Silicon Carbide Epitaxy

Braitheann ullmhúchán eipidítí cairbíde sileacain ardcháilíochta ar ardteicneolaíocht agus trealamh agus gabhálais trealaimh. Faoi láthair, is é an modh fáis cairbíde sileacain is mó a úsáidtear ná sil -leagan gaile ceimiceach (CVD). Tá na buntáistí a bhaineann le rialú beacht ar thiús scannán eipiciúil agus tiúchan dópála, níos lú lochtanna, ráta measartha fáis, rialú próisis uathoibríoch, etc., agus is teicneolaíocht iontaofa é a cuireadh i bhfeidhm go tráchtála go rathúil.

Is iondúil go nglacann Epitaxy CVD le cairbíd sileacain nó trealamh CVD balla te nó balla te, a chinntíonn go leanfar le ciseal epitaxy 4H crystalline SIC faoi choinníollacha teochta ardfháis (1500 ~ 1700 ℃), balla te nó balla te CVD tar éis blianta forbartha, de réir an ghaolmhaireachta idir an t -aeir aeir agus an dromchla fodhrugaí, is féidir le frithghníomhartha a roinnt isteach i gcriosadh an tsrutha intleachta agus an dromchla fíoróra fíoróra.

Tá trí phríomhtháscaire ann maidir le caighdeán na foirnéise eipiciúil SIC, is é an chéad cheann ná feidhmíocht fáis eipiciúil, lena n -áirítear aonfhoirmeacht tiús, aonfhoirmeacht dópála, ráta lochtanna agus ráta fáis; Is é an dara ceann ná feidhmíocht teochta an trealaimh féin, lena n -áirítear ráta téimh/fuaraithe, uasta teocht, aonfhoirmeacht teochta; Ar deireadh, feidhmíocht costais an trealaimh féin, lena n -áirítear praghas agus acmhainn aonaid amháin.

Trí chineál foirnéise fáis sileacain cairbíde agus difríochtaí croí -gabhálais

Ballaí te Ballaí CVD (Samhail tipiciúil PE1O6 de chuid LPE Company), CVD Pláinéad Pláinéad Balla (Samhail tipiciúil Aixtron G5WWC/G10) agus CVD WALL-HOT HOT (arna léiriú ag Epirevos6 de Nuflare Company) an príomhshruthúlacht trealaimh epitaxial réitigh theicniúla a bhí réadaithe i bhfeidhmiú tráchtála ag an gcéim seo. Tá a saintréithe féin ag na trí fheiste theicniúla freisin agus is féidir iad a roghnú de réir éilimh. Taispeántar a struchtúr mar seo a leanas:

Seo a leanas na croí -chomhpháirteanna comhfhreagracha:

(a) Is éard atá i gcroílár an chineáil chothrománach an chuid is mó de na páirteanna leath-leath-leath-leath

Insliú le sruth

Príomh -Insliú Uachtarach

Leathmoon uachtarach

Insliú in aghaidh srutha

Píosa trasdul 2

Píosa trasdula 1

Nozzle aeir seachtrach

Snorkel barrchaolaithe

Nozzle gáis argón seachtrach

Nozzle gáis argóin

Pláta tacaíochta sliseog

Bioráin lárnaithe

GardaIN

Clúdach cosanta clé le sruth

Clúdach Cosanta Ceart le sruth

Clúdach cosanta clé in aghaidh srutha

Clúdach cosanta ceart in aghaidh srutha

Fo -bhalla

Fáinne graifít

Bhraith Cosanta

Ag tacú le braistint

Bloc teagmhála

Sorcóir asraon gáis

(b) Cineál optional balla te

Diosca Diosca Pláinéadach Sic & Diosca Optional Brataithe TAC

(c) Cineál seasamh balla cuasach teirmeach

Nuflare (an tSeapáin): Cuireann an chuideachta seo foirnéisí ingearacha dé-sheomra ar fáil a chuireann le toradh táirgthe méadaithe. Tá uainíocht ardluais suas le 1000 réabhlóid in aghaidh an nóiméid sa trealamh, rud atá an-tairbheach do aonfhoirmeacht eipiciúil. Ina theannta sin, tá a threo sreafa aeir éagsúil le trealamh eile, agus é ag laghdú go hingearach, rud a laghdaíonn giniúint na gcáithníní agus ag laghdú na dóchúlachta go dtitfidh braoiníní cáithníní ar na sliseoga. Soláthraímid comhpháirteanna graifíte brataithe SIC don trealamh seo.

