Fáinní Treoir um Chlúdach TAC

Feidhm na bhfáinní treorach sciath TAC:

Rialú beacht ar shreabhadh gáis: AnFáinne Treorach Cumhdach TACsuite go straitéiseach laistigh de chóras insteallta gáis anImoibreoir mocvd. Is í an phríomhfheidhm atá aige ná sreabhadh na ngás réamhtheachtaithe a threorú agus a ndáileadh aonfhoirmeach a chinntiú thar dhromchla an tsliocht foshraithe. Tá an rialú beacht seo ar dhinimic sreafa gáis riachtanach chun fás aonfhoirmeach ciseal epitaxial agus airíonna ábhartha inmhianaithe a bhaint amach.

Bainistíocht theirmeach. Cuidíonn seoltacht theirmeach den scoth TAC le teas a dhíscaoileadh go héifeachtach, cosc ​​a chur ar róthéamh logánta agus próifíl teochta cobhsaí a chothabháil laistigh den chrios imoibriúcháin.

Buntáistí TAC i MOCVD:

Friotaíocht teochta an -mhór: Tá ceann de na pointí leá is airde i measc na n -ábhar go léir i TAC, níos mó ná 3800 ° C.

Táimhe ceimiceach gan íoc.

Airíonna fisiceacha deSciath TAC:

Sochair do fheidhmíocht MOCVD:

Cuireann an úsáid a bhaintear as fáinne treorach leathsheoltóra Vetek i dtrealamh MOCVD go mór le:

Trealamh méadaithe ag am.

Cobhsaíocht phróisis fheabhsaithe: Cuireann cobhsaíocht theirmeach agus támh ceimiceach TAC le timpeallacht imoibriúcháin níos cobhsaí agus níos rialaithe laistigh de sheomra MOCVD, ag íoslaghdú éagsúlachtaí próisis agus ag feabhsú in -atáirgtheacht.

Aonfhoirmeacht ciseal eipiciúil feabhsaithe.fás ciseal eipiciúille tiús agus comhdhéanamh comhsheasmhach.

Cumhdach Carbide Tantalum (TAC)ar thrasghearradh micreascópach: