Bád graifít pecvd

Is monaróir agus soláthróir bád graifíte gairmiúil PECVD Síne é Veteksemimon.

Cad é an ról atá ag Vetek Semiconductor Cell (sciath) PECVD Graphite Boat?

Mar iompróir de ghnáthchuideachtaí sileacain a tháirgtear leis an bpróiseas brataithe, tá go leor sliseoga bád ag an mbád graifíte le eatraimh áirithe sa struchtúr, agus tá spás an -chúng idir an dá shliocht bád in aice láimhe, agus cuirtear na sliseoga sileacain ar an dá thaobh den doras folamh.

Toisc go bhfuil airíonna dea -sheoltachta leictreacha agus teirmeacha ag graifít ábhar graifíte PECVD, iarrtar ar an voltas AC sa dá bhád in aice láimhe, ionas go gcruthaíonn an dá bhád in aice láimhe cuaillí dearfacha agus diúltacha, nuair a bhíonn brú agus gás áirithe sa seomra, is féidir le hurscaoileadh glow a dhí -urscaoileadh agus an NH3 agus an NH3 a dhíchruthú, is féidir leis an SiH3 SiH3 an Sih3 a fhoirmiú, an NH3 agus an NH3 a fhoirmiú. ian. Déantar móilíní SINX a fhoirmiú agus a thaisceadh ar dhromchla sliseog sileacain chun cuspóir an sciath a bhaint amach.

Is iondúil go n -úsáidtear báid graifíte PECVD mar iompróirí chun sliseoga sileacain nó ábhair eile a iompar chun a chinntiú go ndéileálfar go sábháilte leis na hábhair seo i dtimpeallachtaí ardteochta agus plasma. Mar shampla, sa phróiseas monaraíochta leathsheoltóra, tá báid graifíte PECVD Veteksemimon deartha le haghaidh próisis sil -leagain cheimiceacha feabhsaithe plasma. Imríonn an bád graifít an ról a bhaineann le sraitheanna éighníomhacha nitride sileacain (Sinₓ) a thaisceadh agus scannáin tairiseach tréleictreach íseal (íseal-K).

Sa pháirc fhótavoltach, úsáidtear báid graifít PECVD chun cealla gréine tanaí-scannáin atá bunaithe ar sileacain a ullmhú (mar shampla sileacain A-Si: H) agus sraitheanna passivation cille Perc. Baineann bád graifít PECVD Veteksemimon an próiseas brataithe le sliseoga sileacain a spásáil go héifeachtach agus le hurscaoileadh glow a aslú chun sil -leagan aonfhoirmeach a bhaint amach.

Níos tábhachtaí fós, is féidir le Veteksemicon táirgí saincheaptha agus seirbhísí teicniúla a sholáthar, agus is féidir leis táirgí bád graifíte de shonraíochtaí éagsúla a dhearadh agus a mhonarú de réir do riachtanais próisis iarbhír. Táimid ag tnúth go mór le bheith i do chomhpháirtí fadtéarmach.

Is Na buntáistí a bhaineann le bád graifíte pecvd i gcomparáid le gnáthbhád graifít, ach cliceáil