Mar sholáthraí de chomhpháirteanna trealaimh epitaxial SIC, tá Vetek Semiconductor tiomanta do chomhpháirteanna sciath ardchaighdeáin a sholáthar do chustaiméirí chun tacú le cur i bhfeidhm rathúil SIC Epitaxy.

View as

Soláthraíonn sliseog epitaxial mocvd

Tá Vetek Semiconductor ag gabháil don tionscal fáis leathsheoltóra ar feadh i bhfad agus tá taithí shaibhir agus scileanna próisis aige i dtáirgí so -ghabhálaithe eipidíteacha MOCVD. Sa lá atá inniu ann, is é Vetek Semiconductor an príomh -mhonaróir agus soláthróir slocadóir eipidéimeach MOCVD, agus bhí ról tábhachtach ag na sofheicneoirí wafer a sholáthraíonn sé i ndéantúsaíocht sliseoga epitaxial agus táirgí eile.

Féach ar Tuilleadh >> Seol Fiosrúchán >>

Fáinne brataithe foirnéise ingearach sic

Is comhpháirt é fáinne brataithe SiC foirnéise ingearach atá saindeartha le haghaidh foirnéise Ingearach. Is féidir le VeTek Semiconductor an chuid is fearr a dhéanamh duit i dtéarmaí ábhar agus próisis déantúsaíochta. Mar mhonaróir tosaigh agus soláthraí fáinne brataithe SiC foirnéise Ingearach sa tSín, tá VeTek Semiconductor muiníneach gur féidir linn na táirgí agus na seirbhísí is fearr a sholáthar duit.

Féach ar Tuilleadh >> Seol Fiosrúchán >>

Iompróir sliseog brataithe SiC

Mar phríomh-sholáthraí agus monaróir iompróir wafer brataithe SiC sa tSín, tá iompróir wafer brataithe SiC VeTek Semiconductor déanta as graifít ardcháilíochta agus sciath CVD SiC, a bhfuil cobhsaíocht sármhaith aige agus is féidir leis a bheith ag obair ar feadh i bhfad i bhformhór na n-imoibreoirí epitaxial. Tá cumais phróiseála atá chun tosaigh sa tionscal ag VeTek Semiconductor agus is féidir leo freastal ar riachtanais shaincheaptha éagsúla na gcustaiméirí maidir le hiompróirí sliseog brataithe SiC. Tá VeTek Semiconductor ag tnúth le caidreamh comharchumann fadtéarmach a bhunú leat agus ag fás le chéile.

Féach ar Tuilleadh >> Seol Fiosrúchán >>

CVD SIC COTHING EPITAXY SUPTORTOR

Is uirlis bheachtais-innealtóireachta é an t-uafás a dhírítear le haghaidh láimhseáil agus próiseáil sliseog leathsheoltóra is ea an t-uafás CVD SIC SIC. Tá ról ríthábhachtach ag an gclaontóir sciath SIC seo maidir le fás scannán tanaí, epilayers, agus bratuithe eile a chur chun cinn, agus is féidir leis an teocht agus na hairíonna ábhartha a rialú go beacht. Cuir fáilte roimh do chuid fiosruithe breise.

Féach ar Tuilleadh >> Seol Fiosrúchán >>

Fáinne sciath CVD SiC

Tá an fáinne sciath CVD SiC ar cheann de na codanna tábhachtacha de na codanna leathmhóin. In éineacht le codanna eile, cruthaíonn sé seomra imoibrithe fáis epitaxial SiC. Is monaróir agus soláthraí fáinne sciath CVD SiC gairmiúil é VeTek Semiconductor. De réir riachtanais dearaidh an chustaiméara, is féidir linn an fáinne sciath CVD SiC comhfhreagrach a sholáthar ar an bpraghas is iomaíche. Tá VeTek Semiconductor ag tnúth le bheith i do chomhpháirtí fadtéarmach sa tSín.

