Comhpháirteanna Grianchloch a chur i bhfeidhm i dtrealamh leathsheoltóra

Táirgí GrianchlochÚsáidtear go forleathan iad sa phróiseas monaraithe leathsheoltóra mar gheall ar a n-ard-íonacht, a bhfriotaíocht ardteochta, agus a gcobhsaíocht cheimiceach láidir.

1. Crucible Quartz

Iarratas - Úsáidtear é chun slata sileacain monocrystalline a tharraingt agus is croí -inchaite é i ndéantúsaíocht sliseog sileacain.

Crucibles GrianchlochDéanta as gaineamh Grianchloch ard-íonachta (grád 4n8 agus os a chionn) chun éilliú ag eisíontais miotail a laghdú. Ba chóir go mbeadh cobhsaíocht ardteochta aige (leáphointe> 1700 ° C) agus comhéifeacht íseal leathnaithe teirmeach. Baintear úsáid go príomha as bianna Grianchloch sa réimse leathsheoltóra chun criostail aonair sileacain a mhonarú. Is coimeádáin quartz inchaite iad chun amhábhair sileacain polycrystalline a luchtú agus is féidir iad a roinnt i gcineálacha cearnóga agus cruinn. Baintear úsáid as cinn chearnógacha chun tinneas sileacain polycrystalline a chaitheamh, agus baintear úsáid as cinn bhabhta chun slata sileacain monocrystalline a tharraingt. Is féidir leis teochtaí arda a sheasamh agus cobhsaíocht cheimiceach a choinneáil, ag cinntiú íonacht agus cáilíocht criostail aonair sileacain.

2. Feadáin Foirnéise Grianchloch

Feadáin GrianchlochÚsáidtear iad go forleathan sa tionscal leathsheoltóra mar gheall ar a saintréithe amhail friotaíocht ardteochta (is féidir le teocht oibriúcháin fhadtéarmach teacht os cionn 1100 ° C), friotaíocht creimthe ceimiceach (cobhsaí ach amháin i gcás roinnt imoibrí cosúil le haigéad hidreafluarach), ard-íonacht (is féidir le hábhar neamhleor a bheith chomh híseal le leibhéal PPM nó fiú leibhéal PPB), agus solas an tsolais den scoth. Tá na croí -chásanna comhchruinnithe i il -naisc phróisis il -phróisis déantúsaíochta sliseog.

Príomh -naisc Iarratais:Idirleathadh, Ocsaídiú, CVD (Sil -leagan gaile ceimiceach)

Cuspóir:

• Feadán Idirleata: Úsáidtear é i bpróisis idirleata ardteochta, iompraíonn sé sliseoga sileacain le haghaidh dópála.
• Feadán Foirnéise: Tacaíonn sé le báid Grianchloch sa fhoirnéis ocsaídiúcháin le haghaidh cóireála ocsaídiúcháin ardteochta.

Gnéithe ：

Caithfidh sé riachtanais íonachta ard (ian miotail ≤1ppm) agus friotaíocht dífhoirmithe ardteochta (os cionn 1200 ° C) a chomhlíonadh.

3. Bád criostail Grianchloch

Ag brath ar threalamh difriúil, tá sé roinnte i gcineálacha ingearacha agus cothrománacha. Ag brath ar línte táirgthe éagsúla, is é an raon méide ná 4 go 12 orlach. I ndéantúsaíocht ICS leathsheoltóra,báid chriostal GrianchlochÚsáidtear iad go príomha i bpróisis aistriú, glantacháin agus próiseála sliseog. Mar iompróirí sliseog ard-íonachta agus ardteochta, tá ról fíor-riachtanach acu. I bpróiseas idirleata nó ocsaídiúcháin an fheadáin foirnéise, cuirtear sliseoga iolracha ar bháid chriostal Grianchloch agus ansin déantar iad a bhrú isteach san fheadán foirnéise le haghaidh déantúsaíochta bhaisc.

Úsáidtear instealltaí i leathsheoltóirí go príomha chun ábhair gháis nó leachtacha a iompar go beacht agus cuirtear i bhfeidhm iad i il -naisc phróisis mar sil -leagan tanaí scannán, eitseáil, agus dópáil.

Sa phróiseas glantacháin de thrasraitheoir sileacain agus táirgeadh ciorcaid chomhtháite, úsáidtear é chun sliseoga sileacain a iompar agus ní mór dó a bheith ina n -aigéad agus ina fhrithsheasmhacht in alcaile chun a chinntiú nach bhfuil na sliseoga sileacain éillithe le linn an phróisis glantacháin.

