Teicneolaíocht spraeála teirmeach leathsheoltóra

Is próiseas ardleibhéil é teicneolaíocht spraeála teirmeach leathsheoltóra a dhéanann ábhair a spraeáil i stát leáite nó leath-mhiondealú ar dhromchla foshraith chun sciath a dhéanamh. Úsáidtear an teicneolaíocht seo go forleathan i réimse na déantúsaíochta leathsheoltóra, a úsáidtear go príomha chun bratuithe a chruthú le feidhmeanna sonracha ar dhromchla an tsubstráit, amhail seoltacht, insliú, friotaíocht creimthe, agus friotaíocht ocsaídiúcháin. I measc na bpríomhbhuntáistí a bhaineann le teicneolaíocht spraeála teirmeach tá éifeachtúlacht ard, tiús brataithe inrialaithe, agus greamaitheacht sciath maith, rud a chiallaíonn go bhfuil sé thar a bheith tábhachtach sa phróiseas monaraíochta leathsheoltóra a éilíonn cruinneas agus iontaofacht ard.

Teicneolaíocht spraeála teirmeach a chur i bhfeidhm i leathsheoltóirí

Eitseáil bhíoma plasma (eitseáil thirim)

De ghnáth tagraíonn sé d'úsáid urscaoilte glow chun cáithníní gníomhacha plasma a ghiniúint ina bhfuil cáithníní luchtaithe amhail plasma agus leictreoin agus adaimh agus móilíní neodracha atá an -ghníomhach go ceimiceach agus a dhéanann fréamhacha saor in aisce, a dhéanann idirleathadh go dtí an chuid atá le heitseáil, ag imoibriú leis an ábhar eitseáilte, a chruthaíonn so -ghalaithe so -ghalaithe Táirgí agus baintear iad, rud a chríochnaíonn an teicneolaíocht eitseáil a bhaineann le haistriú patrún. Is próiseas nach féidir a athsholáthar é chun aistriú ard-dhílseachta patrúin mhín ó theimpléid fhótaliografaíochta a aistriú go sliseoga i dtáirgeadh ciorcaid chomhtháite ar scála ultra-scála.

Ginfear líon mór saorfhréamhacha gníomhacha ar nós Cl agus F. Nuair a eitseáil siad feistí leathsheoltóra, corrodaíonn siad dromchlaí istigh codanna eile den trealamh, lena n-áirítear cóimhiotail alúmanaim agus páirteanna struchtúracha ceirmeacha. Táirgeann an creimeadh láidir seo líon mór cáithníní, rud a éilíonn ní hamháin cothabháil minic ar threalamh táirgeachta, ach go n-eascraíonn sé freisin teip ar an seomra próiseas eitseála agus damáiste don fheiste i gcásanna tromchúiseacha.

Is ábhar é Y2O3 a bhfuil airíonna ceimiceacha agus teirmeacha an-chobhsaí. Tá a leáphointe i bhfad os cionn 2400 ℃. Is féidir leis fanacht cobhsaí i dtimpeallacht láidir creimneach. Féadann a fhriotaíocht in aghaidh bombardú plasma saol seirbhíse na gcomhpháirteanna a leathnú go mór agus cáithníní sa seomra eitseála a laghdú.

Is é an réiteach príomhshrutha ná sciath Y2O3 ard-íonachta a spraeáil chun an seomra eitseála agus príomhchodanna eile a chosaint.