Féach ar Tuilleadh >> Seol Fiosrúchán >>

Codanna graifíte halfoon sciath sic

Mar mhonaróir agus soláthraí leathsheoltóra gairmiúil, is féidir le VeTek Semiconductor éagsúlacht comhpháirteanna graifíte a theastaíonn do chórais fáis epitaxial SiC a sholáthar. Tá na páirteanna graifíte leathmhóin sciath SiC seo deartha don chuid inlet gáis den imoibreoir epitaxial agus tá ról ríthábhachtach acu maidir leis an bpróiseas déantúsaíochta leathsheoltóra a bharrfheabhsú. Déanann VeTek Semiconductor a dhícheall i gcónaí táirgí den chaighdeán is fearr a sholáthar do chustaiméirí ag na praghsanna is iomaíche. Tá VeTek Semiconductor ag tnúth le bheith i do chomhpháirtí fadtéarmach sa tSín.

Féach ar Tuilleadh >> Seol Fiosrúchán >>

Veteksemicon silicon carbide epitaxy is your advanced procurement option for producing high-performance 4H-SiC and 6H-SiC epitaxial layers used in wide bandgap semiconductor devices. SiC epitaxy enables the formation of defect-controlled, dopant-engineered epitaxial layers critical for high-power, high-frequency, and high-temperature electronic devices.

Our offering includes specialized components such as SiC epitaxial susceptors, SiC-coated wafer holders, and epitaxy process rings, tailored for use in horizontal and vertical MOCVD and CVD reactors, including platforms by Veeco, Aixtron, and LPE. Veteksemicon’s parts are coated with high-purity CVD SiC, ensuring chemical compatibility, temperature uniformity, and minimal contamination during epitaxial layer growth.

Silicon carbide epitaxy is essential for fabricating power MOSFETs, IGBTs, and RF components, particularly in automotive, energy, and aerospace applications. The epitaxial process requires extremely precise control over doping concentration, layer thickness, and crystallographic orientation, which is why substrate compatibility and thermal stability of reactor parts are critical.

Relevant terms in this category include 4H-SiC epitaxial wafer, low-defect-density epitaxy, SiC epi-ready substrates, and wide bandgap semiconductors. Veteksemicon supports both research-scale and volume production needs with stable, repeatable, and thermally robust component solutions.

To learn more about our silicon carbide epitaxy support materials, visit the Veteksemicon product detail page or contact us for detailed specifications and engineering support.

Mar mhonaróir gairmiúil Silicon Carbide Epitaxy sa tSín, tá ár monarcha féin againn. Cibé an bhfuil seirbhísí saincheaptha de dhíth ort chun freastal ar riachtanais shonracha do réigiúin nó más mian leat dul chun cinn agus durable Silicon Carbide Epitaxy a dhéanamh sa tSín, is féidir leat teachtaireacht a fhágáil linn.

Cód QR

Fúinn

Táirgí

Glaoigh orainn

Fón
+86-18069220752
Facs
+86-579-87223657
R-phost
anny@veteksemi.com
Seoladh
Bóthar Wangda, Sráid Ziyang, Contae Wuyi, Cathair Jinhua, Zhejiang Province, an tSín

Roghchlár Gréasáin

Cuardach Táirge

Teanga

Roghchlár Scoir

Silicon Carbide Epitaxy

Trí chineál foirnéise fáis sileacain cairbíde agus difríochtaí croí -gabhálais

Seo a leanas na croí -chomhpháirteanna comhfhreagracha:

(a) Is éard atá i gcroílár an chineáil chothrománach an chuid is mó de na páirteanna leath-leath-leath-leath

(b) Cineál optional balla te

(c) Cineál seasamh balla cuasach teirmeach

Soláthraíonn sliseog epitaxial mocvd

Fáinne brataithe foirnéise ingearach sic

Iompróir sliseog brataithe SiC

CVD SIC COTHING EPITAXY SUPTORTOR

Fáinne sciath CVD SiC

Codanna graifíte halfoon sciath sic

Seol Fiosrúchán

Cód QR

Fúinn

Táirgí

Glaoigh orainn

Fón

Facs

R-phost

Seoladh