6. Flanges Grianchloch, fáinní Grianchloch, fáinní dírithe, srl

Úsáidtear é i bpróisis eitseáil leathsheoltóra, in éineacht le táirgí Grianchloch eile chun cosaint séalaithe a bhaint amach ar an gcuas, a bhaineann go dlúth leis an sliseog, ag cur cosc ​​ar chineálacha éagsúla éillithe le linn an phróisis mhonaraithe eitseáil, agus ag imirt ról cosanta.

Prócaí clog Grianchlochis príomh-chomhpháirteanna iad a úsáidtear go coitianta sa tionscal leathsheoltóra, ina bhfuil friotaíocht ardteochta, friotaíocht creimthe, agus tarchur ard-éadrom.Polysilicon Laghdú Clúdaigh Foirnéise: Úsáidtear an clúdach clog Grianchloch go príomha mar chlúdach foirnéise laghdaithe do pholaysilicon. I dtáirgeadh polysilicon, déantar trichlorosilane ard-íonachta a mheascadh le hidrigin i gcéatadán áirithe agus ansin tugtar isteach é sa fhoirnéis laghdaithe atá feistithe le clúdach clog Grianchloch, áit a dtarlaíonn imoibriú laghdaithe ar an gcroílár sileacain seoltaí chun polysilicon a thaisceadh agus a fhoirmiú.

8. Umar glantacháin fliuch Grianchloch

Céim Iarratais: Glanadh fliuch sliseoga sileacain

Úsáid: Úsáidtear é le haghaidh níocháin aigéad (HF, H₂so₄, etc.) agus glanadh ultrasonaic.

Gnéithe: Cobhsaíocht cheimiceach láidir agus friotaíocht in aghaidh creimeadh aigéad láidir.

9. Buidéal Bailiúcháin Leachtacha Grianchloch

Úsáidtear an buidéal bailiúcháin leachtach go príomha chun leacht dramhaíola nó leacht iarmharach a bhailiú sa phróiseas glantacháin fliuch

Le linn an phróisis glantacháin fhliuch de shliocht (mar shampla glanadh RCA, glanadh SC1/SC2), tá gá le cuid mhór d'uisce nó d'imoibrithe ultrapure chun na sliseoga a shruthlú, agus tar éis sruthlú, táirgfear leacht iarmharach ina bhfuil eisíontais rian. Tar éis roinnt próiseas brataithe (ar nós sciath fhótagrafaíochta), beidh leachtanna iomarcacha ann freisin (mar leacht dramhaíola fótagrafaíochta) a chaithfear a bhailiú.

Feidhme Úsáidtear buidéil bhailiúcháin leachtacha Grianchloch chun na leachtanna iarmharacha nó dramhaíola seo a bhailiú go dlúth, go háirithe sa "chéim glantacháin ard-bheachtais" (mar shampla réamhchóireáil dhromchla an tsleasa), áit a bhféadfadh go mbeadh méid beag imoibrithe ardluacha nó eisíontais a bhfuil gá le hanailís ina dhiaidh sin ar an leacht iarmharach. Is féidir le héilliú íseal na mbuidéal Grianchloch cosc ​​a chur ar an leacht iarmharach a ath-éilliú, aisghabháil ina dhiaidh sin a éascú (mar shampla íonú imoibrithe) nó braite beacht (amhail anailís ar ábhar neamhíonachta sa leacht iarmharach).

Ina theannta sin, cuirtear maisc Grianchloch a dhéantar as ábhair Grianchloch shintéiseacha i bhfeidhm i bhfóta -eolaíocht mar "chlaonchlónna" de mheaisíní fótolitheagrafaíochta le haghaidh aistriú patrún. Agus na h -ascaileoirí criostail Grianchloch a úsáidtear i sil -leagan scannán tanaí (PVD, CVD, ALD) chun monatóireacht a dhéanamh ar thiús an scannáin tanaí agus a chinntiú nach ndéantar aonfhoirmeacht na sil -leagain, i measc go leor gnéithe eile, a mhionsaothrú san alt seo.

Mar fhocal scoir, tá táirgí Grianchloch beagnach i láthair le linn an phróisis ar fad a bhaineann le déantúsaíocht leathsheoltóra, ó fhás sileacain monocrystalline (Crucibles Grianchloch) go Photolithography (Masks Grianchloch), Eitseáil (fáinní Grianchloch), agus sil -leagan tanaí scannán (Oscilortors criostail Grianchloch), ar fad a bhíonn ag súil go réidh ar a n -airíonna fisiciúla agus ceimiceacha. Le héabhlóid na bpróiseas leathsheoltóra, cuirfear feabhas breise ar na ceanglais maidir le íonacht, friotaíocht teochta agus cruinneas tríthoiseach na n -ábhar Grianchloch.