Táirgí

Foirnéis ocsaídiúcháin agus idirleata

Úsáidtear foirnéisí ocsaídiúcháin agus idirleata i réimsí éagsúla amhail feistí leathsheoltóra, feistí scoite, feistí optoelectronic, feistí leictreonacha cumhachta, cealla gréine, agus déantúsaíocht chiorcaid chomhtháite ar scála mór. Baintear úsáid astu le haghaidh próiseas lena n -áirítear idirleathadh, ocsaídiú, anáil, cóimhiotalú, agus shintéiriú sliseoga.


Is déantúsóir ceannródaíoch é Vetek Semiconductor a dhíríonn ar chomhpháirteanna graifít ard-íonachta, cairbíd sileacain agus Grianchloch i bhfoirnéisí ocsaídiúcháin agus idirleata. Táimid tiomanta do chomhpháirteanna foirnéise ardchaighdeáin a sholáthar do na tionscail leathsheoltóra agus fótavoltacha, agus tá siad chun tosaigh i dteicneolaíocht sciath dromchla, mar shampla CVD-SIC, CVD-TAC, Pyrocarbon, srl.


Na buntáistí a bhaineann le comhpháirteanna cairbíde semiconductor Vetek:

● Friotaíocht ardteochta (suas le 1600 ℃)

● Seoltacht theirmeach den scoth agus cobhsaíocht theirmeach

● Friotaíocht chreimthe cheimiceach maith

● Comhéifeacht íseal leathnú teirmeach

● neart agus cruas ard

● Saol na Seirbhíse Fada


I bhfoirnéisí ocsaídiúcháin agus idirleata, mar gheall ar gháis ardteochta agus creimneach a bheith i láthair, éilíonn go leor comhpháirteanna go n-úsáidtear ábhair ardteochta agus frithsheasmhach in aghaidh creimthe, ina measc is rogha coitianta é cairbíd sileacain (SIC). Is iad seo a leanas comhpháirteanna coitianta cairbíde sileacain a fhaightear i bhfoirnéisí ocsaídiúcháin agus foirnéisí idirleata:



● Bád Wafer

Is coimeádán é Bád Silicon Carbide Wafer a úsáidtear chun sliseoga sileacain a iompar, ar féidir leo teochtaí arda a sheasamh agus ní imoibreoidh sé le sliseoga sileacain.


● feadán foirnéise

Is é an feadán foirnéise an chuid lárnach den fhoirnéis idirleata, a úsáidtear chun freastal ar shliocht sileacain agus chun an timpeallacht imoibriúcháin a rialú. Tá feidhmíocht friotaíochta ardteochta agus creimthe den scoth ag feadáin foirnéise cairbíde sileacain.


● Pláta baffle

A úsáidtear chun an t -aer -sreabhadh agus an dáileadh teochta a rialáil taobh istigh den fhoirnéis


● Feadán cosanta teirmeachúpla

A úsáidtear chun teocht a thomhas teirmeachúpla ó theagmháil dhíreach le gáis chreimneacha.


● Paddle cantilever

Tá paddles cantilever carbide sileacain frithsheasmhach in aghaidh teocht ard agus creimeadh, agus úsáidtear iad chun báid sileacain nó báid Grianchloch a iompar a iompraíonn sliseoga sileacain isteach sna feadáin foirnéise idirleata.


● Instealladh gáis

Úsáidtear é chun gás imoibriúcháin a thabhairt isteach sa fhoirnéis, agus ní mór dó a bheith frithsheasmhach in aghaidh teocht ard agus creimeadh.


● Iompróir bád

Baintear úsáid as iompróir bád sliseog cairbíde silicon chun sliseoga sileacain a shocrú agus a thacú, a bhfuil buntáistí acu mar neart ard, friotaíocht creimthe, agus cobhsaíocht struchtúrach maith.


● Doras foirnéise

Is féidir cótaí nó comhpháirteanna cairbíde sileacain a úsáid freisin ar an taobh istigh de dhoras na foirnéise.


● Eilimint Teasa

Tá eilimintí teasa cairbíde sileacain oiriúnach do theochtaí arda, do chumhacht ard, agus is féidir leo teochtaí a ardú go tapa go dtí os cionn 1000 ℃.


● línéar sic

Is féidir leis an mballa istigh de fheadáin foirnéise a chosaint, is féidir leis cabhrú le caillteanas fuinnimh teasa a laghdú agus timpeallachtaí géara a sheasamh mar ardteocht agus brú ard.

