhréimsí iarratais

Bád Veteksemicon Graphite do bhuntáistí lárnacha PECVD

1. Foshraitheanna ard-íonachta, ag rialú truaillithe ón bhfoinse

Seasann muid úsáid a bhaint as graifít ard-íonachta brúite isostatach le íonacht chobhsaí os cionn 99.995% mar bhunábhar chun a chinntiú nach ndéanfaidh sé neamhíonachtaí miotail deascadh fiú i dtimpeallacht oibriúcháin leanúnach de 1600 ° C. Is féidir leis an gceanglas dian ábhair seo díghrádú feidhmíochta wafer de bharr éilliú iompróra a sheachaint go díreach, ag tabhairt an ráthaíochta is bunúsaí maidir le taisceadh scannáin nítríde sileacain nó ocsaíd sileacain ardchaighdeáin.

2. Réimse teirmeach beacht agus dearadh struchtúrach chun aonfhoirmeacht próisis a chinntiú

Trí shonraí insamhalta sreabhach agus tomhais próisis, tá uillinn sliotán an bháid, doimhneacht groove treorach, agus cosán sreabhadh gáis optamaithe againn. Cumasaíonn an breithniú struchtúrach mionchúiseach seo dáileadh aonfhoirmeach gás imoibríocha idir sliseog. Léiríonn na tomhais iarbhír gur féidir rialú cobhsaí laistigh de ± 1.5% a dhéanamh ar dhiall aonfhoirmeach thiús an scannáin idir na sliseoga sa bhaisc chéanna, rud a fheabhsóidh go mór an táirgeacht.

3. Réitigh sciath saincheaptha chun aghaidh a thabhairt ar chreimeadh próisis shonracha

Chun timpeallachtaí gáis próisis éagsúla custaiméirí éagsúla a chomhlíonadh, cuirimid dhá rogha brataithe aibí ar fáil: carbón pirealaíoch agus chomhdhúile sileacain. Má thaisceann tú nítríde sileacain go príomha agus má úsáideann tú glanadh hidrigine, is féidir leis an sciath dlúth carbóin pirealaíoch friotaíocht den scoth a sholáthar do chreimeadh plasma hidrigine. Má tá gás glantacháin ina bhfuil fluairín i gceist le do phróiseas, ansin is rogha níos fearr an sciath chomhdhúile sileacain ard-chruas. Is féidir leis saol seirbhíse an bháid graifíte a leathnú i dtimpeallachtaí an-chreimneach go dtí níos mó ná trí huaire níos mó ná mar a bhíonn i ngnáth-tháirgí neamhbhrataithe.

4. Cobhsaíocht turraing teirmeach den scoth, inoiriúnaithe do thimthriallta teochta go minic

A bhuí lenár bhfoirmle graifíte uathúil agus an dearadh rib athneartaithe inmheánaigh, is féidir lenár mbáid graifíte na suaitheadh ​​fuarú agus téimh arís agus arís eile de phróiseas PECVD a sheasamh. I dtástálacha saotharlainne dian, tar éis 500 timthriall teirmeach tapa ó theocht an tseomra go 800 ° C, bhí ráta coinneála neart flexural an bháid fós níos mó ná 90%, rud a sheachnaíonn scoilteadh de bharr strus teirmeach go héifeachtach agus ag cinntiú leanúnachas agus sábháilteacht táirgeachta.

5. Formhuiniú fíoraithe slabhra éiceolaíochta

Clúdaíonn bád Veteksemicon Graphite le haghaidh fíorú slabhra éiceolaíoch PECVD amhábhar go dtí an táirgeadh, tá deimhniú caighdeánach idirnáisiúnta faighte aige, agus tá roinnt teicneolaíochtaí paitinnithe ann chun a iontaofacht agus a inbhuanaitheacht a chinntiú sna réimsí leathsheoltóra agus fuinnimh nua.

Le haghaidh sonraíochtaí teicniúla mionsonraithe, páipéir bhána, nó socruithe tástála samplacha, téigh i dteagmháil lenár bhFoireann Tacaíochta Teicniúil chun iniúchadh a dhéanamh ar conas is féidir le Veteksemicon d'éifeachtúlacht próisis a fheabhsú.