Foirnéise Ocsaídiú agus Idirleata

Úsáidtear Foirnéis Ocsaídiúcháin agus Idirleata i réimsí éagsúla cosúil le feistí leathsheoltóra, feistí scoite, feistí optoelectronic, feistí leictreonacha cumhachta, cealla gréine, agus déantúsaíocht chiorcaid chomhtháite ar scála mór. Úsáidtear iad le haghaidh próisis lena n-áirítear idirleathadh, ocsaídiú, anáil, cóimhiotalú, agus shintéiriú sliseog.

Is monaróir tosaigh é VeTek Semiconductor a dhéanann speisialtóireacht i dtáirgeadh graifít ard-íonachta, cairbíd sileacain agus comhpháirteanna Grianchloch i bhfoirnéisí ocsaídiúcháin agus idirleata. Táimid tiomanta do chomhpháirteanna foirnéise ardchaighdeáin a sholáthar do na tionscail leathsheoltóra agus fótavoltach, agus táimid ar thús cadhnaíochta na teicneolaíochta brataithe dromchla, mar CVD-SiC, CVD-TaC, pireacarbón, etc.

Na buntáistí a bhaineann le comhpháirteanna cairbíde sileacain leathsheoltóra VeTek:

Friotaíocht teocht ard (suas le 1600 ℃)

Seoltacht teirmeach den scoth agus cobhsaíocht theirmeach

Friotaíocht creimeadh ceimiceach maith

Comhéifeacht íseal leathnú teirmeach

Ard-neart agus cruas

Saol seirbhíse fada

I bhfoirnéisí ocsaídiúcháin agus idirleata, mar gheall ar láithreacht teocht ard agus gáis chreimneach, éilíonn go leor comhpháirteanna úsáid a bhaint as ábhair ard-teocht agus resistant creimeadh, ina measc is rogha coitianta é chomhdhúile sileacain (SiC). Is iad seo a leanas comhpháirteanna coitianta cairbíde sileacain a fhaightear i bhfoirnéisí ocsaídiúcháin agus i bhfoirnéisí idirleata:

Bád Wafer

Is coimeádán é bád sliseog chomhdhúile sileacain a úsáidtear chun sliseog sileacain a iompar, ar féidir leis teocht ard a sheasamh agus nach n-imoibríonn le sliseog sileacain.

Feadán foirnéise

Is é an feadán foirnéise croí-chomhpháirt na foirnéise idirleathadh, a úsáidtear chun freastal ar sliseoga sileacain agus chun an timpeallacht imoibrithe a rialú. Tá feidhmíocht ardteochta agus friotaíocht creimeadh den scoth ag feadáin foirnéise chomhdhúile sileacain.

Pláta Baffle

Úsáidtear é chun sreabhadh aeir agus dáileadh teochta taobh istigh den fhoirnéis a rialáil

Feadán Cosanta Teirmeachúpla

Úsáidtear é chun teirmeachúplaí tomhais teochta a chosaint ó theagmháil dhíreach le gáis chreimneach.

Paddle Cantilever

Tá paddles cantilever carbide sileacain resistant teocht ard agus creimeadh, agus úsáidtear iad chun báid sileacain nó báid Grianchloch a iompraíonn sliseog sileacain isteach sna feadáin foirnéise idirleata.

Injector Gáis

Úsáidtear é chun gás imoibrithe a thabhairt isteach sa foirnéis, ní mór é a bheith resistant a teocht ard agus creimeadh.

Iompróir Bád

Úsáidtear iompróir bád wafer carbide sileacain chun sliseoga sileacain a shocrú agus a thacú, a bhfuil buntáistí acu mar ard-neart, friotaíocht creimeadh, agus cobhsaíocht mhaith struchtúrach.

Doras Foirnéise

Féadfar bratuithe nó comhpháirteanna cairbíde sileacain a úsáid freisin ar an taobh istigh de dhoras na foirnéise.

Eilimint Téimh

Tá eilimintí téimh chomhdhúile sileacain oiriúnach le haghaidh teocht ard, ardchumhachta, agus is féidir leo teocht a ardú go tapa go dtí os cionn 1000 ℃.

Líneáil SiC

Úsáidtear é chun balla istigh na feadáin foirnéise a chosaint, is féidir leis cabhrú le caillteanas fuinnimh teasa a laghdú agus timpeallachtaí crua cosúil le teocht ard agus brú ard a sheasamh.