View as  
 
Bád sliseog sic

Bád sliseog sic

Úsáidtear an bád sliseog Sic chun an sliseog a iompar, go príomha don phróiseas ocsaídiúcháin agus idirleata, chun a chinntiú gur féidir an teocht a dháileadh go cothrom ar dhromchla an tsliocht. Cinntíonn an chobhsaíocht ardteochta agus an seoltacht ard teirmeach d'ábhair SIC próiseáil leathsheoltacha éifeachtach agus iontaofa. Tá Vetek Semiconductor tiomanta do tháirgí ardchaighdeáin a sholáthar ar phraghsanna iomaíocha.
Feadán próisis sic

Feadán próisis sic

Soláthraíonn Vetek Semiconductor feadáin phróisis ardfheidhmíochta SIC do dhéantúsaíocht leathsheoltóra. Tá ár bhfeadáin phróisis SIC ag dul i léig i bpróisis ocsaídiúcháin, idirleata. Le caighdeán agus ceardaíocht níos fearr, cuireann na feadáin seo cobhsaíocht ardteochta agus seoltacht theirmeach ar fáil do phróiseáil éifeachtach leathsheoltóra. Cuirimid praghsáil iomaíoch ar fáil agus déanaimid iarracht a bheith i do chomhpháirtí fadtéarmach sa tSín.
SiC Cantilever Paddle

SiC Cantilever Paddle

Úsáidtear Paddle SiC Cantilever VeTek Semiconductor i bhfoirnéisí cóireála teasa chun báid sliseog a láimhseáil agus chun tacú leo. Cinntíonn cobhsaíocht ardteochta agus seoltacht ard teirmeach ábhar SiC ard-éifeachtúlacht agus iontaofacht sa phróiseas próiseála leathsheoltóra. Táimid tiomanta do tháirgí ardchaighdeáin a sholáthar ar phraghsanna iomaíocha agus táimid ag tnúth le bheith i do chomhpháirtí fadtéarmach sa tSín.
Bád Wafer Silicon Carbide le haghaidh Foirnéise Cothrománach

Bád Wafer Silicon Carbide le haghaidh Foirnéise Cothrománach

Tá ardriachtanas ag bád wafer SiC maidir le hábhar íonachta.Vetek Semiconductor soláthair íonachta SiC >99.96% athchriostalaithe SiC chuig an táirge seo. Is monaróir gairmiúil agus soláthraí éVeTek Semiconductor sa tSín le haghaidh bád sliseog chomhdhúile sileacain le haghaidh foirnéise cothrománach, le taithí na mblianta i T&F agus táirgeadh, is féidir leis an gcáilíocht a rialú go maith agus praghas iomaíoch a thairiscint. Is féidir leat a bheith cinnte an bád sliseog chomhdhúile sileacain a cheannach le haghaidh foirnéise cothrománach uainn.
Bád Wafer Sileacain Brataithe SiC Carbide

Bád Wafer Sileacain Brataithe SiC Carbide

Tá Bád Wafer Carbide Sileacain Brataithe SiC deartha le 165 sliotán chun wafers a iompar. Is é VeTek Semiconductor monaróir gairmiúil agus soláthraí sa tSín le haghaidh bád sliseog chomhdhúile sileacain brataithe SiC, le taithí na mblianta i T&F agus táirgeadh, is féidir leis an gcáilíocht a rialú go maith agus iomaíochas a thairiscint. praghas. Fáilte as cuairt a thabhairt ar ár n-mhonarcha agus tá tuilleadh plé agat ar chomhoibriú.
Silicon Carbide Paddle Cantilever

Silicon Carbide Paddle Cantilever

Is cuid thábhachtach é paddle cantilever silicon Vetek Semiconductor sa phróiseas monaraíochta leathsheoltóra, atá oiriúnach go háirithe do fhoirnéisí idirleata nó do fhoirnéisí LPCVD i bpróisis ardteochta amhail idirleathadh agus RTP. Déantar ár bpaddle cantilever carbide sileacain a dhearadh agus a mhonarú go cúramach le friotaíocht ardteochta den scoth agus le neart meicniúil, agus is féidir leis sliseoga a iompar go sábháilte agus go hiontaofa go dtí an feadán próisis faoi choinníollacha próisis géara do phróisis éagsúla ardteochta amhail idirleathadh agus RTP. Táimid ag tnúth le bheith i do chomhpháirtí fadtéarmach sa tSín.

Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.


Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.


Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.


For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.


Mar mhonaróir gairmiúil Foirnéis ocsaídiúcháin agus idirleata sa tSín, tá ár monarcha féin againn. Cibé an bhfuil seirbhísí saincheaptha de dhíth ort chun freastal ar riachtanais shonracha do réigiúin nó más mian leat dul chun cinn agus durable Foirnéis ocsaídiúcháin agus idirleata a dhéanamh sa tSín, is féidir leat teachtaireacht a fhágáil linn.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept